Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Электроника.pdf
Скачиваний:
1069
Добавлен:
12.03.2015
Размер:
11.64 Mб
Скачать

 

Содержание

 

ЧАСТЬ I. ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА....................................................................

4

Глава

1. Эмиссионная электроника..................................................................................

4

1.1. Электрон и его свойства. Электроны в твердом теле.........................................

4

1.2. Эмиссионная электроника......................................................................................

6

1.2.1. Термоэлектронная эмиссия .............................................................................

6

1.2.2. Термоэлектронная эмиссия с поверхности полупроводников...................

10

1.2.3. Термокатоды ...................................................................................................

10

1.2.4. Фотоэлектронная эмиссия .............................................................................

12

1.2.5. Вторичная электронная эмиссия...................................................................

14

1.2.6. Автоэлектронная эмиссия .............................................................................

17

1.2.7. Экзоэлектронная эмиссия..............................................................................

19

Глава

2. Движение электронов в вакууме в режиме объемного заряда.

 

 

Электровакуумные приборы ...........................................................................

21

2.1. Диоды .....................................................................................................................

21

2.2. Триоды ...................................................................................................................

24

2.3. Многоэлектродные лампы ...................................................................................

25

2.4. Особенности многоэлектродных ламп различного назначения.......................

27

2.5. Генераторные и модуляторные лампы................................................................

28

2.6. Электровакуумные приборы диапазона сверхвысоких частот.........................

29

2.6.1. Особенности движения электронов в СВЧ полях.......................................

29

2.6.2. Клистроны приборы с динамическим управлением электронным

 

 

потоком и резонансными системами..........................................................

31

2.6.3. Лампы бегущей и обратной волны (ЛБВ и ЛОВ) .......................................

33

2.6.4. Лампы со скрещенными полями...................................................................

35

2.6.5. Усилитель на ЛБВ типа М.............................................................................

35

2.6.6. Генератор на ЛОВ типа М замкнутой конструкции (карсинотрон)..........

36

2.6.7. Магнетроны ....................................................................................................

37

2.6.8. Статический режим работы магнетрона ......................................................

38

2.6.9. Динамический режим работы магнетрона...................................................

39

Глава 3. Электронная оптика. Электронно-лучевые приборы ....................................

45

3.1. Электронные линзы ..............................................................................................

46

3.2. Электростатические линзы ..................................................................................

47

3.2.1. Диафрагма с круглым отверстием ................................................................

47

3.2.2. Иммерсионная линза......................................................................................

48

3.2.3. Одиночная линза ............................................................................................

49

3.2.4. Иммерсионный объектив...............................................................................

50

3.3. Магнитные линзы .................................................................................................

51

3.4. Аберрации электронных линз..............................................................................

53

3.5. Электронно-оптические системы (ЭОС) электронно-лучевых приборов.......

53

3.6. Отклоняющие системы.........................................................................................

56

3.6.1. Электростатическое отклонение электронных пучков...............................

57

3.6.2. Магнитное отклонение электронных пучков ..............................................

59

3.7. Некоторые особенности электронной оптики интенсивных пучков ...............

60

3.8. Приемные электронно-лучевые трубки ..............................................................

61

3.9. Проекционные ЭЛТ и системы............................................................................

65

487

3.10. Запоминающие электронно-лучевые трубки....................................................

66

3.11. Передающие электронно-лучевые трубки........................................................

68

3.12. Электронно-оптические преобразователи........................................................

70

ЧАСТЬ II. ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА .........................................................

75

Глава 4. Элементарные процессы в плазме...................................................................

75

4.1. Введение ................................................................................................................

75

4.2. Упругие соударения электронов с атомами и молекулами газа.......................

77

4.3. Неупругие соударения электронов с атомами и молекулами...........................

78

4.3.1. Возбуждение ...................................................................................................

78

4.3.2. Ионизация .......................................................................................................

80

4.3.3. Ступенчатые процессы при возбуждении и ионизации молекул

 

электронным ударом ....................................................................................

82

4.3.4. Образование и разрушение отрицательных ионов .....................................

83

4.3.5. Диссоциация молекул ....................................................................................

84

4.3.6. Рекомбинация .................................................................................................

84

4.4. Движение электронов и ионов в газе ..................................................................

86

4.4.1. Дрейфовое движение электронов и ионов...................................................

86

4.4.2. Диффузия заряженных частиц в условиях разряда.....................................

87

Глава 5. Основные виды электрического разряда в газе .............................................

89

5.1. Классификация разрядов......................................................................................

89

5.2. Несамостоятельный газовый разряд ...................................................................

89

5.3. Условие развития самостоятельного разряда.

 

Пробой разрядного промежутка..........................................................................

91

5.3.1. Тлеющий разряд .............................................................................................

93

5.3.2. Количественная теория катодной области тлеющего разряда ..................

95

5.3.3. Дуговой разряд ...............................................................................................

98

5.3.4. Искровой разряд ...........................................................................................

101

5.3.5. Коронный разряд..........................................................................................

103

5.3.6. Высокочастотные разряды ..........................................................................

104

5.3.7. Разряды на сверхвысоких частотах ............................................................

106

Глава 6. Газоразрядная плазма .....................................................................................

109

6.1. Основные понятия ..............................................................................................

109

6.2. Диагностика плазмы ...........................................................................................

110

6.2.1. Метод зондов Лангмюра..............................................................................

110

6.2.2. Оптические методы исследования плазмы................................................

114

6.2.3. Сверхвысокочастотные методы диагностики плазмы..............................

115

6.3. Теории газоразрядной плазмы...........................................................................

116

6.4. Особенности теории плазмы низкого и высокого давления...........................

118

Глава 7. Газоразрядные приборы .................................................................................

120

7.1. Приборы тлеющего разряда...............................................................................

120

7.1.1. Световые индикаторы..................................................................................

120

7.1.2. Стабилитроны тлеющего разряда...............................................................

120

7.1.3. Вентили (газотроны) тлеющего разряда....................................................

121

7.1.4. Тиратроны тлеющего разряда.....................................................................

121

7.1.5. Переключаемые световые индикаторы......................................................

122

7.1.6. Многоканальные счетные и коммутирующие приборы (декатроны) .....

122

7.2. Газоразрядные приборы,

 

основанные на использовании излучения плазмы ..........................................

122

488

7.2.1. Газоразрядные источники света .................................................................

122

7.3. Ионизационные камеры и счетчики излучений...............................................

123

7.3.1. Ионизационные камеры...............................................................................

124

7.3.2. Пропорциональные счетчики......................................................................

124

7.3.3. Счетчики Гейгера .........................................................................................

125

7.4. Разрядники антенных переключателей.............................................................

126

7.5. Газоразрядные индикаторные панели...............................................................

128

7.6. Газоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи) ....................................

128

7.6.1. ГИП постоянного тока.................................................................................

129

7.6.2. ГИП переменного тока.................................................................................

132

7.6.3. Получение полутоновых изображений на ГИП ........................................

134

ЧАСТЬ III. ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА .....................................................

140

Глава

8. Физические основы полупроводниковых приборов....................................

140

8.1.

Концентрация носителей заряда в полупроводниках......................................

141

8.2.

Электропроводность полупроводников............................................................

145

8.3.

Диффузионное движение носителей заряда в полупроводниках...................

148

8.4.

Неравновесные носители заряда в полупроводниках .....................................

150

8.5.

Поверхностные явления в полупроводниках ...................................................

153

Глава

9. Электрические переходы................................................................................

157

9.1. Структура и основные параметры n-p перехода ..............................................

157

9.2. Равновесное состояние n-p перехода ................................................................

158

9.3. Неравновесное состояние n-p перехода.

 

 

Явления инжекции и экстракции носителей заряда........................................

163

9.4. ВАХ идеализированного перехода ...................................................................

165

9.5. ВАХ реального n-p перехода .............................................................................

166

9.6. Механизмы пробоя n-р перехода.......................................................................

168

9.7. Емкостные свойства n-p перехода.....................................................................

170

9.8. Контакт металл-полупроводник ........................................................................

170

9.9. Гетеропереходы...................................................................................................

173

Глава 10. Полупроводниковые диоды .........................................................................

178

10.1. Выпрямительные диоды...................................................................................

179

10.2. Высокочастотные и сверхвысокочастотные диоды ......................................

181

10.3. Импульсные диоды ...........................................................................................

182

10.4. Стабилитроны....................................................................................................

183

10.5. Полупроводниковые управляемые емкости (варикапы)...............................

185

10.6. Туннельные и обращенные диоды ..................................................................

186

10.7. Диоды Шотки ....................................................................................................

189

10.8. Диоды Ганна......................................................................................................

191

10.9. Лавинно-пролетные диоды ..............................................................................

193

Глава 11. Биполярные транзисторы.............................................................................

196

11.1. Классификация биполярных транзисторов ....................................................

196

11.2. Физические процессы в транзисторе ..............................................................

198

11.3. Распределение токов в транзисторе ................................................................

200

11.4. Эффект модуляции ширины базы ...................................................................

203

11.5. Статические вольтамперные характеристики

 

 

биполярного транзистора.................................................................................

204

11.6. Частотные характеристики биполярного транзистора..................................

206

Глава 12. Тиристоры......................................................................................................

209

489

12.1. Классификация тиристоров .............................................................................

209

12.2. Распределение токов в тиристоре....................................................................

210

12.3. Особенности работы управляемых тиристоров.............................................

215

12.4. Тиристор с симметричной ВАХ ......................................................................

216

Глава 13. Униполярные полупроводниковые приборы .............................................

218

13.1. Классификация и основные особенности.......................................................

218

13.2. Полевые транзисторы с изолированным затвором (МДП-транзисторы)....

219

13.3. Статические характеристики МДП-транзистора ...........................................

221

13.4. Дифференциальные параметры МДП-транзистора.......................................

222

13.5. Принцип работы полевого транзистора с управляющим n-p переходом....

223

13.6. Частотные характеристики МДП-танзисторов ..............................................

225

13.7. Сравнительная характеристика МДП и биполярного транзистора .............

226

13.8. Биполярный транзистор с изолированным затвором (IGBT).......................

227

Глава 14. Светоизлучающие и фотоэлектронные полупроводниковые приборы...

233

14.1. Светоизлучающие полупроводниковые приборы .........................................

233

14.1.1. Светодиоды.................................................................................................

233

14.1.2. Полупроводниковые лазеры на n-р переходе..........................................

237

14.2. Фотоэлектронные полупроводниковые приборы ..........................................

239

14.2.1. Поглощение оптического излучения полупроводниками ......................

239

14.2.2. Фоторезистивный эффект и приборы на его основе...............................

241

14.2.3. Фотоэлектрический эффект в n-р переходе.............................................

243

14.2.4. Фототранзисторы и фототиристоры.........................................................

248

14.2.5. Оптоэлектронные пары..............................................................................

250

Глава 15. Полупроводниковые датчики ......................................................................

252

15.1. Датчики температуры .......................................................................................

252

15.2. Датчики деформации ........................................................................................

257

15.3. Датчики магнитного поля ................................................................................

259

ЧАСТЬ IV. ОПТИЧЕСКАЯ И КВАНТОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ..............................

267

Глава 16. Основы квантовой электроники ..................................................................

267

16.1. Этапы и перспективы развития квантовой электроники ..............................

267

16.2. Физические основы взаимодействия излучения с веществом......................

269

16.2.1. Форма и ширина спектральной линии .....................................................

272

16.3. Устройство и принципы работы лазеров........................................................

275

16.3.1. Рабочее вещество .......................................................................................

276

16.3.2. Создание инверсии.....................................................................................

276

16.3.3. Условия создания инверсной населенности............................................

277

16.3.4. Двухуровневая система..............................................................................

277

16.3.5. Трехуровневые системы ............................................................................

278

16.3.6. Четырехуровневая система........................................................................

280

16.3.7. Оптические резонаторы.............................................................................

281

16.3.8. Условия самовозбуждения и насыщения усиления................................

285

16.3.9. Импульсная генерация, модуляция добротности и

 

синхронизация мод.....................................................................................

287

16.4. Свойства лазерного излучения ........................................................................

289

16.4.1. Монохроматичность...................................................................................

289

16.4.2. Когерентность.............................................................................................

291

16.4.3. Поляризация излучения.............................................................................

293

16.4.4. Направленность и возможность фокусирования излучения..................

294

490

16.4.5. Яркость и мощность излучения ................................................................

295

16.5. Типы лазеров .....................................................................................................

295

16.5.1. Твердотельные лазеры...............................................................................

296

16.5.2. Рубиновый лазер.........................................................................................

297

16.5.3. Неодимовый стеклянный лазер ................................................................

297

16.5.4. Nd – ИАГ лазеры .....................................................................................

298

16.5.5. Газовые лазеры ...........................................................................................

298

16.5.6. Атомные лазеры .........................................................................................

300

16.5.7. Лазеры на парах металлов .........................................................................

301

16.5.8. Ионные лазеры ...........................................................................................

301

16.5.9. Молекулярные лазеры ...............................................................................

301

16.5.10. Эксимерные лазеры..................................................................................

302

16.5.11. Газовые лазеры в инфракрасной области спектра ................................

304

16.5.12. Химические лазеры..................................................................................

305

16.5.13. Газодинамические лазеры .......................................................................

305

16.5.14. Электроионизационные лазеры ..............................................................

307

16.5.15. Полупроводниковые лазеры....................................................................

307

16.5.16. Жидкостные лазеры .................................................................................

309

Глава 17. Основы оптоэлектроники.............................................................................

314

17.1. Этапы и перспективы развития оптической электроники ...........................

314

17.2. Источники излучения для оптоэлектроники ..................................................

316

17.3. Фотоэлектронные приемники излучения .......................................................

317

17.4. Модуляция лазерного излучения.....................................................................

317

17.4.1. Физические основы модуляции лазерного излучения............................

318

17.4.2. Оптические модуляторы............................................................................

319

17.4.3. Дефлекторы.................................................................................................

321

17.5. Волоконно-оптические линии связи (ВОЛС).................................................

322

17.5.1. Элементная база ВОЛС .............................................................................

324

17.5.2. Классификация ВОЛС ...............................................................................

328

17.6. Оптические методы запоминания и хранения информации.

 

Оптические (лазерные) диски..........................................................................

330

17.7. Голографические системы хранения и обработки информации ..................

333

17.7.1. Принцип голографии .................................................................................

333

17.7.2. Голографическое запоминающее устройство..........................................

334

17.7.3. Голографические схемы записи и считывания информации.................

335

17.8. Системы отображения информации ...............................................................

336

17.8.1. Особенности зрительного восприятия информации ..............................

336

17.8.2. Физические эффекты, используемые для отображения информации...

339

17.8.3. Жидкокристаллические индикаторы........................................................

341

17.8.4. Жидкокристаллические индикаторные панели.......................................

346

17.9. Электролюминесцентные индикаторы ...........................................................

351

17.10. Дисплеи с полевой (автоэлектронной) эмиссией.........................................

354

17.11. Отражающие дисплеи (электронная бумага) ...............................................

356

17.12. Системы отображения информации на основе полупроводниковых

 

светодиодов .........................................................................................................

360

ЧАСТЬ V. ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ, МИКРО И НАНОЭЛЕКТРОНИКА .................

367

Глава 18. Предмет микроэлектроники.........................................................................

367

18.1. Основные термины и определения .................................................................

367

491

18.2. Классификация ИМС........................................................................................

368

18.2.1. Плёночные ИМС ........................................................................................

369

18.2.2. Гибридные ИС ............................................................................................

370

18.2.3. Полупроводниковые ИМС ........................................................................

370

18.2.4. Совмещенные ИМС ...................................................................................

372

18.3. Система обозначений ИМС .............................................................................

373

Глава 19. Биполярные структуры в микроэлектронике .............................................

375

19.1. Транзисторы с изоляцией на основе n-p перехода ........................................

376

19.2. Транзисторы с диэлектрической изоляцией...................................................

380

19.3. Транзисторы с комбинированной изоляцией.................................................

381

19.4. Транзисторы типа p–n–p...................................................................................

382

19.5. Многоэмиттерные транзисторы ......................................................................

384

19.6. Многоколлекторные транзисторы...................................................................

386

19.7. Транзисторы с диодом Шотки.........................................................................

387

19.8. Интегральные диоды и стабилитроны............................................................

389

Глава 20. Униполярные структуры в микроэлектронике...........................................

393

20.1. МДПтранзисторы ИМС средней степени интеграции................................

393

20.1.1. МДПтранзистор с алюминиевым затвором...........................................

393

20.1.2. МДПтранзистор с поликремниевым затвором......................................

394

20.1.3. Конструкция ДМДПтранзисторов........................................................

395

20.1.4. Комплементарные микроэлектронные структуры ..................................

396

20.1.5. МДПтранзисторы на диэлектрической подложке ................................

397

20.2. Параметры и характеристики МДП-транзисторов с коротким каналом.....

398

20.2.1. Пороговое напряжение ..............................................................................

399

20.2.2. Вольт-амперные характеристики..............................................................

400

20.3. Полевые транзисторы с управляющим переходом

 

металлполупроводник ....................................................................................

401

20.4. Принцип действия МЕП-транзистора.............................................................

403

20.5. Элементы полупроводниковых

 

постоянных запоминающих устройств (ПЗУ) ................................................

407

20.5.1. МНОП-транзистор .....................................................................................

407

20.5.2. МДП-транзистор с плавающим затвором................................................

409

20.5.3. Двухзатворный МДПтранзистор ............................................................

410

Глава 21. Микроэлектроника субмикронных СБИС..................................................

412

21.1. Субмикронные МДП-транзисторы на полупроводниковых подложках.....

413

21.2. Методы улучшения характеристик субмикронных МДП-транзисторов.....

414

21.2.1. Ореол ...........................................................................................................

415

21.2.2. Ретроградное распределение.....................................................................

416

21.2.3. Подзатворный диэлектрик.........................................................................

416

21.2.4. Области стока и истока..............................................................................

417

21.2.5. Напряженный кремний..............................................................................

418

21.3. Субмикронные МДП-транзисторы на диэлектрических подложках...........

419

21.3.1. Структуры «кремний на изоляторе».........................................................

419

21.3.2. Cтруктура «кремний ни на чём» ...............................................................

420

21.4. Перспективные конструкции субмикронных МДП-транзисторов ..............

421

21.4.1. Транзисторы с двойным и с окольцовывающим затвором ....................

421

21.4.2. Транзисторы с вертикальным каналом ....................................................

423

492

21.5. Особенности субмикронных транзисторов для

 

аналоговых применений...................................................................................

423

Глава 22. Гетероструктуры в микроэлектронике........................................................

425

22.1. Основные свойства гетероперехода................................................................

425

22.1.1. Сверхинжекция неравновесных носителей

 

заряда в гетеропереходе............................................................................

426

22.1.2. Понятие о двухмерном электронном газе................................................

427

22.2. Гетероструктурные полевые транзисторы......................................................

428

22.2.1. Транзистор с высокой подвижностью электронов (НЕМТ) ..................

428

22.2.2. Псевдоморфные и метаморфные структуры

 

(р-НЕМТ и m-НЕМТ)................................................................................

430

22.2.3. НЕМТ на подложках из GaN.....................................................................

432

22.3. Гетеропереходные биполярные транзисторы ................................................

433

22.4. Интегральные микросхемы на гетеропереходных

 

полевых транзисторах ......................................................................................

434

Глава 23. Пассивные элементы ИМС ..........................................................................

438

23.1. Полупроводниковые резисторы ......................................................................

438

23.2. Плёночные резисторы ......................................................................................

440

23.3. Конденсаторы и индуктивные элементы........................................................

442

23.4. Коммутационные соединения..........................................................................

444

23.4.1. Задержка распространения сигнала..........................................................

444

23.4.2. Электороимграция......................................................................................

446

Глава 24. Функциональная электроника......................................................................

449

24.1. Пьезоэлектроника .............................................................................................

449

24.2. Оптоэлектроника...............................................................................................

451

24.3. Акустоэлектроника ...........................................................................................

452

24.4. Магнитоэлектроника.........................................................................................

454

24.5. Криоэлектроника...............................................................................................

454

24.6. Хемотроника......................................................................................................

457

24.7. Молекулярная и биоэлектроника ....................................................................

457

24.8. Приборы с зарядовой связью...........................................................................

458

24.9. Диэлектрическя электроника...........................................................................

460

24.10. Приборы на основе аморфных материалов..................................................

460

Глава 25. ОСНОВЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ .............................................................

461

25.1. Квантовые основы наноэлектроники..............................................................

461

25.1.1. Квантовое ограничение..............................................................................

462

25.1.2. Интерференционные эффекты..................................................................

464

25.1.3. Туннелирование..........................................................................................

464

25.2. Одноэлектроника (одноэлектронные транзисторы) ......................................

466

25.3. Квантовые транзисторы ...................................................................................

470

25.4. Нанотрубки в электронике ...............................................................................

471

25.5. Графеновые транзисторы (спинтроника) .......................................................

473

25.6. Молекулярная электроника..............................................................................

473

25.6.1. Квантовые компьютеры.............................................................................

475

25.7. Заключение ........................................................................................................

477

Список рекомендуемой литературы ............................................................................

478

Cправочный раздел........................................................................................................

480

Содержание ....................................................................................................................

487

493

Учебное издание

Светцов Владимир Иванович Холодков Игорь Владимирович

ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА И ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ

Учебное пособие

Редактор О.В. Соловьева

Подписано в печать 20.12.2008. Формат 60х84 1/16. Бумага писчая. Усл. печ. л. 28,83. Уч.-изд. л. 32. Тираж 100 экз. Заказ

ГОУ ВПО Ивановский государственный химико-технологический университет 153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7.

Отпечатано в ГУП Ивановской области «Ивановский издательский дом» 153000, г. Иваново, ул. Степанова, 5.