- •Isbn 5-7629-0557-8 © cПбГэту "лэти",
- •Введение
- •Краткое описание работы программ
- •1. Метод Чохральского
- •2. Метод зонной плавки
- •1.2. Эффективный коэффициент распределения
- •1.3. Распределение примеси вдоль слитка при вытягивании кристаллов из расплава
- •1.4. Порядок выполнения работы
- •1.5. Содержание отчета
- •1.6. Контрольные вопросы и задания
- •2.2. Марки полупроводниковых материалов
- •2.3. Порядок выполнения работы
- •2.4. Содержание отчета
- •2.5. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 3
- •Определение концентрации легирующих
- •И остаточных примесей и расчет их распределения
- •По длине кристалла
- •3.1. Расчет концентрации легирующей примеси
- •3.2. Расчет массы легирующей примеси
- •3.3. Определение выхода годного материала в пассивных методах выращивания кристаллов
- •3.4. Порядок выполнения работы
- •3.6. Содержание отчета
- •3.7. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 4 мЕтод двойного капиллярного тигля
- •4.1. Общие сведения
- •4.2. Выращивание кристаллов методом двойного капиллярного тигля
- •4.3. Распределение примеси вдоль слитка в методе двойного капиллярного тигля
- •4.4. Порядок выполнения лабораторной работы
- •4.5. Содержание отчета
- •4.6. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 5 зонная плавка
- •5.1. Метод зонной плавки
- •5.2. Распределение примеси вдоль слитка при зонной плавке
- •5.3. Зонная очистка (проход расплавленной зоны через однородный в среднем образец)
- •5.4. Проход легирующей зоны через чистый исходный образец
- •5.5. Метод целевой загрузки
- •При соблюдении условия (5.13) из выражения (5.12) получим:
- •5.6. Порядок выполнения работы
- •5.7. Содержание отчета
- •5.8. Контрольные вопросы и задания
- •Термодинамические характеристики германия и кремния и некоторых легирующих элементов
- •Параметры межатомного взаимодействия в твердой и жидкой фазах для некоторых бинарных систем на основе кремния и германия
- •Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках
- •Коэффициенты диффузии d [см2/с] основных легирующих примесей в расплавах германия и кремния при температуре плавления
- •Соотношение между удельным сопротивлением и концентрацией носителей заряда в кремнии п- и р-типа электропроводности
- •Продолжение таблицы 5
- •Окончание таблицы 5
- •Значение подвижности носителей заряда в кристаллах германия
- •Линейные коэффициенты испарения α [см/с] наиболее распространенных примесей в германии и кремнии
- •Физико-химические и электрические свойства важнейших полупроводников
- •Список рекомендуемой литературы
- •Технология полупроводниковых материалов
- •197376, С-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
Продолжение таблицы 5
п-тип |
р-тип |
||||||
ρ, Ом.см |
п, см–3 |
ρ, Ом.см |
п, см–3 |
ρ, Ом.см |
р, см–3 |
ρ, Ом.см |
p, см–3 |
0,090 |
1,08.1017 |
9,2 |
5,22.1014 |
0,080 |
3,56.1017 |
9,0 |
1,42.1015 |
0,100 |
9,18.1016 |
9,4 |
5,11.1014 |
0,090 |
2,96.1017 |
9,2 |
1,40.1015 |
0,200 |
3,49.1016 |
9,6 |
5,00.1014 |
0,100 |
2,52.1017 |
9,4 |
1,37.1015 |
0,300 |
2,09.1016 |
9,8 |
4,89.1014 |
0,200 |
9,48.1016 |
9,6 |
1,34.1015 |
0,400 |
1,48.1016 |
10 |
4,80.1014 |
0,300 |
5,66.1016 |
9,8 |
1,31.1015 |
0,500 |
1,15.1016 |
11 |
4,36.1014 |
0,400 |
3,99.1016 |
10 |
1,28.1015 |
0,600 |
9,32.1015 |
12 |
3,99.1014 |
0,500 |
3,08.1016 |
11 |
1,17.1015 |
0,700 |
7,84.1015 |
13 |
3,68.1014 |
0,600 |
2,50.1016 |
12 |
1,07.1015 |
0,800 |
6,76.1015 |
14 |
3,41.1014 |
0,700 |
2,10.1016 |
13 |
9,86.1014 |
0,900 |
5,94.1015 |
15 |
3,18.1014 |
0,800 |
1,81.1016 |
14 |
9,15.1014 |
1,00 |
5,29.1015 |
16 |
2,98.1014 |
0,900 |
1,59.1016 |
15 |
8,53.1014 |
2,0 |
2,52.1015 |
17 |
2,80.1014 |
1,00 |
1,41.1016 |
16 |
7,99.1014 |
3,0 |
1,65.1015 |
18 |
2,64.1014 |
2,00 |
6,75.1015 |
17 |
7,52.1014 |
3,2 |
1,54.1015 |
19 |
2,50.1014 |
3,00 |
4,42.1015 |
18 |
7,09.1014 |
3,4 |
1,45.1015 |
20 |
2,38.1014 |
3,2 |
4,13.1015 |
19 |
6,71.1014 |
3,6 |
1,37.1015 |
25 |
1,89.1014 |
3,4 |
3,88.1015 |
20 |
6,38.1014 |
3,8 |
1,29.1015 |
30 |
1,58.1014 |
3,6 |
3,66.1015 |
25 |
5,09.1014 |
4,0 |
1,22·1015 |
35 |
1,35.1014 |
3,8 |
3,46.1015 |
30 |
4,24.1014 |
4,2 |
1,16.1015 |
40 |
1,18.1014 |
4,0 |
3,28.1015 |
35 |
3,63.1014 |
4,4 |
1,11.1015 |
45 |
1,05.1014 |
4,2 |
3,12.1015 |
40 |
3,17.1014 |
4,6 |
1,06.1015 |
50 |
9,45.1013 |
4,4 |
2,97.1015 |
45 |
2,82.1014 |
4,8 |
1,02.1015 |
55 |
8,59.1013 |
4,6 |
2,84.1015 |
50 |
2,54.1014 |
5,0 |
9,74.1014 |
60 |
7,86.1013 |
4,8 |
2,72.1015 |
55 |
2,30.1014 |
5,2 |
9,36.1014 |
65 |
7,26.1013 |
5,0 |
2,61.1015 |
60 |
2,11.1014 |
5,4 |
9,00.1014 |
70 |
6,74.1013 |
5,2 |
2,52.1015 |
65 |
1,95.1014 |
5,6 |
8,67.1014 |
75 |
6,29.1013 |
5,4 |
2,41.1015 |
70 |
1,81.1014 |