Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
ФИЗИКА И ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОСИСТЕМ
65-летию кафедры микро- и наноэлектроники
посвящается
Санкт-Петербург
2011
УДК 539.21; 541.182 ББК 22.37
Л12
Л12 Физика и технология микро- и наносистем: Сб. научн. трудов / Под общ. ред. В. В. Лучинина. СПб.: Русская коллекция, 2011. 240 с.
ISBN 978-5-901440-72-8
Сборник посвящен 65-летию кафедры микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и содержит материалы по истории кафедры и основным научно-образовательным направлениям ее деятельности.
УДК 539.21; 541.182 ББК 22.37
ISBN 978-5-901440-72-8 |
Ó Коллектив кафедры микро- |
|
и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» |
|
2 |
СОДЕРЖАНИЕ |
|
Уважаемый профессор. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову ............... |
6 |
В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров. К 65-летию кафедры микро- |
|
и наноэлектроники. Фундаментальность, |
|
профессионализм, новизна..................................................................... |
10 |
В. В. Лучинин. Наноинженерия – основа шестого |
|
технологического уклада ....................................................................... |
21 |
А. В. Афанасьев, В. А. Ильин, А. В. Корляков, А. О. Лебедев, |
|
В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров. Карбид кремния. |
|
Вклад СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Признание и перспективы ......................... |
50 |
И. Е. Грачева, В. А. Мошников, О. А. Шилова. Новые материалы |
|
с фрактальной структурой ...................................................................... |
87 |
Г. Ф. Глинский. Развитие теории низкоразмерных систем .................. |
106 |
О. С. Комков, А. Н. Пихтин, С. А. Тарасов. Оптическая |
|
спектроскопия структур на основе арсенида галлия............................ |
115 |
В. И. Зубков, А. В. Соломонов. Диагностика полупроводниковых |
|
гетероструктур методами адмиттансной спектроскопии .................... |
126 |
А. В. Корляков. Метод аналогий при анализе |
|
и проектировании микросистем ............................................................ |
141 |
А. В. Корляков, Н. П. Лазарева, Л. А. Марасина. |
|
Образовательные стандарты третьего поколения |
|
с приставкой «нано».............................................................................. |
161 |
А. В. Афанасьев, А. С. Иванов, В. А. Ильин, В. В. Лучинин. |
|
Лабораторно-методическое обеспечение образовательного |
|
процесса в интересах наноиндустрии................................................... |
178 |
В. А. Мошников, Н. В. Пермяков. Информационное |
|
представительство кафедры микро- и наноэлектроники |
|
в интернет-пространстве ....................................................................... |
195 |
Диссертации, выполненные |
|
на кафедре микро- и наноэлектроники ................................................ |
200 |
«Человеческий капитал» кафедры (подборка фотографий) ................ |
224 |
3 |
|
Авторы
А. В. Афанасьев, |
Г. Ф. Глинский, |
И. Е. Грачева, |
к. ф.-м. н., доцент |
д. ф.-м. н., профессор |
к. ф.-м. н., доцент |
В. И. Зубков, |
А. С. Иванов, |
В. А. Ильин, |
д. ф.-м. н., профессор |
к. т. н., доцент |
к. ф.-м. н., доцент |
О. С. Комков, |
А. В. Корляков, |
Н. П. Лазарева, |
к. ф.-м. н., доцент |
д. т. н., доцент |
к. т. н., доцент |
А. О. Лебедев, |
В. В. Лучинин, |
Л. А. Марасина, |
к. ф.-м. н., с. н. с. |
д. т. н., зав. кафедрой |
к. т. н., доцент |
|
4 |
|
В. А. Мошников, |
Н. В. Пермяков, |
А. Н. Пихтин, |
д. ф.-м. н., профессор |
аспирант |
д. ф.-м. н., профессор |
А. В. Соломонов, |
Ю. М. Таиров, |
С. А. Тарасов, |
д. ф.-м. н., профессор |
д. т. н., профессор |
к. ф.-м. н., доцент |
Авторы материалов настоящего сборника являются специалистами в области микро- и наноэлектроники.
Их научные интересы лежат в сфере физики и технологии микро- и наносистем.
О. А. Шилова, д. х. н., профессор
5