- •6. Формирование оптического излучения
- •6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- •6.2. Системы экспонирования
- •6.3. Основы теории формирования микроизображений
- •Волновые процессы в оптике
- •Представление волн в векторном и комплексном виде
- •6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- •Теорема Грина
- •Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- •Применение интегральной теоремы
- •Граничные условия Кирхгофа
- •Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- •Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- •Приближение Кирхгофа
- •Приближение Френеля
- •Дифракция при контактной фотолитографии
- •Расчет распределения интенсивности
- •Контрольные вопросы и задания
- •7. Проекционное формирование микроизображений
- •7.1. Качество проекционного изображения
- •7.2. Понятие изображающей системы
- •7.3. Связь между объектом и изображением
- •7.4. Свертка
- •7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- •Ряды Фурье
- •Ряд Фурье в комплексной форме
- •Интеграл Фурье
- •Фурье-преобразование
- •Фурье-преобразование изображения
- •7.6. Оптическая передаточная функция
- •7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- •7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- •7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- •7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- •7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- •Контрольные вопросы и задания
Контрольные вопросы и задания
1. Опишите основные свойства оптической передаточной функции T(). Объясните их математическое происхождение со ссылками на соответствующие формулы. Дайте графическую иллюстрацию функции T().
2. Оптическая передаточная функция T() определена для объекта с косинусоидальным распределением интенсивности. Что можно сказать про T() для объекта с прямоугольным распределением интенсивности?
3. Разложите в ряд Фурье заданную функцию распределения интенсивности. Разложение выполните в комплексной и тригонометрической форме. Сравните результаты.
4. Поясните этапы выполнения расчета интенсивности в проекционном изображении:
нахождение частотного распределения объекта;
нахождение частотного распределения изображения (определение значения T() для каждой частоты;
нахождение пространственного распределения изображения (выполнение обратного фурье-преобразования).
Каждый этап этого вопроса проиллюстрируйте графически.
5. По рассчитанному распределению интенсивности оцените применимость литографической системы для формирования заданного микроизображения.