Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология пп материалов.doc
X
- •Isbn 5-7629-0557-8 © cПбГэту "лэти",
- •Введение
- •Краткое описание работы программ
- •1. Метод Чохральского
- •2. Метод зонной плавки
- •1.2. Эффективный коэффициент распределения
- •1.3. Распределение примеси вдоль слитка при вытягивании кристаллов из расплава
- •1.4. Порядок выполнения работы
- •1.5. Содержание отчета
- •1.6. Контрольные вопросы и задания
- •2.2. Марки полупроводниковых материалов
- •2.3. Порядок выполнения работы
- •2.4. Содержание отчета
- •2.5. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 3
- •Определение концентрации легирующих
- •И остаточных примесей и расчет их распределения
- •По длине кристалла
- •3.1. Расчет концентрации легирующей примеси
- •3.2. Расчет массы легирующей примеси
- •3.3. Определение выхода годного материала в пассивных методах выращивания кристаллов
- •3.4. Порядок выполнения работы
- •3.6. Содержание отчета
- •3.7. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 4 мЕтод двойного капиллярного тигля
- •4.1. Общие сведения
- •4.2. Выращивание кристаллов методом двойного капиллярного тигля
- •4.3. Распределение примеси вдоль слитка в методе двойного капиллярного тигля
- •4.4. Порядок выполнения лабораторной работы
- •4.5. Содержание отчета
- •4.6. Контрольные вопросы и задания
- •Лабораторная работа 5 зонная плавка
- •5.1. Метод зонной плавки
- •5.2. Распределение примеси вдоль слитка при зонной плавке
- •5.3. Зонная очистка (проход расплавленной зоны через однородный в среднем образец)
- •5.4. Проход легирующей зоны через чистый исходный образец
- •5.5. Метод целевой загрузки
- •При соблюдении условия (5.13) из выражения (5.12) получим:
- •5.6. Порядок выполнения работы
- •5.7. Содержание отчета
- •5.8. Контрольные вопросы и задания
- •Термодинамические характеристики германия и кремния и некоторых легирующих элементов
- •Параметры межатомного взаимодействия в твердой и жидкой фазах для некоторых бинарных систем на основе кремния и германия
- •Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках
- •Коэффициенты диффузии d [см2/с] основных легирующих примесей в расплавах германия и кремния при температуре плавления
- •Соотношение между удельным сопротивлением и концентрацией носителей заряда в кремнии п- и р-типа электропроводности
- •Продолжение таблицы 5
- •Окончание таблицы 5
- •Значение подвижности носителей заряда в кристаллах германия
- •Линейные коэффициенты испарения α [см/с] наиболее распространенных примесей в германии и кремнии
- •Физико-химические и электрические свойства важнейших полупроводников
- •Список рекомендуемой литературы
- •Технология полупроводниковых материалов
- •197376, С-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках
Примесь |
Si |
Ge |
GaAs |
GaP |
InP |
Кремний |
– |
5,5 |
0,14 |
0,6 |
5,5.10–1 |
Германий |
0,33 |
– |
1,5.10–2 |
2.10–2 |
0,3 |
Углерод |
1,0 |
– |
0,8 |
3.10–2 |
1,4.10–1 |
Олово |
1,6.10–2 |
1,9.10–2 |
5.10–3 |
3.10–2 |
– |
Свинец |
– |
1,7.10–4 |
1.10–5 |
– |
– |
Бор |
0,8 |
17 |
– |
– |
– |
Алюминий |
3.10–3 |
7,3.10–2 |
3,0 |
– |
– |
Галлий |
8.10–3 |
8,7.10–2 |
– |
– |
– |
Индий |
4.10–4 |
1.10–3 |
7.10–3 |
– |
– |
Фосфор |
0,35 |
8.10–2 |
3,0 |
– |
– |
Мышьяк |
0,3 |
2.10–2 |
– |
– |
– |
Сурьма |
2,3.10–3 |
3.10–3 |
1,6.10–2 |
– |
– |
Висмут |
7.10–4 |
4.10–5 |
5.10–3 |
– |
– |
Литий |
1.10–2 |
2.10–3 |
– |
– |
– |
Медь |
4.10–4 |
1,5.10–5 |
2.10–3 |
2.10–3 |
– |
Серебро |
10–4–10–5 |
1,5.10–5 |
1.10–3 |
– |
– |
Золото |
2,5.10–3 |
1,3.10–5 |
– |
– |
– |
Бериллий |
– |
– |
3,0 |
1,25 |
– |
Цинк |
1.10–5 |
4.10–4 |
0,42 |
0,25 |
– |
Кислород |
0,5 |
0,1 |
– |
– |
– |
Сера |
1.10–5 |
– |
0,5 |
2,5.10–1 |
0,47 |
Селен |
1.10–8 |
– |
0,4 |
1,5.10–1 |
– |
Теллур |
8.10–6 |
– |
4,6.10–2 |
6.10–2 |
0,4 |
Хром |
1.10–8 |
– |
7,0.10–4 |
1.10–3 |
3.10–4 |
Марганец |
1.10–5 |
1.10–6 |
2.10–2 |
2.10–2 |
2.10–2 |
Железо |
6.10–5 |
3.10–5 |
2.10–3 |
2.10–2 |
2.10–3 |
Таблица 4
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]