Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология пп материалов.doc
Технология полупроводниковых материалов
Практикум
Редактор Н. В. Рощина
Лицензия ЛР №020617 от 24.06.98
________________________________________________________________
Подписано
к печати Формат 60
84
1/16. Бумага офсетная.
Печать офсетная. Гарнитура "Times". Усл. печ. л. 3,95. Уч.-изд. л. 4,25.
Тираж 100 экз. Заказ
________________________________________________________________
Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
197376, С-Петербург, ул. Проф. Попова, 5