- •6. Формирование оптического излучения
- •6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- •6.2. Системы экспонирования
- •6.3. Основы теории формирования микроизображений
- •Волновые процессы в оптике
- •Представление волн в векторном и комплексном виде
- •6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- •Теорема Грина
- •Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- •Применение интегральной теоремы
- •Граничные условия Кирхгофа
- •Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- •Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- •Приближение Кирхгофа
- •Приближение Френеля
- •Дифракция при контактной фотолитографии
- •Расчет распределения интенсивности
- •Контрольные вопросы и задания
- •7. Проекционное формирование микроизображений
- •7.1. Качество проекционного изображения
- •7.2. Понятие изображающей системы
- •7.3. Связь между объектом и изображением
- •7.4. Свертка
- •7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- •Ряды Фурье
- •Ряд Фурье в комплексной форме
- •Интеграл Фурье
- •Фурье-преобразование
- •Фурье-преобразование изображения
- •7.6. Оптическая передаточная функция
- •7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- •7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- •7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- •7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- •7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- •Контрольные вопросы и задания
7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
В параграфе 7.2 мы рассматривали объект как совокупность элементов простой формы: точек или линий. Но можно представить произвольный объект как совокупность элементарных пространственных составляющих (гармоник), интенсивность которых изменяется по синусоидальному или косинусоидальному закону и которые отличаются друг от друга по частоте, амплитуде и фазе.
Применительно к решетке пространственная частота в соответствии с формулой (7.1) равна количеству ее периодов, размещающихся на единице длины. Так, n-я пространственная гармоника периода P имеет период P/n, что соответствует пространственной частоте n/P, которая представляет собой число повторений на единице длины изображения.
Ряды Фурье
Периодическую функцию f(x) аргумента x, имеющую период P, т. е. пространственную частоту = 1/P, можно представить в виде суммы синусоид или косинусоид, имеющих частоты , 2, 3, ... , n и периоды P , P/2, P/3, ..., P/n:
где P измеряется в миллиметрах, а — в единицах на миллиметр.
Коэффициенты такого ряда определяются по формулам
(7.13)
Легко убедиться, что для четной функции все bn = 0; для нечетной функции все an = 0.
Тестовые решетки с одинаковыми прозрачными и непрозрачными полосами (см. рис. 7.1, а), имеющие прямоугольное (П-образное) пропускание, могут быть описаны рядами Фурье:
(7.14)
(7.15)
Уравнение (7.14) соответствует расположению начала координат в центре окна (рис. 7.5, а), а уравнение (7.15) — случаю, когда начало координат совпадает с границей окна (рис. 7.5, б).
На рис. 7.5, в в пределах одного периода показаны частные суммы двух и трех членов ряда Фурье. Увеличение числа членов ряда Фурье делает суммарную функцию все более похожей на исходное прямоугольное распределение.
Ряд Фурье в комплексной форме
Разложение Фурье может быть записано в более простой форме с помощью комплексных экспоненциальных функций. Используем для этого экспоненциальные выражения для косинуса и синуса, являющиеся следствием формулы Эйлера:
(7.16)
Рис. 7.5. Представление функции рядом Фурье:
1 — первый член ряда; 2 — сумма двух членов ряда Фурье; 3 — сумма трех членов ряда Фурье
Представим общий член выражения (7.13) в виде
(7.17)
Если мы обозначим
(7.18)
то формула (7.13) примет вид
(7.19)
Отметим, что суммирование ведется по целым (как положительным, так и отрицательным) значениям n, включая также и нуль. При этом комплексные коэффициенты и поэтому , где звездочка означает комплексное сопряжение.
Формула (7.19) имеет очень простой вид. Покажем, что существует также очень простая формула для определения коэффициентов C по заданной функции f(x). Подставим для этого значения a0, an, bn из формул (7.14) в формулы (7.18) и получим:
(7.20)
(7.21)
(7.22)
Формулы (7.20) – (7.22) можно объединить в одну формулу
(7.23)
где n принимает все положительные и отрицательные целые значения, включая нуль. Таким образом, в комплексной форме разложение Фурье имеет вид
(7.24)
(7.25)
Интеграл Фурье
При увеличении периода P пространственные частоты становятся ближе друг к другу. Это означает, что в предельном случае непериодическая функция может содержать все частоты. Разложение таких функций осуществляется с помощью интеграла Фурье. Для разложения такой функции в выражение (7.19) подставим значение Cn из (7.23):
(7.26)
Непериодическую функцию можно рассматривать как предельный случай периодической функции при стремлении периода к бесконечности, т. е. когда . В рассматриваемой формуле множители n/P можно принять за дискретные значения
...;
переменной , непрерывно меняющейся от до .
Приращение переменной . При можно ввести замену . С учетом этой замены сумма (7.26) переходит в интеграл и мы получаем выражение интеграла Фурье в комплексной форме:
(7.27)
причем функция определяется через f(x) формулой
(7.28)