Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Технология пп материалов.doc
Скачиваний:
97
Добавлен:
25.11.2018
Размер:
1.33 Mб
Скачать

Равновесные коэффициенты распределения k0 примесей в некоторых полупроводниках

Примесь

Si

Ge

GaAs

GaP

InP

Кремний

5,5

0,14

0,6

5,5.101

Германий

0,33

1,5.10–2

2.10–2

0,3

Углерод

1,0

0,8

3.10–2

1,4.101

Олово

1,6.10–2

1,9.10–2

5.10–3

3.10–2

Свинец

1,7.10–4

1.10–5

Бор

0,8

17

Алюминий

3.10–3

7,3.102

3,0

Галлий

8.10–3

8,7.102

Индий

4.10–4

1.103

7.103

Фосфор

0,35

8.102

3,0

Мышьяк

0,3

2.10–2

Сурьма

2,3.103

3.10–3

1,6.102

Висмут

7.104

4.10–5

5.103

Литий

1.102

2.103

Медь

4.104

1,5.105

2.103

2.103

Серебро

10–4–105

1,5.105

1.103

Золото

2,5.103

1,3.105

Бериллий

3,0

1,25

Цинк

1.105

4.104

0,42

0,25

Кислород

0,5

0,1

Сера

1.105

0,5

2,5.101

0,47

Селен

1.108

0,4

1,5.101

Теллур

8.106

4,6.102

6.102

0,4

Хром

1.108

7,0.104

1.103

3.104

Марганец

1.105

1.106

2.102

2.102

2.102

Железо

6.105

3.105

2.103

2.102

2.10–3

Таблица 4