FOE2016
.pdfЛекция 7. Концентрация носителей заряда в полупроводниках
Введем обозначения
n – концентрация электронов в зоне проводимости p – концентрация дырок в валентной зоне
Ec,V (k) - закон дисперсии
по определению
n N 1 2 f Ec (k) V V k
1. электроны в кристалле – газ невзаимодействующих частиц
f E k |
|
1 |
|
- функция распределения Ферми-Дирака |
||
|
E k F |
|
||||
|
e |
kБT |
1 |
|
|
|
F – химический потенциал (уровень Ферми) |
||||||
f |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
вырожденные носители |
||
|
|
|
|
невырожденные носители |
||
|
|
|
|
F kT |
|
E |
|
|
|
|
E F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
KБT |
||
|
|
|
|
e |
E F
Хвост функции распределения E F 1, e kБT 1 kБT
Переход к распределению Больцмана
|
|
1 |
|
|
|
E k F |
f |
|
|
e |
kБT |
||
|
E k F |
|
|
|
||
|
e |
kБT |
1 |
|
|
1
Электронный газ, который описывается функцией распределения Ферми-Дирака называется вырожденным, а электронный газ, характеризуемый больцмановской функцией распределения, – невырожденным.
Для электронов в зоне проводимости полупроводника Ec F 1 kБT
2. График функции распределения при наличии взаимодействия электронов
T = 0
а < 1
F
3. График функции распределения в системах пониженной размерности. жидкость сильно взаимодействующих электронов называется маргинальной ферми-жидкостью
f
а = 0
F E
Концентрация электронов в зоне проводимости
Алгоритм расчёта
... k ...dk ...dE
k
2
k - элемент объема, приходящийся на одно состояние в k -пространстве
k kx ky kz |
2 3 |
, |
kx, y,z L |
|
V |
||||
|
|
|
||
Первый переход |
осуществляется в пределе объема системы V L3 , стремящегося к |
бесконечности. Второй переход связан с тем, что подинтегральное выражение зависит от импульса лишь в меру зависимости от импульса энергии, которая входит в выражение для функции распределения.
переход от интегрирования по волновому вектору к интегрированию по энергии
n |
2 |
|
|
dk |
|
сферическаясистема координат |
||||||||||
3 |
e |
E k F |
|
|||||||||||||
|
2 |
c |
|
|
|
|
|
|
|
dk |
k 2dk sin d d |
|||||
|
kБT |
|
1 |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
8 |
|
|
|
k 2dk |
|
(**) |
||||
|
|
|
|
2 3 |
|
2 |
2 |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
Ec |
|
k |
F |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
* |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e |
|
2m |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kБT |
|
1 |
k 2dk 12 kdk 2
Ec k Ec 2k 2 Ec E
2m*
k 2m*E dk 2 2m* dE
2
Заменив в (**) волновой вектор на энергию, получим:
|
|
|
|
1 |
|
2m |
* |
12 |
|
|
1 |
2 |
2m |
* |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
E |
|
|
dE |
|
2m |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
1 |
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
* |
3 |
|
|
|
E |
1 |
2 dE |
|
|
|
||||||||||
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
N F ( ) |
||||||||||||||
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Ec E F |
|
|
|
|
|
|
2 3 2 |
|
|
E F Ec |
c |
1 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
e |
kБT |
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e |
kБT |
1 |
|
2 |
||||||||
Введем |
параметр |
|
|
N |
|
|
m k |
|
T |
|
32 |
, |
|
который называется эффективной плотностью |
||||||||||||||||||||||
|
|
c |
2 |
n |
Б |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
состояний |
и функцию |
|
F1/ 2 ( ) , которая называется интегралом Ферми индекса ½ и |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
определяется следующим образом: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
F12 |
|
2 |
|
|
|
x 12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
0 |
|
dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
ex 1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ec F kБT
3
Таким образом n Nc F12
вся информация о примеси содержится в значении уровня Ферми F.
предельный случай, когда выполняется условие невырожденности электронного газа:
|
|
|
|
Ec F |
|
|
1, |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
kБT |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
* |
3 |
|
|
|
Ec F |
|
1 |
E |
Ec F |
|
|
|
|
2m |
2 |
|
e |
|
E 2 e |
|
e |
kБT dE |
|
|
||||||
n |
|
kБT |
kБT |
|
|
||||||||||||
2 |
3 |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Оставшийся интеграл сводится к интегралу Пуассона |
|||||||||||||||||
|
|
1 |
|
и |
t2e t2 dt |
I |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||
e t 2 dt |
|
|
|
||||||||||||||
0 |
|
|
|
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
1 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
и вычисляется явно:
|
1 |
2e |
E |
|
12e xdx x t2 |
kБT 32 |
|
|
E |
kБT |
dE kБT 3 |
2 x |
t2e t 2 dt . |
||||
0 |
|
|
|
|
0 |
|
|
0 |
В результате получаем
Ec F
n Nce KБT
классический предел реализуется, когда . При этом F12 e .
Числовая аппроксимация эффективной плотности состояний
|
|
|
m |
|
32 |
|
T |
|
32 |
|
N |
|
2,5 |
1019 |
n |
|
|
|
|
|
см-3 |
|
300 |
|
||||||||
|
c |
|
m |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
Концентрация дырок в валентной зоне
p 2 1 f EV k
V k
Закон дисперсии
EV k EV 2k 2
2mp
4
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EV k F |
|
|
|
|
|
|
||||
1 f E |
k |
|
|
1 |
|
1 |
|
e |
k |
БT |
|
|
|
1 |
|
1 |
|
||||
|
E |
k E |
|
|
|
|
E k F |
E (k ) F |
|
E F E |
|||||||||||
V |
|
|
F |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
V |
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
V |
||||
|
|
e |
kБT |
1 |
|
e |
kБT |
|
1 |
|
1 e kБT |
|
e |
kБT |
1 |
Полученное выражение совпадает с выражением для функции распределения электронов в зоне проводимости с точностью до замены
F F, |
EV EC . |
|||
Тогда |
|
|
|
|
p NV F1 |
, |
|
EV F |
|
KБT |
||||
|
2 |
|
||
|
|
|
NV 2 mpkБ2T 322
невырожденный случай
|
|
F EV |
p NV e |
kБT |
|
|
|
5
Лекция 8. Уравнение электронейтральности. Функция заполнения примесного центра
Учёт особенностей реальных полупроводников
Несколько эквивалентных минимумов
n |
2 |
|
|
f E k |
2 |
|
g |
f E k dk |
|
|
|
2 3 |
|||||||
|
V |
g |
k |
c |
|
c |
Долинное вырождение
Nc vNc или mn v2 / 3mn
Вырождение снимается короткодействующим потенциалом, связанным с искажением идеальной решетки вблизи атома примеси
|
|
3 |
|
Si |
6 |
||
2 |
|||
|
|||
|
|
1 |
|
|
|
Ge |
3 |
|
4
1
Таким образом, с учетом междолинного взаимодействия как в Si , так и в Ge остается только спиновое вырождение локализованных сосояний с кратностью равной двум
( gd 2 ).
Рассмотри анизотропию закона дисперсии.
В Кремнии и германии закон дисперсии имеет следующий вид
Ec k Ec |
2 kx2 ky2 k 2 |
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
z |
|
||||||
2 |
|
m |
|
m |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
t |
|
|
e |
||
В общем случае |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
2 k 2 |
|
|
ky2 |
|
k 2 |
|
|
||||||
E |
|
|
x |
|
|
|
|
|
|
z |
|
|
||
2 m |
m |
m |
|
|
||||||||||
|
|
1 |
|
2 |
|
3 |
|
|
Сведение анизотропной задачи к изотропной. Перейдём к новым координатам
1
|
|
~ |
|
m |
|
|
|
~ |
|
m |
|
|
|
~ |
||||||
k |
x |
k |
|
|
1 , |
|
k |
y |
k |
y |
|
2 |
, |
k |
z |
k |
z |
|||
|
|
m |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
x m |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
закон дисперсии стал изотропным |
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
~2 |
~2 |
|
|
~2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
E |
2 kx |
ky |
kz |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
2 |
|
|
|
m |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
dkx dky dkz |
m m |
~ |
|
|
|
|
||||||||||||
dk |
|
1 2 d |
3k |
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m3 |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
m m |
m k |
T 32 |
|
|
|
|
|
|||||||
Nc |
v |
|
|
|
1 2 |
2 |
3 |
Б |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
m3 |
|
2 2 |
|
|
|
|
|
|
Золотое правило статистики
|
|
E |
E |
|
Eg |
|
|
c |
V |
|
|
np Ne NV e |
|
KБT |
Nc NV e |
KБT |
Поскольку уровень Ферми, который содержит в себе всю информацию о легирующей примеси в этом выражении отсутствует, то оно справедливо также и для полупроводника в котором отсутствует примесь.
ni n p => np ni2
Уравнение электронейтральности
Значение уровня Ферми несет в себе всю информацию о характере легирования полупроводника.
p N n N |
F F E |
, E , m , m |
, N |
d |
, N |
,T . |
|
d |
a |
c |
V n p |
|
a |
|
|
Nd Nd0 Nd , |
|
Na Na0 Na |
|
|
|
|
По определению концентрации ионизованной ( Nd ) и нейтральной ( Nd0 ) примеси определяются как
2
Nd Nd (1 fd ), Nd0 Nd fd ,
Спросить, что такое fd
Функция заполнения примесного центра
Примесь служит примером открытой системы, т.е. системы, обменивающейся частицами с окружением. Необходимо использовать большое каноническое распределение Гиббса
FN p Epp Ae kБT
По определению вероятности:
p 1 ,
p
Нормировочную постоянную удобно выразить через термодинамический потенциал :
|
FN p E p |
||
p e |
kБT |
|
|
|
|
|
|
kБT ln e |
EN p E p |
||
kБT |
|||
|
p |
По определению среднее число частиц в системе есть:
|
N pe |
FN p E p |
|
|||
|
kБT |
|
||||
n |
p |
|
||||
|
e |
FN p Ep |
|
|||
|
|
|
||||
|
|
kБT |
|
|
||
|
|
p |
|
|||
n |
|
|
||||
|
|
F |
|
В рамках метода эффективной массы каждое такое состояние оказывается вырожденным g- кратно, где g 2v . С учетом короткодействующего потенциала примеси, не описываемого приближением эффективной массы, вырождение по долинам
3
снимается и основной уровень связанного состояния оказывается вырожденным только по спину, т.е. g 2 .
Таким образом, рассматриваема примесь может находиться в трех состояниях: ионизованном ( p p0 0, N0 0, E E0 ); с одним электроном на примеси - такое состояние g - кратно вырождено ( p p1 1,...g, N p1 1, E E0 Ed ); с двумя электронами
на примеси ( p p2 , N p2 |
2, E E0 |
2Ed ). |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
FN p Ep |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
N pe |
kБT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F E0 Ed |
|
|
|
|
F Ed |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ge |
kБT |
|
|
|
|
ge |
kБT |
|
|
|||||||||||||
n |
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
FN p Ep |
|
|
|
|
|
E0 |
|
|
|
F E0 Ed |
|
|
|
|
F Ed |
|
||||||||||||||
d |
|
|
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 ge |
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e |
|
kБT |
ge |
kБT |
|
|
|
kБT |
|
||||||||||||
|
kБT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
nd |
fd |
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
1 |
|
|
|
Ed F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
e |
k |
T |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Б |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
gd |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
акцепторный полупроводник |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
F F, |
|
|
|
|
EV EC , |
|
Ed Ea |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
fa |
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
F Ea |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
e |
|
|
k |
T |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Б |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
ga |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Концентрация носителей заряда в собственном полупроводнике
Уравнение электронейтральности для собственного полупроводника n p ni
В соответствии с золотым правилом статистики
Eg
np Nc Nve kBT
Eg ni Nc Nv e 2kБT
4
Рассказать про генерационные и рекомбинационные процессы в полупроводниках
+
|
|
Eg |
|
np n2 |
|
e |
KT |
||||
|
|
|
Подставим выражение для концентраций
|
|
Ec F |
|
|
F EV |
|
Nce |
kБT NV e |
kБT |
||||
|
|
F |
1 |
E E |
|
1 k |
T ln |
NV |
|
1 |
E E |
|
3 k |
T ln |
mp |
|
2 |
|
2 |
m |
|||||||||||
|
c V |
|
2 Б |
|
N |
c |
|
c V |
|
4 Б |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
Таким образом при T = 0 в собственном полупроводнике уровень Ферми F находится посередине запрещенной зоны. Если mp mn , то с повышением температуры уровень Ферми F смещается в сторону зоны проводимости. Если, наоборот, mp mn , то с повышением температуры уровень Ферми F смещается в сторону валентной зоны.
Ec |
mn < mp |
|
|
0 |
T |
|
|
|
mn > mp |
EV |
|
5