- •Isbn 5-7629-0557-8 © cПбГэту "лэти",
- •Введение
- •Краткое описание работы программ
- •1. Метод Чохральского
- •2. Метод зонной плавки
- •1.2. Эффективный коэффициент распределения
- •1.3. Распределение примеси вдоль слитка при вытягивании кристаллов из расплава
- •1.4. Порядок выполнения работы
- •1.5. Содержание отчета
- •1.6. Контрольные вопросы и задания
- •2.2. Марки полупроводниковых материалов
- •2.3. Порядок выполнения работы
- •2.4. Содержание отчета
- •2.5. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 3
- •Определение концентрации легирующих
- •И остаточных примесей и расчет их распределения
- •По длине кристалла
- •3.1. Расчет концентрации легирующей примеси
- •3.2. Расчет массы легирующей примеси
- •3.3. Определение выхода годного материала в пассивных методах выращивания кристаллов
- •3.4. Порядок выполнения работы
- •3.6. Содержание отчета
- •3.7. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 4 мЕтод двойного капиллярного тигля
- •4.1. Общие сведения
- •4.2. Выращивание кристаллов методом двойного капиллярного тигля
- •4.3. Распределение примеси вдоль слитка в методе двойного капиллярного тигля
- •4.4. Порядок выполнения лабораторной работы
- •4.5. Содержание отчета
- •4.6. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 5 зонная плавка
- •5.1. Метод зонной плавки
- •5.2. Распределение примеси вдоль слитка при зонной плавке
- •5.3. Зонная очистка (проход расплавленной зоны через однородный в среднем образец)
- •5.4. Проход легирующей зоны через чистый исходный образец
- •5.5. Метод целевой загрузки
- •При соблюдении условия (5.13) из выражения (5.12) получим:
- •5.6. Порядок выполнения работы
- •5.7. Содержание отчета
- •5.8. Контрольные вопросы и задания
- •Термодинамические характеристики германия и кремния и некоторых легирующих элементов
- •Параметры межатомного взаимодействия в твердой и жидкой фазах для некоторых бинарных систем на основе кремния и германия
- •Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках
- •Коэффициенты диффузии d [см2/с] основных легирующих примесей в расплавах германия и кремния при температуре плавления
- •Соотношение между удельным сопротивлением и концентрацией носителей заряда в кремнии п- и р-типа электропроводности
- •Продолжение таблицы 5
- •Окончание таблицы 5
- •Значение подвижности носителей заряда в кристаллах германия
- •Линейные коэффициенты испарения α [см/с] наиболее распространенных примесей в германии и кремнии
- •Физико-химические и электрические свойства важнейших полупроводников
- •Список рекомендуемой литературы
- •Технология полупроводниковых материалов
- •197376, С-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
Термодинамические характеристики германия и кремния и некоторых легирующих элементов
|
Элемент |
Тпл, К |
Hпл, кДж/моль |
Эле- мент |
Тпл, К |
Hпл, кДж/моль |
|
Si |
1685 |
50,61 |
Cu |
1357 |
13,02 |
|
Ge |
1210 |
33,83 |
Bi |
544 |
11,02 |
|
Al |
933 |
10,69 |
Ag |
1234 |
11,95 |
|
Ga |
303 |
5,66 |
Li |
459 |
2,89 |
|
In |
430 |
3,24 |
Sn |
505 |
7,08 |
|
Р |
317 |
4,69 |
Zn |
693 |
6,68 |
|
As |
1090 |
27,686 |
Pb |
600 |
4,78 |
|
Sb |
904 |
20,38 |
Ni |
1728 |
17,63 |
|
Au |
1338 |
12,65 |
Fe |
1808 |
13,02 |
Таблица 2
Параметры межатомного взаимодействия в твердой и жидкой фазах для некоторых бинарных систем на основе кремния и германия
|
Эле-мент |
Si |
Ge |
||
|
тв, кДж/моль |
ж, кДж/моль |
тв, кДж/моль |
ж, кДж/моль |
|
|
Al |
63,16 |
–17,33 + 5,1.10–3T |
16,61 |
–22,19 + 13,2.10–3T |
|
Ga |
49,13 |
13,6 – 3,47.10–3T |
6,41 |
–0,62 |
|
In |
123,44 |
47,9 – 14,11.10–3T |
67,42 |
6,57 – 2,34.10–3T |
|
P |
8,0 |
– |
16,5 |
– |
|
As |
24,9 |
–210,0 + 135,8.10–3T |
32,36 |
–23,46 + 17,43.10–3T |
|
Sb |
58,0 |
13,77 + 6,75.10–3T |
52,13 |
11,05 – 8,29.10–3T |
|
Au |
70,41 |
–81,87 + 43,0.10–3T |
106,6 |
–2,038 + 4,27.10–3T |
|
Cu |
206,09 |
49,86 + 30,09.10–3T |
120,66 |
–30,8 + 32,1.10–3T |
|
Bi |
125,47 |
62,12 – 8,62.10–3T |
103,8 |
23,02 – 6,24.10–3T |
|
Ag |
154,14 |
–33,11 + 31,94.10–3T |
126,63 |
–23,02 + 29,8.10–3T |
|
Li |
46,33 |
–9,72 |
52,72 |
–5,213 |
|
Sn |
68,10 |
34,09 – 6,28.10–3T |
44,62 |
7,03 + 4,52.10–3T |
|
Zn |
160,75 |
17,91 + 2,77.10–3T |
71,76 |
–2,95 |
|
Pb |
– |
– |
98,71 |
36,75 – 17,08.10–3T |
|
Ni |
– |
– |
131,4 |
–3,07 |
Таблица 3