Катушка

индуктивности

Разряд

Пластина

Рис. 5.12. Промышленный ВЧ индукционный реактор

Рис. 5.13. Высокочастотный разряд в ксеноне

5.3.7. Разряды на сверхвысоких частотах

Сверхвысокочастотные разряды возбуждаются в диапазоне частот от 1 до 300 ГГц (длина волны 30 см – 3 мм). В промышленности наиболее часто используются частоты 0,915 и 2,45 ГГц. СВЧ разряды могут существовать в широком диапазоне давлений. В отсутствии магнитного поля этот диапазон составляет от 1 до 105 Па. Наложение внешнего магнитного поля (режим электронного циклотронного резонанса) позволяет существенно продвинуться в область низких давлений – до 10–4 Па. В зависимости от

106

давления и вводимой мощности СВЧ разряд по своим параметрам может быть тлеющим или дуговым.

СВЧ разряд возбуждается при помещении трубки с рабочим газом в полость резонатора или при введении резонатора в реактор (рис 5.14). Для

получения плазмы в достаточно большом объеме СВЧ мощность вводится в

реактор через специальное вакуумное окно (рис. 5.15).

СВЧ разряды отличаются высокой однородностью, повышенной средней энергией электронов, отсутствием внутренних электродов, что обуславливает их широкое применение.

Реагенты

Кварцевая

трубка

Охлаждени

Волново конический резонатор

Плазма

Продукт

Рис. 5.14. Плазменный реактор с СВЧ-резонатором в зоне плазмы

Рис. 5.15. Плазменный реактор большого объема с вводом СВЧ-излучения

через окно

107