- •СОДЕРЖАНИЕ
- •Авторы
- •УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову
- •НАНОИНЖЕНЕРИЯ – ОСНОВА ШЕСТОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА
- •Введение
- •Понятие о технологическом укладе
- •Базовые понятия наноинженерной деятельности
- •Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
- •Приоритеты шестого технологического уклада. Конвергентные системы и бионические технологии
- •Социально-ориентированная наноинженерная деятельность
- •Наноинженерная деятельность. Угрозы и риски для биосферы
- •Профессионально ориентированное кадровое обеспечение наноинженерной деятельности
- •Заключение
- •Список литературы
- •Карбид кремния – наноструктурно-зависимое семейство материалов
- •Отечественная технология выращивания монокристаллического SiC – «метод ЛЭТИ»
- •Получение SiC на инородной подложке
- •Гетероэпитаксия карбида кремния на кремнии
- •Осаждение карбида кремния на инородную диэлектрическую подложку
- •Приборы на основе SiC
- •Диоды силовой электроники
- •Фотоприемники УФ-диапазона
- •Элементная база микросистемной техники для экстремальных условий эксплуатации
- •Технология объемной и поверхностной микромеханики на SiC
- •Микромеханические преобразователи на основе пленок SiC
- •Теплофизические преобразователи на основе пленок SiC
- •Заключение
- •Список литературы
- •НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ С ФРАКТАЛЬНОЙ СТРУКТУРОЙ
- •Список литературы
- •РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
- •Направление «Наноэлектроника»
- •Направление «Микро- и нанофотоника»
- •Направление «Наномеханика»
- •Список литературы
- •ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
- •Модуляционная спектроскопия наноструктур InxGa1–xAs/GaAs
- •Оптическая спектроскопия структур «металл – твердый раствор» на основе арсенида галлия
- •Список литературы
- •Адмиттансная спектроскопия наногетероструктур
- •Электрохимическое профилирование гетероструктур с нанослоями
- •Виртуальные приборы
- •Заключение
- •Список литературы
- •МЕТОД АНАЛОГИЙ ПРИ АНАЛИЗЕ И ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРОСИСТЕМ
- •Введение
- •Описание систем в обобщенных параметрах
- •Обратимые преобразователи физических параметров
- •ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ С ПРИСТАВКОЙ «НАНО»
- •Введение
- •Модульная малобюджетная учебно-научная лаборатория «Нанотехнологии и нанодиагностика»
- •Заключение
- •Список литературы
- •ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЬСТВО КАФЕДРЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРНЕТ-ПРОСТРАНСТВЕ
- •ДИССЕРТАЦИИ, ВЫПОЛНЕННЫЕ НА КАФЕДРЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Кандидатские
- •Докторские
с широким использованием квантово-размерных, кооперативно-синер- гетических, гигантских эффектов и других явлений и процессов, проявляющихся в условиях материальных объектов с нанометрическими характеристическими размерами элементов.
Наряду с определением данных терминов, основой которых, в первую очередь, является естественно-научный базис, попытаемся определить широко используемые в литературе, но неоднозначно понимаемые термины.
Нанонаука – система знаний, основанная на описании, объяснении и предсказании закономерностей свойств материальных объектов с нанометрическими характеристическими размерами или систем -бо лее высокого метрического уровня, упорядоченных или самоупорядоченных на основе наноразмерных элементов.
Нанотехника – машины, механизмы, приборы, устройства, созданные с использованием новых свойств и функциональных возможностей систем при переходе к наномасштабам и обладающие ранее недостижимыми массогабаритными и энергетическими показателями, технико-эко- номическими параметрами и функциональными возможностями.
Таким образом, базисом наноинженерной деятельности является система знаний, основанная на описании, объяснении и предсказании закономерностей поведения и свойств материальных объектов с нанометрическими характеристическими размерами или объектов более высокого метрического уровня, упорядоченных или самоупорядоченных на основе наноразмерных элементов, т. е. наука о «нано».
Формально нанотехнология – это деятельность на основе системы знаний, умений и аппаратурно-информационного обеспечения,в рамках которой реализуется совокупность действий для материализации идей нанонауки в виде изделий нанотехники.
Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
Представим базовые тенденции развития естественно-научного базиса наноинженерии для формирования шестого технологического уклада в рамках материаловедческого, технологического и информационного направлений (табл. 2).
26
Таблица 2
Естественно-научный базис шестого технологического уклада
1. Материаловедческий базис. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Конвергентные системы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. Технологический базис. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Самоорганизация, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
самоформирование |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3. Информационный базис |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
Исток |
Затвор |
Сток |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
Электрон |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
3.1. Новые принципы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Перемещение заряда |
|
|
|
Изменение спин-поляризации |
|
|||||||||||||||||||||||||
передачи информации. |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Беззарядовая логика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Электрон |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
75 мэВ |
60 мкэВ |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
3.2. Новые методы |
|
|
|
|
|
|
|
А |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
обработки информации. |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Бионическая логика |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Out |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
С |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Следует особо отметить, что основным системным, стратегическим направлением, по-видимому, будет являться активное использование ранее неизвестных свойств материалов и композиций, возникающих при переходе к таким объектам,
–свойства которых зависят от размерного и конформационного факторов;
–которые представляют собой интеграцию искусственно и естественно упорядоченных систем;
27
–которые интегрируют материаловедческий базис неорганической и органической природы;
–в основе структурной организации которых лежат неравновесные процессы;
–в основе действия которых лежит комплекс кооперативно-си- нергетических процессов и явлений.
В рамках решения задач по изготовлению и использованию объектов с вышеуказанными свойствами необходимо определить возможные приоритетные направления фундаментально-поисковых исследований для обеспечения интеллектуального базиса инноваций шестого технологического уклада, в их числе:
–зависимость свойств материалов и систем от характеристических размеров;
–нетрадиционные виды симметрии и конформации с динамически перестраиваемой структурой;
–передача энергии, заряда и информации на основе кооперативных синергетических процессов;
–молекулярное распознавание как базис селективности и избирательности процессов;
–процессы самоформирования (рис. 1), самоупорядочения и самоорганизации;
а |
б |
Рис. 1. Механическая мембрана с искусственно создаваемыми концентрическими (а) и самоформирующимися радиальными (б) гофрами
28
–конвергентные системы, представляющие собой интеграцию создаваемых человеком искусственных неорганических систем и объектов биоорганической природы (рис. 2).
В качестве основных направлений исследований, определяющих продуктовую модель развития наноинженерии в рамках шестого технологического уклада, можно выделить:
–распределенные самоорганизующиеся рефлексивные информационные сети;
Рис. 2. Графический монтаж сопоставления поперечного сечения кристалла интегральной схемы
с наноразмерными топологическими нормами и вируса
–полифункциональный адаптивный человеко-машинный интерфейс;
–искусственные органы;
–робототехнические системы;
–бионические принципы конструирования;
–бионические, в том числе когнитивные, алгоритмы и принципы функционирования;
–искусственное модифицирование на генетическом, клеточном и органном уровнях;
–искусственное модифицирование на психофизиологическом уровне. В технологическую практику должен широко войти новый тер-
минологический базис: конвергентные системы, бионические и когнитивные технологии.
Следует обратить внимание на тот факт, что человек, оценивая кон- структивно-функциональные, энергетические и информационные достоинства объектов органической природы, пытался наделить искусственно создаваемые технические системы отдельными свойствами биосистем. Бурное освоение «наномира» позволило выявить ряд его особенностей, которые ранее (особенно у объектов неорганической природы) не наблюдались и тем более не использовались. Наиболее характерными проявлениями «наномира» следует признать [9]:
29