- •Содержание
- •Введение
- •Объекты анализа материалов микроэлектроники
- •1. Основы качественного анализа
- •Классификация анионов
- •2. Аналитические реакции катионов
- •Лабораторная работа № 1 Частные реакции катионов I - II групп Опыт 1. Обнаружение катиона калия
- •Опыт 2. Обнаружение катиона натрия
- •Опыт 3. Обнаружение магния в растворе
- •Опыт 4. Определение иона аммония
- •Реакции катионов I группы
- •Опыт 5. Обнаружение катиона бария
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 7. Обнаружение катиона кальция
- •Лабораторная работа № 2 Анализ смеси катионов I и II групп
- •3. Аналитические реакции катионов III группы
- •Лабораторная работа № 3 Частные реакции катионов III группы Опыт 1. Обнаружение катиона алюминия
- •Опыт 2. Обнаружение хрома
- •Реакции хромат- и бихромат-ионов
- •Опыт 3. Обнаружение железа
- •Опыт 5. Обнаружение цинка в растворе
- •Опыт 6. Обнаружение кобальта
- •Опыт 7. Обнаружение никеля
- •Лабораторная работа № 4 Анализ смеси катионов III, II и I групп
- •4. Аналитические реакции катионов IV и V групп
- •Опыт 2. Обнаружение катионов кадмия
- •Опыт 3. Обнаружение катионов висмута
- •Подгруппа мышьяка Опыт 5. Обнаружение ионов мышьяка
- •Реакции катионов подгруппы меди
- •Обнаружение арсенит-ионов
- •Обнаружение арсенат-ионов
- •Опыт 6. Обнаружение ионов сурьмы
- •Обнаружение ионов сурьмы (III)
- •Обнаружение ионов сурьмы (V)
- •Опыт 7. Обнаружение ионов олова
- •Обнаружение ионов олова (II)
- •Обнаружение ионов олова (IV)
- •Лабораторная работа № 6 Анализ смеси катионов IV группы
- •Лабораторная работа № 7 Частные реакции катионов V группы Опыт I. Определение катионов серебра
- •Опыт 2. Обнаружение катионов свинца
- •Лабораторная работа № 8 Анализ смеси катионов V - I групп
- •Реакции катионов V группы
- •5. Аналитические реакции анионов
- •Опыт 2. Определение аниона со32–
- •Опыт 3. Определение аниона ро4–
- •Опыт 4. Определение аниона SiO32–
- •Опыт 5. Определение аниона f –
- •Вторая аналитическая группа анионов Опыт 6. Определение аниона с1–
- •Опыт 7. Определение аниона Вr –
- •Опыт 8. Определение аниона I –
- •Опыт 9. Определение аниона s2–
- •Третья аналитическая группа анионов Опыт 10. Определение аниона no3–
- •Опыт п. Определение анионов no2–
- •6. Количественный анализ
- •7. Гравиметрия
- •Весовые методы определения некоторых элементов
- •Лабораторная работа № 10 Весовое определение серы в сульфиде кадмия
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение серы
- •Лабораторная работа №11 Весовое определение никеля и железа в резистивных сплавах Определение никеля
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение железа
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •8. Титриметрия
- •Растворение образца.
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 16 Определение стехиометрического состава сверх проводящей керамики ( система y-Ba-Cu )
- •Определение бария
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Иодометрическое титрование
- •Стандартизация раствора тиосульфата натрия по бихромату калия
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение меди
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение иттрия комплексонометрическим титрованием
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Расчет стехиометрии y1 Ва2 Cu3o7
- •9.Физико-химические методы анализа
- •А. Определение фосфора по желтой форме
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Определение фосфора в виде фосфорномолибденовой сини
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В. Определение кремния
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Фотометрическое определение железа в виде роданидного комплекса
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 19 Экстракционно – фотометрическое определение германия в полупроводниковых халькогенидных стеклах системы Te–As-Si-Ge
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 20 Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном присутствии в контактных проводниковых сплавах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 21 Спектрофотометрическое определение висмута в присутствии свинца
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •11. Люминесцентный анализ
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •12. Инфракрасная спектроскопия
- •Лабораторная работа № 23 Измерение толщины пленок диоксида и нитрида кремния методом икс
- •Применение икс для исследования материалов микроэлектроники
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В отчете долж ны быть представлены:
- •Пример расчета:
- •13.Эмиссионный спектральный анализ
- •Лабораторная работа № 24 Определение примесей металлов методом трех эталонов
- •А. Фотографирование спектров трех эталонов и образцов Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Характерные группы линий железа на планшетах атласа
- •В. Измерение почернений линий примесей на микрофотометре и построение калибровочных графиков
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Последовательность фотографирования образцов
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Длины волн определяемых примесей
- •14. Электрохимические методы анализа
- •15.Потенциометрия
- •Прямая потенциометрия (ионометрия)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Результаты ионометрического определения ионов в воде
- •Б. Определение фторид-ионов
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 27 Определение рН в водных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Потенциометрическое титрование (пт)
- •Результаты титрования
- •Лабораторная работа № 28 Определение соляной кислоты в травильной ванне
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 29 Определение соляной и уксусной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 30 Определение соляной и борной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 31 Определение содержания кобальта (II) в растворе
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 32 Определение концентрации хлорида железа (III)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •16. Кондуктометрическое титрование
- •Лабораторная работа № 33 Дифференцированное определение солей железа (п) и(ш) в травильных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •17. Вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 34 Определение примеси цинка в фосфоре
- •18. Инверсионная вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 36 Определение примесей цинка, кадмия, свинца и меди методом инверсионной вольтамперометрии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •19. Хроматография
- •Раздельное вымывание примесей с катионита ку-2
- •Лабораторная работа № 37 Определение меди и цинка при их совместном присутствии на катионите ку-2
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Описание определения
- •Определение кадмия
- •Результаты хроматографического определения ионов кадмия
- •Определение теллура
- •20. Рекомендуемая литература
- •Реакции катионов III группы
- •Реакции ионов подгруппы мышьяка
Последовательность фотографирования образцов
№ спектра |
Фотографируемый объект |
1 |
Чистый спектральный уголь |
2 |
То же |
3 |
То же |
4 |
Уголь+добавка 0,0008% примесей |
5 |
То же |
6 |
+чистый уголь |
7 |
То же |
8 |
+добавка 0,0008% примесей |
9 |
То же |
10 |
+добавка 0,004% примесей |
11 |
То же |
Фотографирование. На полученной спектрограмме измеряют почернение аналитической линии определяемого элемента Sл+ ф в спектрах образцов с известными добавками и в контрольном образце без добавки (табл.13.4). одновременно измеряют почернение фона справа и слева от линии (из трех измерений взяв среднее Sф). Длины волн определяемых примесей представлены в табл. 13.5.
Таблица 13.4
Форма записи результатов наблюдений
№ образца |
Добавка, С,% |
Фон (три измерения) |
Sф |
Sл+ф |
S=Sл+ф-Sф |
1 |
1-я добавка |
|
|
S1 |
S1 |
2 |
2-я |
То же |
|
S2 |
S2 |
3 |
3-я |
То же |
|||
4 |
Без добавки |
То же |
|
S3 |
S3 |
Таблица 13.5.
Длины волн определяемых примесей
Элемент |
Длина волны, |
Место изменения фона |
Предел обнаружения, % |
Медь |
3274 |
Фон между линиями
|
510-6 |
Серебро |
3280 |
То же |
510-6 |
Титан |
3080 |
То же |
510-5 |
Алюминий |
3092 |
То же |
210-5 |
Марганец |
2798 |
Фон с длинноволновой стороны в ближайшем минимуме
|
510-5 |
Никель |
3050 |
То же |
510-5 |
Олово |
3175 |
То же |
510-5 |
Хром |
4254 |
То же |
210-5 |
Железо |
3020 |
Фон с коротковолновой стороны в ближайшеем минимуме
|
210-5 |
Магний |
2802 |
То же |
210-5 |
Свинец |
2801 |
То же |
110-4 |
Расчет результатов спектрального анализа по методу добавок
Согласно уравнению Ломакина концентрация элементов в исследуемом образце связана с интенсивностью линии соотношением
(1)
где Jл – интенсивность спектральной линии; С – концентрация элемента в образце; а, в – константы, зависящие от условий опыта.
В силу того, что интенсивность спектральной линии от опыта к опыту для одного и того же образца может меняться, в спектральном анализе определяют относительную интенсивность линии:
(2)
где - константа для данных условий опыта.
Если спектр регистрируется на фотопластинке, то можно измерить лишь почернение фотопластинки, которое связано с интенсивностью излучения следующим образом:
(3)
где - контрастность фотопластинки; j – величина, характеризующая инертность фотопластинки.
В аналитической практике по вышеназванным причинам обычно измеряют относительное почернение спектральной линии:
(4)
Используя соотношение (3), можно записать:
(5)
если обозначить концентрацию искомого элемента через C0, а концентрацию элемента в добавках через С1 и С2, то получим следующую систему уравнений:
(6)
или
(7)
Разделим второе и третье уравнение системы (7) на первое:
; (8)
Учитывая, что и, следовательно, , систему уравнений можно преобразовать:
(9)
Логарифмируя уравнения (9) и разделив одно на другое, приходим к следующему соотношению:
(10)
Обозначив правую часть уравнения через К, после несложных преобразований получим:
и
Последнее уравнение может быть решено численно относительно С0, например, методом деления отрезка пополам.
Коэффициенты i определяются из характеристической кривой фотопластинки. Если величина S лежит в области нормальных почернений, то
i=const и .
Графическая обработка результатов анализа
В уравнении Ломакина (1) в обычно близко к единице. Поэтому при обработке экспериментальных результатов с достаточной степенью точности можно использовать графический метод, который заключается в следующем:
по результатам измерения почернения ступенек линий, снятых со ступенчатым ослабителем строят характеристическую кривую фотопластинки в координатах S - lgJ;
по характеристической кривой определяют интенсивность спектральной линии и фона или линии сравнения и определяют относительную интенсивность Jот:
или ,
где Jот – относительная интенсивность линии; Jл – интенсивность спектральной линии; Jсрав – интенсивность линии сравнения; Jф – интенсивность фона;
3. строят график зависимости Jот от концентрации добавки в пробе в координатах Jот- C и экстраполируют его до пересечения с осью абсцисс. Величина отрезка от точки пересечения до начала координат и будет отвечать искомой концентрации примеси в пробе.
В отчете должны быть представлены:
Условия и порядок фотографирования образцов.
Результаты измерений (табл.10).
Длины волн аналитический пар.
Результаты расчета графическим методом с приложением соответствующих графиков.