Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

FOE2016

.pdf
Скачиваний:
54
Добавлен:
27.03.2016
Размер:
7.37 Mб
Скачать

Лекция 7. Концентрация носителей заряда в полупроводниках

Введем обозначения

n – концентрация электронов в зоне проводимости p – концентрация дырок в валентной зоне

Ec,V (k) - закон дисперсии

по определению

n N 1 2 f Ec (k) V V k

1. электроны в кристалле – газ невзаимодействующих частиц

f E k

 

1

 

- функция распределения Ферми-Дирака

 

E k F

 

 

e

kБT

1

 

 

F – химический потенциал (уровень Ферми)

f

 

 

 

 

 

 

 

 

 

вырожденные носители

 

 

 

 

невырожденные носители

 

 

 

 

F kT

 

E

 

 

 

 

E F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

KБT

 

 

 

 

e

E F

Хвост функции распределения E F 1, e kБT 1 kБT

Переход к распределению Больцмана

 

 

1

 

 

 

E k F

f

 

 

e

kБT

 

E k F

 

 

 

 

e

kБT

1

 

 

1

Электронный газ, который описывается функцией распределения Ферми-Дирака называется вырожденным, а электронный газ, характеризуемый больцмановской функцией распределения, – невырожденным.

Для электронов в зоне проводимости полупроводника Ec F 1 kБT

2. График функции распределения при наличии взаимодействия электронов

T = 0

а < 1

F

3. График функции распределения в системах пониженной размерности. жидкость сильно взаимодействующих электронов называется маргинальной ферми-жидкостью

f

а = 0

F E

Концентрация электронов в зоне проводимости

Алгоритм расчёта

... k ...dk ...dE

k

2

k - элемент объема, приходящийся на одно состояние в k -пространстве

k kx ky kz

2 3

,

kx, y,z L

V

 

 

 

Первый переход

осуществляется в пределе объема системы V L3 , стремящегося к

бесконечности. Второй переход связан с тем, что подинтегральное выражение зависит от импульса лишь в меру зависимости от импульса энергии, которая входит в выражение для функции распределения.

переход от интегрирования по волновому вектору к интегрированию по энергии

n

2

 

 

dk

 

сферическаясистема координат

3

e

E k F

 

 

2

c

 

 

 

 

 

 

 

dk

k 2dk sin d d

 

kБT

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

8

 

 

 

k 2dk

 

(**)

 

 

 

 

2 3

 

2

2

 

 

 

 

 

 

 

 

Ec

 

k

F

 

 

 

 

 

 

 

 

*

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

2m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kБT

 

1

k 2dk 12 kdk 2

Ec k Ec 2k 2 Ec E

2m*

k 2m*E dk 2 2m* dE

2

Заменив в (**) волновой вектор на энергию, получим:

 

 

 

 

1

 

2m

*

12

 

 

1

2

2m

*

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E

 

 

dE

 

2m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

2

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

*

3

 

 

 

E

1

2 dE

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

N F ( )

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ec E F

 

 

 

 

 

 

2 3 2

 

 

E F Ec

c

1

 

 

 

 

 

 

 

 

e

kБT

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

kБT

1

 

2

Введем

параметр

 

 

N

 

 

m k

 

T

 

32

,

 

который называется эффективной плотностью

 

 

c

2

n

Б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

состояний

и функцию

 

F1/ 2 ( ) , которая называется интегралом Ферми индекса ½ и

определяется следующим образом:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

F12

 

2

 

 

 

x 12

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

dx

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ex 1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ec F kБT

3

Таким образом n Nc F12

вся информация о примеси содержится в значении уровня Ферми F.

предельный случай, когда выполняется условие невырожденности электронного газа:

 

 

 

 

Ec F

 

 

1,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kБT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

*

3

 

 

 

Ec F

 

1

E

Ec F

 

 

 

2m

2

 

e

 

E 2 e

 

e

kБT dE

 

 

n

 

kБT

kБT

 

 

2

3

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Оставшийся интеграл сводится к интегралу Пуассона

 

 

1

 

и

t2e t2 dt

I

 

 

 

 

 

 

e t 2 dt

 

 

 

0

 

 

 

 

2

 

2

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и вычисляется явно:

 

1

2e

E

 

12e xdx x t2

kБT 32

 

E

kБT

dE kБT 3

2 x

t2e t 2 dt .

0

 

 

 

 

0

 

 

0

В результате получаем

Ec F

n Nce KБT

классический предел реализуется, когда . При этом F12 e .

Числовая аппроксимация эффективной плотности состояний

 

 

 

m

 

32

 

T

 

32

 

N

 

2,5

1019

n

 

 

 

 

 

см-3

 

300

 

 

c

 

m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

Концентрация дырок в валентной зоне

p 2 1 f EV k

V k

Закон дисперсии

EV k EV 2k 2

2mp

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EV k F

 

 

 

 

 

 

1 f E

k

 

 

1

 

1

 

e

k

БT

 

 

 

1

 

1

 

 

E

k E

 

 

 

 

E k F

E (k ) F

 

E F E

V

 

 

F

 

 

 

 

 

 

 

 

V

 

 

 

V

 

 

 

 

 

 

V

 

 

V

 

 

e

kБT

1

 

e

kБT

 

1

 

1 e kБT

 

e

kБT

1

Полученное выражение совпадает с выражением для функции распределения электронов в зоне проводимости с точностью до замены

F F,

EV EC .

Тогда

 

 

 

p NV F1

,

 

EV F

KБT

 

2

 

 

 

 

NV 2 mpkБ2T 322

невырожденный случай

 

 

F EV

p NV e

kБT

 

 

5

Лекция 8. Уравнение электронейтральности. Функция заполнения примесного центра

Учёт особенностей реальных полупроводников

Несколько эквивалентных минимумов

n

2

 

 

f E k

2

 

g

f E k dk

 

 

2 3

 

V

g

k

c

 

c

Долинное вырождение

Nc vNc или mn v2 / 3mn

Вырождение снимается короткодействующим потенциалом, связанным с искажением идеальной решетки вблизи атома примеси

 

 

3

Si

6

2

 

 

 

1

 

 

Ge

3

 

4

1

Таким образом, с учетом междолинного взаимодействия как в Si , так и в Ge остается только спиновое вырождение локализованных сосояний с кратностью равной двум

( gd 2 ).

Рассмотри анизотропию закона дисперсии.

В Кремнии и германии закон дисперсии имеет следующий вид

Ec k Ec

2 kx2 ky2 k 2

 

 

 

 

 

 

 

 

z

 

2

 

m

 

m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

 

 

e

В общем случае

 

 

 

 

 

 

 

2 k 2

 

 

ky2

 

k 2

 

 

E

 

 

x

 

 

 

 

 

 

z

 

 

2 m

m

m

 

 

 

 

1

 

2

 

3

 

 

Сведение анизотропной задачи к изотропной. Перейдём к новым координатам

1

 

 

~

 

m

 

 

 

~

 

m

 

 

 

~

k

x

k

 

 

1 ,

 

k

y

k

y

 

2

,

k

z

k

z

 

 

m

 

 

 

 

x m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

 

закон дисперсии стал изотропным

 

 

 

 

 

 

~2

~2

 

 

~2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E

2 kx

ky

kz

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

m

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dkx dky dkz

m m

~

 

 

 

 

dk

 

1 2 d

3k

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m m

m k

T 32

 

 

 

 

 

Nc

v

 

 

 

1 2

2

3

Б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m3

 

2 2

 

 

 

 

 

 

Золотое правило статистики

 

 

E

E

 

Eg

 

 

c

V

 

 

np Ne NV e

 

KБT

Nc NV e

KБT

Поскольку уровень Ферми, который содержит в себе всю информацию о легирующей примеси в этом выражении отсутствует, то оно справедливо также и для полупроводника в котором отсутствует примесь.

ni n p => np ni2

Уравнение электронейтральности

Значение уровня Ферми несет в себе всю информацию о характере легирования полупроводника.

p N n N

F F E

, E , m , m

, N

d

, N

,T .

d

a

c

V n p

 

a

 

Nd Nd0 Nd ,

 

Na Na0 Na

 

 

 

 

По определению концентрации ионизованной ( Nd ) и нейтральной ( Nd0 ) примеси определяются как

2

Nd Nd (1 fd ), Nd0 Nd fd ,

Спросить, что такое fd

Функция заполнения примесного центра

Примесь служит примером открытой системы, т.е. системы, обменивающейся частицами с окружением. Необходимо использовать большое каноническое распределение Гиббса

FN p Epp Ae kБT

По определению вероятности:

p 1 ,

p

Нормировочную постоянную удобно выразить через термодинамический потенциал :

 

FN p E p

p e

kБT

 

 

 

 

 

kБT ln e

EN p E p

kБT

 

p

По определению среднее число частиц в системе есть:

 

N pe

FN p E p

 

 

kБT

 

n

p

 

 

e

FN p Ep

 

 

 

 

 

 

kБT

 

 

 

 

p

 

n

 

 

 

 

F

 

В рамках метода эффективной массы каждое такое состояние оказывается вырожденным g- кратно, где g 2v . С учетом короткодействующего потенциала примеси, не описываемого приближением эффективной массы, вырождение по долинам

3

снимается и основной уровень связанного состояния оказывается вырожденным только по спину, т.е. g 2 .

Таким образом, рассматриваема примесь может находиться в трех состояниях: ионизованном ( p p0 0, N0 0, E E0 ); с одним электроном на примеси - такое состояние g - кратно вырождено ( p p1 1,...g, N p1 1, E E0 Ed ); с двумя электронами

на примеси ( p p2 , N p2

2, E E0

2Ed ).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

FN p Ep

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N pe

kБT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

F E0 Ed

 

 

 

 

F Ed

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ge

kБT

 

 

 

 

ge

kБT

 

 

n

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

FN p Ep

 

 

 

 

 

E0

 

 

 

F E0 Ed

 

 

 

 

F Ed

 

d

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 ge

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

kБT

ge

kБT

 

 

 

kБT

 

 

kБT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

nd

fd

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

Ed F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

k

T

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

gd

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

акцепторный полупроводник

 

 

 

 

 

 

 

 

F F,

 

 

 

 

EV EC ,

 

Ed Ea

 

 

 

 

 

 

 

 

fa

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

F Ea

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

 

k

T

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ga

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Концентрация носителей заряда в собственном полупроводнике

Уравнение электронейтральности для собственного полупроводника n p ni

В соответствии с золотым правилом статистики

Eg

np Nc Nve kBT

Eg ni Nc Nv e 2kБT

4

Рассказать про генерационные и рекомбинационные процессы в полупроводниках

+

 

 

Eg

 

np n2

e

KT

 

 

 

Подставим выражение для концентраций

 

 

Ec F

 

 

F EV

Nce

kБT NV e

kБT

 

 

F

1

E E

 

1 k

T ln

NV

 

1

E E

 

3 k

T ln

mp

2

 

2

m

 

c V

 

2 Б

 

N

c

 

c V

 

4 Б

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

Таким образом при T = 0 в собственном полупроводнике уровень Ферми F находится посередине запрещенной зоны. Если mp mn , то с повышением температуры уровень Ферми F смещается в сторону зоны проводимости. Если, наоборот, mp mn , то с повышением температуры уровень Ферми F смещается в сторону валентной зоны.

Ec

mn < mp

 

0

T

 

 

mn > mp

EV

 

5

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]