Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

FOE2016

.pdf
Скачиваний:
54
Добавлен:
27.03.2016
Размер:
7.37 Mб
Скачать

19

I.Проведение реальных измерений (опция «Измерения»)

1)Щелкните левой кнопкой мыши по

пункту главного меню «Измерения». На экране видеомонитора появится меню первого уровня опции измерений (рис.16).

2)Измерьте и запишите температуру в лаборатории.

3)Щелкните левой кнопкой мыши по

пункту меню первого уровня «Ввод». На

Рис.16. Первый уровень меню опции

экране видеомонитора появится окно,

«Измерение»

содержащее меню опции «Ввод условий

 

измерения» (рис.17), в котором надо произвести необходимые изменения. После внесения изменений следует щелкнуть левой кнопкой мыши по прямоугольнику «OK» и тем самым закрыть окно ввода и окно меню «Измерения».

Рис.17. Меню ввода условий измерения

4) Снова щелкните левой кнопкой мыши по пункту главного меню «Измерения». В меню первого уровня опции измерений (рис.16) щелкните левой кнопкой мыши по пункту меню первого уровня «Измерение». На экране видеомонитора появится окно «Измерения»

(рис.18).

В этом окне сначала будет отображаться процесс предварительного тестирования источников напряжения и вольтметров, затем - процесс подбора тока через образец и измерения сопротивления образца. Далее в этом окне будут отображаться процессы нагрева образца, постоянного измерения его температуры и измерения сопротивления образца после стабилизации температуры. Затем снова происходит подбор тока нагрева образца и так далее, вплоть до максимальной заданной температуры. После этого ток нагрева образца отключается, процесс измерения температурной зависимости удельной электропроводности завершается. Окно «Измерения» закрывается.

Примерный график зависимости температуры образца от времени при ступенчатом нагреве представлен в примечании в конце описания.

20

Рис.18. Окно «Измерения»

5. Для вывода результатов измерения на экран видеомонитора щелкните левой кнопкой мыши по пункту главного меню «Измерения». В меню первого уровня опции измерений (рис.16) щелкните левой кнопкой мыши по пункту меню первого уровня «График». На экране видеомонитора появится окно с «График зависимости ln g_ = f(1000/T)» (рис.20) с графиком измеренной температурной зависимости удельной электропроводности ln g f (1000T ) , где g= .

Рис.20. Окно графика зависимости lng = f(1000/T)

21

 

 

 

Субъективно оцените диапазон значений аргумента x

1000

(x1 и x2), в котором

 

T

 

 

 

зависимость натурального логарифма удельной электропроводности от обратной температуры можно считать линейной, после чего щелкните левой кнопкой мыши по прямоугольнику «Ввод», расположенному справа под графиком. На фоне окна «График

зависимости ln g = f(1000/T)» появится окно ввода значений x:

x

1000

и x

 

 

1000

.

 

1

T2

 

2

 

T1

 

 

 

 

 

Введите в этом окне выбранные значения x1 и x2 и щелкните левой кнопкой мыши по прямоугольнику «График». На экране видеомонитора появится окно «График зависимости ln g = f(1000/T)» (рис.21) с аппроксимированным линейной зависимостью участком собственной проводимости.

Рис.21. Окно графика зависимости lng = f(1000/T) после построения линейной регрессии

Справа от графика размещена следующая информация:

дата, группа и фамилия измерителя;

значения аргумента x1 и x2;

параметры линейной регрессии (коэффициенты регрессии a и b и коэффициент корреляции r);

значение сопротивления образца R, его удельного сопротивления Rv= и его удельной электропроводности g= при температуре начала измерений T0;

значения ширины запрещенной зоны полупроводникового образца при T=0 K – Eg(0K)

и при T=300 K – Eg(300K).

7)Для вывода графика на печать надо щелкнуть левой кнопкой мыши по прямоугольнику «Печать». После щелчка левой кнопкой мыши по прямоугольнику «Выход» на экране появляется окно главного меню (рис.15).

8)Для записи измеренных данных в файл на жестком диске надо открыть опцию «Измерения», главного меню, щелкнуть левой кнопкой мыши по пункту меню первого уровня «Запись файла». На экране видеомонитора появится окно «Сохранить как», в котором надо указать имя файла данных и сохранить его.

22

Завершение реальных измерений

Для выхода из программы измерений щелкните по прямоугольнику «Выход» в любом меню первого уровня.

Закройте все окна, открытые на рабочем столе компьютера и завершите работу

Windows.

Выключите два источника напряжения и три вольтметра, входящие в состав макета измерительной установки.

II. Проведение имитационных измерений (опция «Имитация»)

Для проведения имитационных измерений не требуются измерительные приборы. Необходим только компьютер.

1) Щелкните

левой

кнопкой

мыши

по пункту главного меню

«Имитация».

На

экране

видеомонитора

появится

меню

первого

уровня

опции

имитации

(рис.22).

 

 

2) Щелкните

левой

кнопкой

мыши по пункту меню первого

уровня

«Ввод».

На

экране Рис.22. Первый уровень меню опции «Имитация»

видеомонитора появится окно «Ввод условий измерения», содержащее меню опции «Ввод» (рис.23), в котором надо

произвести необходимые изменения. После внесения изменений следует щелкнуть левой кнопкой мыши по прямоугольнику «OK» и тем самым закрыть окно ввода и окно меню «Имитация».

3) Щелкните левой кнопкой мыши по пункту меню первого уровня «Ввод». На экране видеомонитора появится окно «Ввод условий измерения», содержащее меню опции «Ввод» (рис.23), в котором надо произвести необходимые изменения. После внесения изменений следует щелкнуть левой кнопкой мыши по прямоугольнику «OK» и тем самым закрыть окно ввода и окно меню «Имитация».

Рис.23. Меню ввода условий имитационного измерения 4) Снова щелкните левой кнопкой мыши по пункту главного меню «Имитация». В

23

меню первого уровня опции «Имитация» (рис.22) щелкните левой кнопкой мыши по пункту меню первого уровня «Измерение». На экране видеомонитора появится окно «Имитационные измерения», в котором будут отображаться процессы нагрева образца, измерения его температуры и сопротивления вплоть до максимальной заданной температуры. После этого процесс имитационного измерения температурной зависимости удельной электропроводности завершается. Окно «Имитация» закрывается.

5) Далее следуйте пунктам 5) – 7) раздела «Проведение реальных измерений» (опция «Измерения»).

III.Использование опции «Результаты»

1)Щелкните левой кнопкой мыши по пункту

главного меню «Результаты». На экране

 

видеомонитора появится меню первого уровня

 

опции «Результаты» (рис.24).

 

2) Щелкните левой кнопкой мыши по пункту

 

меню первого уровня «Загрузка». На экране

 

видеомонитора появится окно «Файл результатов»,

Рис.24. Меню первого уровня опции

содержащее список файлов данных ранее

«Результаты»

проведенных измерений» (рис.25). В этом окне надо

 

выбрать нужный файл и щелкнуть левой кнопкой мыши по прямоугольнику «График». Окно «Файл результатов» закроется, а на экране видеомонитора появится окно «График зависимости ln g = f(1000/T)» (рис.20) с графиком

ранее измеренной температурной зависимости удельной электропроводности ln g f (1000T ) , где g= .

3) Далее следуйте пунктам 6) и 7) раздела «Проведение реальных измерений» (опция «Измерения»)

IV. Использование опции «Помощь»

Щелкните левой кнопкой мыши по пункту главного меню «Помощь». На экране видеомонитора появится меню первого уровня опции «Помощь», состоящее из следующих разделов.

О программе. В этом разделе содержатся Рис.25. Окно «Файл результатов» сведения о цели лабораторной работы и

назначении прикладного программного обеспечения.

Теория. Этот раздел предназначен для ознакомления с основами зонной теории твердого тела, статистикой носителей заряда в полупроводниках и механизмами рассеяния электронов и дырок, а также для изучения температурной зависимости удельной электропроводности полупроводников в широком диапазоне температур.

Экспериментальная часть. В этом разделе представлено описание образца для измерений и макета автоматизированной измерительной установки и изложена автоматизированная методика определения ширины запрещенной зоны полупроводника по результатам измерения температурной зависимости удельной электропроводности в области собственной проводимости.

Контрольные вопросы.

Вход в тот или иной раздел меню «Помощь» осуществляется после щелчка левой

кнопкой мыши по названию соответствующего раздела.

24

4.Отчет о лабораторной работе.

Отчет о лабораторной работе должен быть у каждого студента. В отчете должно содержаться следующее.

1)Краткий конспект описания, содержащий основные аналитические зависимости, используемые при проведении лабораторной работы; алгоритм определения ширины запрещенной зоны и блок-схему макета измерительной установки.

2)Отпечатанный на принтере экспериментальный график зависимости логарифма удельной электропроводности от обратной температуры с результатами определения ширины запрещенной зоны полупроводника (один экземпляр на бригаду).

3)Относительное отличие полученной ширины запрещенной зоны от ее истинного значения E)/ Eист, где E)=l E)- Eистl.

4)Величину относительной погрешности определения ширины запрещенной зоны

E)/ Eист, где E) – абсолютная погрешность определения ширины запрещенной зоны.

5) Перечисление возможных источников погрешности при определении ширины запрещенной зоны.

5.Требования техники безопасности.

При выполнении работы по настоящей методике существует опасность поражения электрическим током. Для предупреждения поражения электрическим током необходимо соблюдать «Инструкцию № 24-03 по охране труда при выполнении работ на электроприборах, электроустановках в помещениях лаборатории кафедры КФН ауд. 4120,

4235, 4348».

Примечание

На рис.26 представлен примерный график зависимости температуры образца от времени при ступенчатом нагреве.

 

7

I=0.8 À

1.1

1.4

1.7

2.0

2.3

2.6

2.9

3.2

3.5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

, ì Â

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

20

 

40

60

 

80

 

100

120

 

 

 

 

 

t, ì

è í

 

 

 

 

 

Рис.25. График зависимости напряжения термопары от времени при ступенчатом нагреве образца (наверху указаны токи нагрева)

25

Литература.

1.Д.В.Сивухин. Общий курс физики. Т.3. Электричество. «ФИЗМАТЛИТ», М., 2002.

2.С.Г.Калашников. Электричество. «ФИЗМАТЛИТ», М., 2003.

3.К.В.Шалимова. Физика полупроводников. «Энергоатомиздат», М.1985.

4.Г.И.Епифанов. Физические основы микроэлектроники. «Советское радио», М., 1971.

5.С.М.Зи. Физика полупроводниковых приборов. «Мир», М., 1984 г.

Контрольные вопросы

1.В чѐм отличие металлов, диэлектриков и полупроводников с точки зрения зонной

теории?

2.Типы носителей заряда в полупроводниках. Объясните понятия «Эффективная масса» и «дырка».

3.Собственный полупроводник. Объясните механизм собственной проводимости с точки зрения зонной теории.

4.Примесные полупроводники. Элементы каких групп периодической системы Менделеева являются донорами, а каких – акцепторами в элементарных полупроводниках: кремнии и германии? Приведите примеры.

5.Объясните механизм донорной проводимости с точки зрения зонной теории.

6.Объясните механизм акцепторной проводимости с точки зрения зонной теории.

7.Распределения Ферми и Больцмана, Вырожденный и невырожденный полупроводники. Энергия (уровень) Ферми.

8.Качественно изобразите графики функций распределения Ферми - Дирака и Максвелла - Больцмана.

9.Качественно изобразите положение уровня Ферми в невырожденном и вырожденном полупроводниках.

10.Качественно изобразите и объясните температурную зависимость концентрации основных носителей в примесном полупроводнике.

11.Качественно изобразите и объясните температурную зависимость подвижности в примесном полупроводнике.

12.Качественно изобразите и объясните температурную зависимость удельной электропроводности примесном полупроводнике.

13.В чем отличия температурных зависимостей удельной электропроводности невырожденных кремния и германия, легированными донорной примесью.

14.Метод определения ширины запрещенной зоны полупроводника по температурной зависимости электропроводности.

15.Использованная в работе методика измерения ширины запрещенной зоны полупроводника. Последовательность действий.

16.В каком полупроводнике в области собственной проводимости увеличение концентрации носителей с температурой происходит быстрее: в кремнии, германии или арсениде галлия и почему?

17.Объясните, как определяется ширина запрещѐнной зоны из измерений температурной зависимости электропроводности.

18.Объясните, как можно определить глубину залегания донорного уровня в полупроводнике n-типа проводимости.

19.Объясните, как можно определить глубину залегания акцепторного уровня в полупроводнике p-типа проводимости.

20.Можно ли по результатам измерения температурной зависимости удельной электропроводности в невырожденных донорных полупроводников n-Si и n-Ge в диапазоне температур от 273 K до 373 K отличить один полупроводник от другого.

ГОСКОМИТЕТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПО ВЫСШЕМУ ОБРАЗОВАНИЮ

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

УТВЕРЖДАЮ Зав. кафедрой КФН,

Профессор_______________А.А.Горбацевич

«_____» __________ 2009 г.

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №3

БЕСКОНТАКТНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Авторы работы

проф. А.К. Мороча

Москва 2009 г.

- 2 -

Бесконтактный метод определения удельного сопротивления

При бесконтактном методе измерения удельного сопротивления образец помещают в некоторый колебательный контур и измеряют изменение электромагнитной энергии, локализованной внутри контура. Внесение образца приводит к дополнительным потерям энергии поля внутри контура, так как силы электрического поля совершают положительную работу над токами проводимости в образце. Энергия поля, полученная носителями тока, превращается в джоулево тепло. Поэтому, по результатам измерений энергии джоулевых потерь в контуре, с внесенным в него образцом, можно определить удельное сопротивление образца.

При бесконтактном методе измеряют добротность резонансного контура, в который помещен образец.

Добротность - удобная характеристика потерь электромагнитной энергии, накопленной в резонансном контуре.

По определению, добротность – это величина, равная отношению полной энергии электромагнитных колебаний в контуре к величине потерь этой энергии за период. При резонансе потери можно с большой точностью измерить по величине активного сопротивления контура (напомним, что реактивное сопротивление на резонансной частоте равно нулю).

В данной работе тонкая пластинка полупроводника (Рис.1) помещается в узкий зазор прямоугольного ферритового тороида 1, в котором при помощи электрической обмотки 2 возбуждается переменное электромагнитное поле с частотой . Эту частоту можно считать резонансной для эквивалентного колебательного контура, у которого индуктивное сопротивление тороидальной катушки скомпенсировано емкостным сопротивлением измерительной цепи прибора.

z 1

2

y

I(t)

3

h

x

Рис.1. Тороидальный ферритовый датчик

Интервал измерений ограничен собственной добротностью резонансного контура Q0

и глубиной проникновения электромагнитного поля (скин-эффекта) вглубь объема пластины, сопротивление которой при измерениях является активным сопротивлением эквивалентного резонансного контура. Точность измерений определяется погрешностью резонансного метода измерений.

Обычный интервал измерения удельного сопротивления бесконтактным методом - от нескольких сотых долей до нескольких единиц Ом см.

Расчет потерь электромагнитной энергии при использовании бесконтактного метода измерений

Переменное магнитное поле в зазоре тороида индуцирует вихревое электрическое поле и связанные с ним вихревые токи проводимости, которые являются источниками

- 3 -

потерь электромагнитной энергии, точнее преобразования ее в энергию джоулевых потерь в пластине.

Рассмотрим изменение полной электромагнитной энергии W0 , накопленной внутри

зазора тороида, после введения в него пластины полупроводника толщиной h в момент времени t 0 :

 

 

 

 

W

 

 

 

 

 

 

w dV .

 

 

 

 

 

 

12

D E B H dV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

t V

 

 

 

V

t

 

где

D 0E и B 0H- векторы электрической и магнитной индукции в системе

СИ,

w

 

1

D E E H -

 

 

плотность энергии

электромагнитного поля в

зазоре;

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V a2h

-

часть объѐма пластины,

который находится внутри зазора. Считаем, что

W (0) W0 , и энергия извне внутрь объема зазора не поступает.

 

 

Скорость изменения плотности электромагнитной энергии в зазоре из–за потерь

внутри пластины равна

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

w

0

E E H H

E D H B

 

 

 

 

 

t

 

 

t

0

t

 

t

t

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Подставим сюда скорости изменения векторов электрической и магнитной индукции

из уравнений Максвелла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

D

rotH j,

B rotE ,

(1)

 

 

 

 

 

 

 

 

t

 

 

t

 

 

 

и запишем общее уравнение для изменения плотности электромагнитной энергии

w j E E rot H H rot E .

t

Первый член справа совпадает с известным выражением закона Джоуля - Ленца в дифференциальной форме. Смысл выражения в круглых скобках станет понятен, если его преобразовать с помощью известного тождества векторной алгебры:

div a b b rot a a rot b

где a и b - произвольные векторы.

w j E divE H .t

Проинтегрируем это уравнение по той части объема пластины, которая находится в зазоре тороида. К интегралу от divE H применим теорему Остроградского-Гаусса

W

j EdV E H n dS .

t

V

S

 

Первый интеграл, очевидно, равен полной энергии джоулевых потерь в пластине. Второй интеграл представляет собой поток вектора Умова-Пойтинга P E H через замкнутую поверхность той части объѐма пластины, который находится в зазоре. Модуль вектора Умова-Пойтинга равен количеству электромагнитной энергии, протекающей в единицу времени через единицу площади поверхности. Направление вектора P совпадает с направлением внешней нормали к боковой поверхности зазора. Произведение ( E H )n

положительно, поэтому интеграл по поверхности с обратным знаком, равен энергии электромагнитного поля, вытекающей через боковую поверхность зазора.

Итак, энергия электромагнитного поля, накопленная в зазоре, после введения в него полупроводниковой пластины, убывает не только за счет превращения ее в джоулево тепло, но и за счет вытекания ее (излучения электромагнитных волн) через боковую поверхность зазора внутрь объема пластины, который находится вне зазора. В

стационарном состоянии, для того, чтобы количество запасенной электромагнитной энергии внутри зазора оставалось постоянным, необходимо, чтобы в него от внешнего

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]