Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Электроника.pdf
Скачиваний:
1069
Добавлен:
12.03.2015
Размер:
11.64 Mб
Скачать

4.4.Движение электронов и ионов в газе

4.4.1.Дрейфовое движение электронов и ионов

Электроны в разряде испытывают многочисленные столкновения с атомами или молекулами газа. Поскольку столкновения эти носят случайный характер, то в каждом элементарном объёме имеются электроны с различными скоростями, разными направлениями движения.

При наличии электрического поля на хаотическое движение заряженных частиц накладывается направленное движение вдоль силовых линий поля. При этом вследствие столкновений электронов и ионов с

атомами газа направленное движение происходит с некоторой средней скоростью, зависящей от напряжённости электрического поля. Установим характер этой зависимости. Пусть в некотором объёме движется электрон с хаотической тепловой скоростью Ve. Время пробега электрона t составит:

t =

λe .

(4.24)

 

V

 

 

e

 

За это время сила электрического поля F = eE сместит электрон на расстояние Dx в направлении поля. Столкнувшись затем с атомом газа, электрон изменит направление своего движения. Полагая все направления движения после столкновения равновероятными, можно считать, что после столкновения скорость электрона в направлении поля равна нулю. Тогда величина Dx может быть найдена из уравнения равноускоренного движения:

Dx =

a × t2

.

 

 

(4.25)

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Выражая ускорение а через силу F и массу электрона m, получим:

 

Dx =

e × E ×t2

.

(4.26)

2 × m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

 

 

 

Средняя скорость направленного движения может быть найдена путём

деления значения Dx на время пробега t:

 

 

 

 

V = 0,5×

 

e ×le

× E .

(4.27)

 

 

ex

 

 

me ×Ve

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таким образом, скорость направленного движения электронов (скорость дрейфа) пропорциональна напряжённости электрического поля E. Коэффициент пропорциональности в уравнении (4.27) называется подвижностью электронов:

b = 0,5×

e ×le

.

(4.28)

 

 

e

 

 

me ×Ve

 

 

 

 

 

Аналогично уравнению подвижности электронов можно получить и

уравнение подвижности положительных ионов:

 

b = a ×

e ×li

.

(4.31)

 

 

i

mi ×Vi

 

 

 

 

86

Подвижность положительных ионов много меньше подвижности

электронов. Отношение подвижностей определяется величиной:

 

 

be

 

 

 

e ×

mi

.

 

 

=

l

(4.32)

 

b

 

 

 

l

i

m

 

 

i

 

 

 

e

 

4.4.2. Диффузия заряженных частиц в условиях разряда

Диффузионное движение заряженных частиц подчиняется общим законам диффузии, известным из кинетической теории газов и описывается следующими уравнениями:

nx

 

 

 

dn

 

 

= n ×Vx = -D ×

 

 

dx

,

(4.33)

dn

 

 

 

 

 

= D ×

d 2n

 

 

 

dx

dx2

 

 

 

 

 

 

где n концентрация частиц в элементарном объёме с координатой х; Vx средняя скорость движения частиц в направлении диффузии; nx поток диффундирующих частиц; D коэффициент диффузии.

Важным является соотношение, связывающее величины be и De, характеризующие направленное движение электронов, с температурой Te электронного газа, которая характеризует беспорядочное хаотическое

движение:

 

 

 

 

 

 

 

be

=

 

e

.

(4.41)

 

D

 

 

 

 

 

k ×T

 

 

e

 

 

e

 

Это уравнение носит название соотношения Эйнштейна. Аналогичная

формула может быть записана и для ионов:

 

 

bi

 

=

 

e

.

(4.42)

 

D

 

 

 

 

k ×T

 

 

i

 

 

i

 

В условиях электрического разряда в газах, когда

в объёме плазмы

находятся электроны и ионы в равных концентрациях, диффузионное движение заряженных частиц имеет специфические особенности. Так как коэффициент диффузии электронов значительно больше, чем у ионов,

электроны быстрее достигают стенки и создают избыточный отрицательный заряд, который ускоряет диффузию ионов и замедляет движение электронов.

Процесс накопления избыточного отрицательного заряда на стенке будет продолжаться до тех пор, пока электронный и ионный потоки не выровняются. При этом диффузия заряженных частиц называется

амбиполярной и ее можно описывать обычными диффузионными

уравнениями, если обозначить величину:

 

 

De ×bi

+ Di ×be

= D ,

(4.46)

 

 

 

 

bi

 

a

 

 

+ be

 

где Da коэффициент амбиполярной (двуполярной) диффузии.

Так как bi << be, то уравнение для коэффициента амбиполярной диффузии можно упростить:

87