2011_Лабиринты памяти_Альманах

нашей группе удалось сформировать технологическую концепцию, основанную на биологическом принципе «матричной репликации» и представлениях о кинетическом ростовом фазовом переходе. Труды Андрея Александровича в области структурной рефлексии и самоорганизации объектов неорганической природы поражали оригинальностью и практической нацеленностью. Жаль, что они не были доведены до логического завершения в виде докторской диссертации, но «кальнинский дух» и сейчас наполняет некоторые наши исследования и проекты.

Дипломную работу я защищал по «зеленым» светодиодам, а потом поступил в аспирантуру. Научным руководителем моей кандидатской диссертации был Ю. М. Таиров, я очень благодарен ему за помощь в борьбе с «некоторыми трудностями». В момент моей предзащиты на кафедре Юрий Михайлович находился в командировке. Тема диссертации звучала необычно: «Эволюционно-генетическая модель политипизма». До В. В. Пасынкова дошли слухи о спорности некоторых моих суждений. Я узнал, что он отреагировал на это фразой, смысл которой заключался в том, что «у нас за концепции кандидатских степеней не присваивают». Иной была реакция Юрия Михайловича: он попросил меня в сопровождении А. А. Кальнина прийти к нему в проректорский кабинет и повторить доклад. Внимательно выслушал и тут же сформулировал новое название диссертации: «Гетероэпитаксия и микропрофилирование в технологии карбида кремния». А по поводу старого названия пошутил, что я смогу его использовать для докторской (кстати, почти так и случилось).

Чтобы исключить «кривотолки», Юрий Михайлович предложил «взять» первым оппонентом известного специалиста по переходным слоям при эпитаксии, заведующего кафедрой физико-химических основ технологии микроэлектроники МИЭТ, профессора Юрия Дмитриевича Чистякова. (Этот принцип – обращаться к сильному оппоненту – я всегда использую при защитах своих аспирантов.)

«Новая эра» для меня началась в 1985 г., когда в ЛЭТИ завершалось строительство гермозоны, на рабочих чертежах которой сохранились подписи Николая Петровича Богородицкого и Игоря Геннадьевича Пичугина (эксперта-технолога). Ядро первого коллектива будущего ЦМИД составили «дэпэшники»: В. А. Ильин, Ю. А. Демин, М. В. Лупал, А. А. Копылов, В. П. Кульков, В. В. Малиновский и др. Решающую роль в том, чтобы гермозона ЛЭТИ развивалась как целостная система, а не представляла собой эклектическую совокупность «удельных княжеств» в виде лабораторий разных кафедр, сыграл Ю. М. Таиров, который в те годы был проректором ЛЭТИ по научной работе.

Его профессионализм руководителя, исследователя и педагога проявлялся в разных областях деятельности. Считаю, что во многом благодаря личным качествам Юрия Михайловича (при огромной методической работе В. С. Сорокина), нам удалось создать деловую и доброжелательную среду для ведущих профессоров и руководителей вузов страны, участвующих в подготовке кадров по направлениям «Электроника и микроэлектроника», «Нанотехнологии», «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Впоследние годы мы (А. В. Соломонов, А. В. Корляков и я) много

работали над реализацией образовательных стандартов второго поколения и подготовкой образовательных стандартов третьего поколения по направлениям «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника» (трудились в условиях профессиональной конкуренции и лоббирования). Эта работа также выполнялась под руководством Юрия Михайловича. Его талант убеждения и личный авторитет часто являлись решающими факторами в принятии Учебнометодическим советом обоснованных, а не коньюктурных решений.

Юрий Михайлович вместе с карбидчиками разных поколений создал известнейшую научно-педагогическую школу*. Наш проект с «Роснано» – яркое тому подтверждение. Поэтому лэтишный карбид кремния всегда молод и востребован (как и сам Ю. М.).

Врамках короткого эссе я не могу подробно описать всех своих учителей, коими считаю Б. Ф. Ормонта, А. Н. Пихтина, И. Г. Пичугина,

Г.А. Савельева, Я. И. Панову, Г. Н. Виолину, Б. Л. Антипова, Ю. Т. Окунева и многих других. Благодарен всем за подаренные знания, за радость общения и честь, оказанную мне при избрании на должность заведующего нашей любимой кафедрой.

* Прим. автора. Метод выращивания монокристаллов карбида кремния, одним из авторов которого является Ю. М. Таиров, известен во всем мире как «метод ЛЭТИ». Он стал основой промышленного освоения этого очень востребованного сегодня материала. Юрий Михайлович является членом Международного комитета по карбиду крем-

ния, председателем, членом оргкомитетов всех отечественных и зарубежных конференций по карбиду кремния, членом научного совета по физике полупроводников РАН, членом редколлегий нескольких престижных научно-технических журналов.

Д. Д. Авров, С. И. Дорожкин, В. П. Растегаев

ВЗОНЕ РОСТА

Д.Д. Авров. В школьные годы я увлекался физикой, химией, математикой и уже тогда знал, что ни в поэты, ни в артисты не пойду. Мою окончательную профориентацию осуществили муж сестры и его друзья – выпускники ЛЭТИ 1974 г. по кафедре ДП.

Уже при поступлении мы познакомились с первым преподавателем кафедры – Николаем Николаевичем Семеновым. Он руководил приемной комиссией и «внушил» нам спокойствие и уверенность

втом, что мы «оказались в нужное время в нужном месте». Поступление прошло спокойно, в конце его Владимир Васильевич Пасынков произнес историческую фразу: «В соответствии с поданными заявлениями вы зачислены на первый курс электрофизического факультета ЛЭТИ по кафедре диэлектриков и полупроводников. Кхм!».

Начались студенческие будни. Помню, мы полностью исписывали толстенные (96 листов!) тетради на курсе Олега Андреевича Лебедева «Физическая химия», причем однажды за какой-то ехидный комментарий он пообещал налить остряку в карман жидкого азота. Вспоминается курс Андрея Дмитриевича Чеснокова «Спецглавы физики»: каждая формула занимала на доске и в конспекте по несколько строк – гамильтонианы! Три или четыре занятия на защите лабораторок у Елены Павловны Юрченко мы пытались выяснить, что такое p–n-пере- ход, а выяснив, пытались за одно занятие защитить «кавалерийским наскоком» все работы. Помню, как нас пугали, что пятерку В. В. Пасынков ставит только лично, хотя на самом деле ее можно было получить у Инги Александровны Митюревой, нашего куратора. Запомнился Александр Николаевич Пихтин с его риторическим вопросом «Почему так, а не иначе?». А однажды Игорь Геннадиевич Пичугин на консультации перед экзаменом за сорок минут пересказал нам весь курс технологии полупроводниковых приборов (к радости прогульщиков). Юрий Михайлович Волокобинский на лекциях по физике полупроводников всегда знакомил нас с последними новостями искусства и культуры.

Еще будучи студентом, я начал работать на кафедре. Вначале мой выбор пал на группу «рентгенщиков», состоявшую на тот момент только из аспирантов Коли Долотова и Франка Нойберта (ГДР). Затем к нам присоединился отработавший три года в НПО «Поиск» Сергей

Дорожкин. Вместе с ним мы осваивали программирование на калькуляторе «Электроника БК-21» – писали программы как для обсчета рентгеновских данных, так и для игры в «морской бой». Вскоре нам с Сережей предложили перейти в лабораторию Ю. М. Таирова, в группу, которая выращивала монокристаллы карбида кремния. Эта научная школа была известна на весь мир. Основанная еще в пятидесятые годы, она получила сильный импульс развития после стажировки Юрия Михайловича в США. Именно здесь начались пионерские работы по полупроводниковому карбиду кремния и был предложен использующийся во всем мире метод выращивания объемных монокристаллов – «метод ЛЭТИ».

Вообще-то карбидом занималось несколько научных групп. В частности, активно разрабатывалась приборная тематика, где лидировали Эдуард Ефимович и Галина Николаевна Виолины, под руководством которых начинал трудовую деятельность будущий заместитель управляющего делами Президента России Игорь Яременко. Активно развивалась «генетическая теория» в научной группе А. А. Кальнина, а доцент (впоследствии – профессор) В. В. Лучинин (бывший аспирант этой группы) уже создавал на базе лэтишной гермозоны межвузовский отдел микроэлектронной технологии (ныне – ЦМИД).

Жизнь кипела. На кафедре было до 25 аспирантов, и вечером за «рюмкой чая» можно было поучаствовать в интересной научной дискуссии или поговорить о спорте как неотъемлемой части аспирантской жизни. Эта жизнь заставляла нас обучаться многим рабочим профессиям – слесарь, электрик, сантехник, токарь по графиту и т. п. Главным нашим умельцем был Володя Левин, он же считался и главным «маодзедумом». Помню одну из его цитат: «В любом деле главное – дозированный удар!». Как и полагается вождю, Левин (почти – Ленин!) часто «ходил в народ». Под его «патронажем» в Институте огнеупоров проводились чемпионаты по домино, в которых «наши» частенько брали верх над «туземцами».

Меж тем дело двигалось к защите диссертации, в ее подготовке мне здорово помогли друзья-аспиранты. Андрей Лебедев передал весь комплект сопроводительной документации. Сергей Дорожкин, Володя Растегаев, Игорь Яременко, Андрей Бакин и Юра Мельник приняли активное участие в обсуждении результатов, подсказали как их лучше представить. Предзащита в группе технологов прошла спокойно, а вот доклад на расширенной группе с участием Г. Н. Виолиной и В. С. Сорокина был разнесен в пух и прах. Галина Николаевна выступила, как всегда,

весомо и доходчиво, а в заключение призвала любить свою диссертацию и правильно расставлять акценты в докладе. Валерий Сергеевич просто помог мне понять, что я сделал и что защищаю. Так что спасибо им обоим.

Защита на совете запомнилась тем, что, когда я пришел на кафедру в костюме и галстуке, меня никто не узнал. Было приятно, что профессор Б. В. Царенков (член совета от ФТИ) похвалил меня именно за то, за что поругала ведущая организация (тот же ФТИ). С 1992 г. наступила радостная,

но сложная пора: коллеги поочередно защищались, но зарабатывать в науке становилось все труднее. Одни уходили в бизнес, другие уезжали за границу.Обэтойутечкемозговгорькоговорить,ноэтофакт.Вдевяностые годы на фирме «Cree» (ведущий в мире производитель материалов и элементов на основе карбида кремния) более половины исследователей было изРоссии,аконкретно–изЛЭТИиФТИ.Нонашалабораторияпокажива– спасибо «вечно перспективному и вечно молодому» карбиду кремния.

Так как выращивание наших кристаллов длится несколько суток, то вечерами у нас обычно собирались многие сотрудники кафедры. Частенько заходил «народный поэт» – Игорь Саунин, написавший гимн нашей лаборатории. Наш «голубой огонек» привлекал Владимира Алексеевича Попова, Александра Павловича Андреева, Эдуарда Ефимовича Виолина, Вячеслава Алексеевича Мошникова, Алексея Махина, Андрея Лебедева, Юрия Мельника, Николая Пщелко. У нас проходили жаркие дискуссии и по научным проблемам, и по политике, и по взаимоотношениям между людьми. Для организации таких вечеров использовалась сумка, привезенная кем-то с конференции в Японии. Она служила пропуском на пятый этаж, где в то время существовал отличный магазин-

чик. Со временем встречи нашей компании, к сожалению, стали более редкими и переместились с кафедры

вбаню, к которой нас приучил сотрудник Физтеха и директор фирмы «ФТИККС» Андрей Максимов.

Последнее десятилетие примечательно приятным нарушениемтрадицийнашейсугубомужскойгруппы–

вней появилась очаровательная Олеся Посредник, что сразу привело к качественному скачку научных результатов. Кристаллы увеличились в размерах, а

качество их структуры улучшилось до мировых стандартов. Не зря ведь «технология» – это слово женского рода. (Кстати, «кафедра» – тоже.)

С. И. Дорожкин. Я родился 6 декабря 1960 г. в Сыктывкаре – столице республики Коми, потому и подход к выбору профессии у меня был КОМИческим: если отец – инженер (он строил линии электропередач), а мама – врач, то я как их «гибрид» должен поступать в ЛЭТИ, на биомедэлектронику!

Так и сделал, но не прошел по конкурсу и потому стал получать «дэпэшное» образование. После окончания вуза «отбарабанил» три года молодым специа-

листом в НИИ «Поиск», а затем по совету Коли Долотова вернулся на кафедру, чтобы работать в рентгеновской лаборатории.

Трудиться начинали не рано, но засиживались допоздна. Рентгеновская топография – длительный процесс, так что, если пришел поздно, то рано уже не уйдешь. И тут-то Коле пришла в голову «умная» мысль: «Сережа, давай, ты будешь приходить рано и запускать установки, но и уходить будешь раньше». По простоте душевной я согласился. И только по прошествии нескольких недель понял, что раньше уйти не получается: в компанию пришел, с компанией и уйдешь. И действительно, после восьми вечера на кафедре случались самые интересные «тусовки», можно было очень познавательно поговорить и о науке, и о жизни.

Понятно, что работа с раннего утра сошла на нет, и все вернулось на «круги своя». Но зато приятно вспомнить В. В. Пасынкова, который любил утренние обходы не меньше, чем вечерние. Он проходил по всей кафедре, заглядывал в каждую дверь и всегда радовался, когда спозаранку кто-то уже трудился. Вспоминаю одно раннее утро. Установки уже запущены, стоит ровный гул трансформатора, под который особенно хорошо спится на письменном столе. Внутренний голос шепнул мне, что В. В. уже на подходе и пора принять рабочий вид. Мой доклад о том, что процесс идет и в лаборатории все замечательно, привел его в благодушное настроение, и он ушел продолжать осмотр.

В группу технологов меня пригласил Валерий Федорович Цветков: «Сережа, ну нечего тебе делать в рентгене. Там ты всегда будешь решать чужие задачи. Займись выращиванием монокристаллов – куча перспектив». И Вовка, незабвенный Вовка Левин авторитетно поддакнул ему.

На мой взгляд, Валерий Федорович не блистал научным гением, но был прекрасным технологом и обладал потрясающей способностью не пропускать чужие идеи. Бывало, в лаборатории

поговорим за чайком о чем-то, а через недельку приходит В. Ф. и сообщает, чтоу него есть новая идеяи надоее проверить. Потихоньку начинаем вспоминать, как кто-то из нас бросил пару фраз о том, что можно бы и так попробовать растить кристаллы, и этак.

Отлынивание от реализации идей Валерия Федоровича влекло за собой «пропесочивание». Вспоминается тяжкий вздох Левина после очередной цветковской взбучки: «Видно, деньги от заказчика пришли, готовит почву для “правильной” дележки премии». Не знаю почему, но Вовка никогда не возражал Цветкову и только после защиты диссертации стал понемножку «расправлять крылья» и становиться сильнее. Вова вообще был очень мягким и, как и положено большим лю-

дям, добрым человеком. Он с самого начала занимался выращиванием карбида, и многое в лаборатории было сделано его руками. Почему-то запомнилось, как он сидит за столом и, зажав в огромных ручищах пинцет, наклеивает лэлиевский кристаллик на графитовый пьедестал.

Все мы платили профсоюзные взносы, но отдачи практически не видели. И вот на очередной отпуск Левин «пробил» себе путевку на Дальний Восток. Он был просто счастлив: почти «халява»! Обратно вернулся с тремя трехлитровыми банками красной икры, по тем временам – чудо. Помню, сидя «за рюмкой чая», Вова нас уговаривал: «Да не мажьте вы ее на хлеб, ешьте ложкой». Ситуация сильно смахивала на сцену из фильма «Белое солнце пустыни». Левина нам сильно недостает и сейчас: он много

знал, много умел руками и вообще был настоящим другом.

Вспоминается комический случай, связанный со светлым образом Игоря Яременко (в аспирантуре мы с ним «соседствовали»: он был у Виолиных, мы – у Цветкова, но всех нас объединял карбид кремния).

Лето. «Есть мнениие», что вечерком надо «посидеть». Уезжаю за посылкой в аэропорт (мама все время посылала что-нибудь вкусное), Игорь с Андреем Лебедевым остаются готовить «горючее» по фирменной технологии. И вот мы уже все вместе, а на столе – корзина сыктывкарской клубники и колба с огненным напитком (кто не пробовал – не поймет!). На клубнику уже смотреть тошно, хочется чего-то мясного. Вдруг Игорь вспоминает, что у него завалялся говяжий фарш, купленный по поручению жены. Заработала инженерная мысль: вместо

плиты приспособили паяльную лампу, вместо сковороды – противень из никелевого листа. А когда котлеты уже жарились, мы вспомнили, что их надо посолить. Соли не было, и Игорю пришла в голову гениальная мысль: растолочь битую пластину из хлористого натрия. Так и сделали, и котлеты пошли «на ура». На следующий день все в полном здравии приступили к работе, но были огорошены признанием Игоря: «Мужики, я ошибся: это был не хлористый натрий, а бромистый калий».

В. П. Растегаев. На кафедре ДП я появился в 1981 г. – приехал в командировку из Куйбышевского госуниверситета для ознакомления с технологией выращивания монокристаллов карбида кремния.

Приняли меня радушно. Карбидная лаборатория кафедры ДП уже давно пользовалась заслуженным авторитетом не только в стране, но и в мире. Ее научный руководитель – Юрий Михайлович Таиров – исповедовал идею открытости, и потому круг корпоратив-

ных связей и научных знакомств постоянно расширялся. На момент моего прибытия уже существовало и международное «карбидное братство», поскольку кафедра ДП готовила специалистов для многих стран.

Первыми сотрудниками, с которыми я познакомился, были Валерий Федорович Цветков, Володя Левин и Володя Ильин. Они рассказали мне

так много интересного, что в следующий раз я приехал на кафедру уже поступать в аспирантуру.

В аспирантские годы круг моих знакомых постепенно расширялся. Я не переставал восхищаться высочайшим уровнем их научной квалификации – Эдуард Ефимофич и Галина Николаевна Виолины, Андрей Александрович

Кальнин, Нина Александровна Смирнова, Виктор Викторович Лучинин, Женя Иванов, Юра Демин и многие другие.

С Деминым мы особенно близко сошлись на почве общей любви к шахматам. Играли обычно вечером. В это время В. В. Пасынков (тогдашний заведующий кафедрой) совершал свои знаменитые «вечерние обходы»: заглядывал в каждую лабораторию, справлялся о делах, контролировал соблюдение правил техники безопасности и т. д. Он появился в разгар нашей «баталии», осмотрел лабораторию, бросил мимолетный взгляд на шахматную доску и вышел. А наутро мне очень досталось от Цветкова, который назидательно и более чем строго сказал, что «на работе надо работать, а отдыхать надо на отдыхе». Валерий Федорович был очень квалифицированным технологом и обладал потрясающей работоспособностью, но его манера общения с подчиненными была фельдфебельской. С начальством он всегда общался ласково. Ну да Бог с ним!

Часто вспоминаю рассказ Володи Левина об одном технологическом происшествии и хочу поведать его от лица автора.

«Дежурил я как-то на выращивании карбида кремния (еще в подвале первого корпуса). Поздний вечер, установки работают на полную мощность, температура в рабочих камерах – две с половиной тысячи градусов. И вдруг в корпусе отключают воду. Я, тогда еще совсем несмышленый студент-лаборант, первым делом отключаю электроэнергию, но ситуация остается критической. Бегу на кафедру, а там – только Пасынков.

Спускаемся с ним в подвал, он – впереди, я – сзади. И тут у нас на глазах начинают “опадать” шланги (от перегрева). В. В. оборачивается ко мне и говорит: “Ну что, бежим?”. При всей строгости Пасынкова и при всей его любви к технике безопасности чувство юмора ему было не чуждо даже в экстремальных ситуациях.»

Юрия Михайловича Таирова я всегда воспринимал как прекрасного специалиста, очень интелли-

гентного и доброжелательного человека, но в «цветковскую эпоху» мои контакты с ним были редки: «прокуратором» нашей группы был Валерий Федорович. А вот эпизод с Владимиром Николаевичем Таировым, вспоминается.

Я работал с ВЧ-генератором, который приходилось периодически чинить. Для проверки источника питания требовался киловольтметр, вот я и пошел к В. Н. Он строго посмотрел на меня и сказал:

– Возьми, но обязательно верни!

Управился за полчаса. Возвращаю прибор и вижу удивленно радостный взгляд Владимира Николаевича:

– Я знал, что если человеку прибор и вправду нужен, то он попользуется и сразу вернет, а если не нужен, то будет держать у себя годами.

После того как В. Ф. Цветков стал «вечным колумбом» (открыл для себя Америку и остался в ней навсегда), в нашей группе началась «оттепель». Я стал часто (и каждый раз с удовольствием) общаться с Эдуардом Ефимовичем Виолиным. Он обладал не только светлейшим научным умом, но и тончайшим чувством юмора. В частности, любил задавать задачки по физике твердого тела, например: «Вылетают ли наружу дырки из полупроводника р-типа при ударе кристалла о стену?».

Обо всех «столпах» кафедральной науки я рассказать не сумею – не Тургенев, но хочу помянуть добрым словом нашего гвардейского завлаба – Николая Михайловича Гаврина. Добрейший человек, он производил на меня впечатление классического ротного старшины, который разрывается между необходимостью держать себя строго и искренним желанием помогать молодежи...