ЧАСТЬ V. ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ, МИКРО И НАНОЭЛЕКТРОНИКА

Глава 18. Предмет микроэлектроники

18.1. Основные термины и определения

Микроэлектроника – область науки и техники, в которой

рассматриваются физические и технические проблемы производства и создания интегральных микросхем (ИМС).

Интегральные микросхемы – это микроэлектронные изделия, выполняющие определенные функции преобразования, накопления,

обработки и отображения информации и состоящие из большого количества соединенных друг с другом элементов.

С точки зрения функционирования, эксплуатации, долговечности интегральная микросхема представляет собой единое целое, один прибор, изготовленный в едином технологическом цикле. Интегральная микросхема может состоять из элементов и компонентов.

Элемент – это часть микросхемы, выполняющая определенную функцию, но не являющаяся самостоятельным изделием (диод, транзистор, резистор, конденсатор и т.д.).

Компонент – часть микросхемы, представляющая собой самостоятельное изделие, изготовленное в отдельном технологическом цикле.

Кристалл – готовая полупроводниковая ИМС без внешних выводов и корпуса.

Сложность микросхем и их насыщенность элементами и простыми компонентами характеризуются:

∙плотностью упаковки – отношением числа элементов к объему микросхемы без учета выводов;

∙степенью интеграции – числом элементов или простых компонентов

на кристалле микросхемы.

Количественно степень интеграции характеризуется округленным до ближайшего большего целого числа логарифмом количества элементов в микросхеме:

Различают технологическую (ТСИ) и функциональную (ФСИ) степени интеграции.

ТСИ – отражает число компонентов в кристалле; ФСИ – отражает число функциональных ячеек в кристалле.

367