- •Содержание
- •Введение
- •Объекты анализа материалов микроэлектроники
- •1. Основы качественного анализа
- •Классификация анионов
- •2. Аналитические реакции катионов
- •Лабораторная работа № 1 Частные реакции катионов I - II групп Опыт 1. Обнаружение катиона калия
- •Опыт 2. Обнаружение катиона натрия
- •Опыт 3. Обнаружение магния в растворе
- •Опыт 4. Определение иона аммония
- •Реакции катионов I группы
- •Опыт 5. Обнаружение катиона бария
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 6. Обнаружение катиона стронция
- •Опыт 7. Обнаружение катиона кальция
- •Лабораторная работа № 2 Анализ смеси катионов I и II групп
- •3. Аналитические реакции катионов III группы
- •Лабораторная работа № 3 Частные реакции катионов III группы Опыт 1. Обнаружение катиона алюминия
- •Опыт 2. Обнаружение хрома
- •Реакции хромат- и бихромат-ионов
- •Опыт 3. Обнаружение железа
- •Опыт 5. Обнаружение цинка в растворе
- •Опыт 6. Обнаружение кобальта
- •Опыт 7. Обнаружение никеля
- •Лабораторная работа № 4 Анализ смеси катионов III, II и I групп
- •4. Аналитические реакции катионов IV и V групп
- •Опыт 2. Обнаружение катионов кадмия
- •Опыт 3. Обнаружение катионов висмута
- •Подгруппа мышьяка Опыт 5. Обнаружение ионов мышьяка
- •Реакции катионов подгруппы меди
- •Обнаружение арсенит-ионов
- •Обнаружение арсенат-ионов
- •Опыт 6. Обнаружение ионов сурьмы
- •Обнаружение ионов сурьмы (III)
- •Обнаружение ионов сурьмы (V)
- •Опыт 7. Обнаружение ионов олова
- •Обнаружение ионов олова (II)
- •Обнаружение ионов олова (IV)
- •Лабораторная работа № 6 Анализ смеси катионов IV группы
- •Лабораторная работа № 7 Частные реакции катионов V группы Опыт I. Определение катионов серебра
- •Опыт 2. Обнаружение катионов свинца
- •Лабораторная работа № 8 Анализ смеси катионов V - I групп
- •Реакции катионов V группы
- •5. Аналитические реакции анионов
- •Опыт 2. Определение аниона со32–
- •Опыт 3. Определение аниона ро4–
- •Опыт 4. Определение аниона SiO32–
- •Опыт 5. Определение аниона f –
- •Вторая аналитическая группа анионов Опыт 6. Определение аниона с1–
- •Опыт 7. Определение аниона Вr –
- •Опыт 8. Определение аниона I –
- •Опыт 9. Определение аниона s2–
- •Третья аналитическая группа анионов Опыт 10. Определение аниона no3–
- •Опыт п. Определение анионов no2–
- •6. Количественный анализ
- •7. Гравиметрия
- •Весовые методы определения некоторых элементов
- •Лабораторная работа № 10 Весовое определение серы в сульфиде кадмия
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение серы
- •Лабораторная работа №11 Весовое определение никеля и железа в резистивных сплавах Определение никеля
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Определение железа
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •8. Титриметрия
- •Растворение образца.
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 16 Определение стехиометрического состава сверх проводящей керамики ( система y-Ba-Cu )
- •Определение бария
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Иодометрическое титрование
- •Стандартизация раствора тиосульфата натрия по бихромату калия
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение меди
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Определение иттрия комплексонометрическим титрованием
- •Реактивы
- •Описание определения
- •Расчет стехиометрии y1 Ва2 Cu3o7
- •9.Физико-химические методы анализа
- •А. Определение фосфора по желтой форме
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Определение фосфора в виде фосфорномолибденовой сини
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В. Определение кремния
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Б. Фотометрическое определение железа в виде роданидного комплекса
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 19 Экстракционно – фотометрическое определение германия в полупроводниковых халькогенидных стеклах системы Te–As-Si-Ge
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 20 Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном присутствии в контактных проводниковых сплавах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 21 Спектрофотометрическое определение висмута в присутствии свинца
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •11. Люминесцентный анализ
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •12. Инфракрасная спектроскопия
- •Лабораторная работа № 23 Измерение толщины пленок диоксида и нитрида кремния методом икс
- •Применение икс для исследования материалов микроэлектроники
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •В отчете долж ны быть представлены:
- •Пример расчета:
- •13.Эмиссионный спектральный анализ
- •Лабораторная работа № 24 Определение примесей металлов методом трех эталонов
- •А. Фотографирование спектров трех эталонов и образцов Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Характерные группы линий железа на планшетах атласа
- •В. Измерение почернений линий примесей на микрофотометре и построение калибровочных графиков
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Последовательность фотографирования образцов
- •Форма записи результатов наблюдений
- •Длины волн определяемых примесей
- •14. Электрохимические методы анализа
- •15.Потенциометрия
- •Прямая потенциометрия (ионометрия)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Результаты ионометрического определения ионов в воде
- •Б. Определение фторид-ионов
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 27 Определение рН в водных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Потенциометрическое титрование (пт)
- •Результаты титрования
- •Лабораторная работа № 28 Определение соляной кислоты в травильной ванне
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 29 Определение соляной и уксусной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 30 Определение соляной и борной кислот в растворе при совместном присутствии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 31 Определение содержания кобальта (II) в растворе
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Лабораторная работа № 32 Определение концентрации хлорида железа (III)
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •16. Кондуктометрическое титрование
- •Лабораторная работа № 33 Дифференцированное определение солей железа (п) и(ш) в травильных растворах
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •17. Вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 34 Определение примеси цинка в фосфоре
- •18. Инверсионная вольтамперометрия
- •Лабораторная работа № 36 Определение примесей цинка, кадмия, свинца и меди методом инверсионной вольтамперометрии
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •19. Хроматография
- •Раздельное вымывание примесей с катионита ку-2
- •Лабораторная работа № 37 Определение меди и цинка при их совместном присутствии на катионите ку-2
- •Оборудование и реактивы
- •Описание определения
- •Описание определения
- •Определение кадмия
- •Результаты хроматографического определения ионов кадмия
- •Определение теллура
- •20. Рекомендуемая литература
- •Реакции катионов III группы
- •Реакции ионов подгруппы мышьяка
Описание определения
Навеску тонкорастертого материала 0,02 н, взятую с точностью до
0,0001 г, разлагают в стакане емкостью 100 мл в 2 мл азотной кислоты и 10 мл серной кислоты при нагревании. После разложения навески азотную кислоту удаляют выпариванием раствора до появления паров серной кислоты. Раствор 2-3 раза обрабатывают водой, каждый раз кипятят до получения паров серной кислоты, затем переносят в мерную колбу на 250 мл и добавляют воды до метки. После перемешивания раствору дают отстояться.
Для определения германия отбирают в делительную воронку 5 мл прозрачного раствора, прибавляют 25 мл 9 н раствора соляной кислоты, 5 мл тетрахлорида углерода и взбалтывают в течение 2 мин. После окончания экстракции воронку закрепляют в штативе, пробку поворачивают до совпадения отверстий и экстракт сливают во вторую делительную воронку.
В первой воронке, содержащей водяную фазу, проводят повторную экстракцию 5 мл четыреххлористого углерода в течение 2 мин. Полученный экстракт присоединяют к первому, сливая его во вторую воронку.
При возможном присутствии окислителей экстракт промывают 2 раза 2%-ным раствором хлорида гидроксиламина.
Затем проводят дважды реэкстракцию германия. Для этого каждый раз в делительную воронку с экстрактом прибавляют 5 мл дистиллированной воды и взбалтывают в течение 1 мин.
Водяные вытяжки переносят в мерную колбу емкостью 25 мл и далее поступают так же, как при построении калибровочного графика, который описывается ниже.
Построение калибровочного графика. В шесть мерных колб емкостью
25 мл вводят последовательно 0,0; 05; 1; 1,5; 2; 2,5 мл стандартного раствора, содержащего 5 мкг/мл Ge(IV). Седьмая колба – анализируемый раствор.
Во все семь колб вносят по 4 мл 6 н раствора HCl, воды до 20 мл, 1 мл
1%-ного желатина и перемешивают. Затем вводят по 1,5 мл 0,05 %-ного раствора фенилфлуорона, перемешивают и добавляют воды до метки. Опять перемешивают. Все семь колб оставляют стоять на 30 мин. После этого измеряют оптическую плотность растворов на фотоколориметре при 560 нм (используя пятисантиметровые кюветы) относительно дистиллированной воды. По полученным данным строят калибровочный график A = f (C). На оси ординат наносят значения оптической плотности, а на оси абсцисс – соответствующие им концентрации раствора в мкг/мл, приняв за начальную точку значение плотности раствора, не содержащего германия (так называемый «холостой» раствор – первая колба).
Лабораторная работа № 20 Спектрофотометрическое определение хрома и марганца при совместном присутствии в контактных проводниковых сплавах
Для контактов в микросхемах применяются сплавы на основе благородных металлов. Хром и марганец являются легирующими добавками в серебряных сплавах типа Ag-Pd-Ni. Для проведения анализа основу (серебро) отделяют, осаждая ее соляной кислотой. Остальные элементы определяют в фильтрате из отдельных аликвотных частей фотометрическими методами: палладий-по реакции с нитрозо-Р-солью, никель- с диметилглиоксимом, марганец и хром – по изменению интенсивности окраски перманганат- и бихромат-ионов, образующихся при окислении марганца и хрома персульфатом аммония. Никель и палладий не мешают совместному определению хрома и марганца. При определении марганца и хрома при их совместном присутствии наиболее удобен метод калибровочного графика. Этот метод применим во всех случаях определения двух компонентов, когда имеется такой участок спектра, где поглощением одного из компонентов можно пренебречь(условный вид спектра – на рис.1).
Рис. 1. Спектры поглощения Рис. 2. Калибровочные графики
перманганата калия (1) и для определения
бихромата калия (2) 1-хрома (λ = 430 нм);
в видимой области 2 – марганца при λ = 430 нм);
3 – марганца (λ = 550 нм)
Для этого строят калибровочные графики для стандартного раствора перманганата калия, измеряя оптическую плотность второго раствора при двух длинах волн: =430 нм и =550 нм (кривые 2 и 3 на рис.2) и для стандартного раствора бихромата, измеряя оптическую плотность этого раствора при =430 нм (кривая 1 на рис.2). затем измеряют оптическую плотность Ах550 исследуемой смеси KMnO4 и K2Cr2O7 при =550 нм и по кривой 3 сразу же определяют концентрацию марганца в исследуемом растворе. Одновременно по кривой 2 определяют оптическую плотность Ах430 раствора перманганата при =430 нм. Затем по разности оптических плотностей исследуемой смеси и раствора перманганата при =430 нм (АCr430=Ах430-АMn430) по кривой 1 определяют концентрацию хрома в исследуемой смеси.
Измерение оптической плотности производят на спектрофотометре СФ-26 или СФ-46.
Определению марганца и хрома мешают восстановители, в том числе ионы хлора, ионы железа (III), никеля, ванадия и урана. Чтобы устранить влияние ионов железа (III), его связывают в бесцветный фосфатный комплекс H3[Fe(PO4)2].
Для устранения влияния ионов никеля, ванадия и урана в раствор сравнения вводят такое количество этих элементов, которое содержится в исследуемой смеси.