- •СОДЕРЖАНИЕ
- •Авторы
- •УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову
- •НАНОИНЖЕНЕРИЯ – ОСНОВА ШЕСТОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА
- •Введение
- •Понятие о технологическом укладе
- •Базовые понятия наноинженерной деятельности
- •Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
- •Приоритеты шестого технологического уклада. Конвергентные системы и бионические технологии
- •Социально-ориентированная наноинженерная деятельность
- •Наноинженерная деятельность. Угрозы и риски для биосферы
- •Профессионально ориентированное кадровое обеспечение наноинженерной деятельности
- •Заключение
- •Список литературы
- •Карбид кремния – наноструктурно-зависимое семейство материалов
- •Отечественная технология выращивания монокристаллического SiC – «метод ЛЭТИ»
- •Получение SiC на инородной подложке
- •Гетероэпитаксия карбида кремния на кремнии
- •Осаждение карбида кремния на инородную диэлектрическую подложку
- •Приборы на основе SiC
- •Диоды силовой электроники
- •Фотоприемники УФ-диапазона
- •Элементная база микросистемной техники для экстремальных условий эксплуатации
- •Технология объемной и поверхностной микромеханики на SiC
- •Микромеханические преобразователи на основе пленок SiC
- •Теплофизические преобразователи на основе пленок SiC
- •Заключение
- •Список литературы
- •НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ С ФРАКТАЛЬНОЙ СТРУКТУРОЙ
- •Список литературы
- •РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
- •Направление «Наноэлектроника»
- •Направление «Микро- и нанофотоника»
- •Направление «Наномеханика»
- •Список литературы
- •ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
- •Модуляционная спектроскопия наноструктур InxGa1–xAs/GaAs
- •Оптическая спектроскопия структур «металл – твердый раствор» на основе арсенида галлия
- •Список литературы
- •Адмиттансная спектроскопия наногетероструктур
- •Электрохимическое профилирование гетероструктур с нанослоями
- •Виртуальные приборы
- •Заключение
- •Список литературы
- •МЕТОД АНАЛОГИЙ ПРИ АНАЛИЗЕ И ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРОСИСТЕМ
- •Введение
- •Описание систем в обобщенных параметрах
- •Обратимые преобразователи физических параметров
- •ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ С ПРИСТАВКОЙ «НАНО»
- •Введение
- •Модульная малобюджетная учебно-научная лаборатория «Нанотехнологии и нанодиагностика»
- •Заключение
- •Список литературы
- •ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЬСТВО КАФЕДРЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРНЕТ-ПРОСТРАНСТВЕ
- •ДИССЕРТАЦИИ, ВЫПОЛНЕННЫЕ НА КАФЕДРЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Кандидатские
- •Докторские
–мультимедийный учебно-научный комплекс – симулятор ана- литико-технологического оборудования;
–учебный видеоролик по интерфейсу мультимедийного учебнонаучного комплекса – симулятора аналитико-технологического оборудования.
Удаленный доступ к многофункциональному аналитико-техноло- гическому комплексу Helios NanoLab 400 был обеспечен в режиме онлайнового доступа к графической панели компьютера, управляющего ранее указанными технологическими и диагностическими процедурами.
Предполагается, что следующим этапом работы станет испытание комплекса и внедрение его в систему научно-образовательных центров Национальной нанотехнологической сети для обеспечения процессов:
–повышения квалификации профессорско-преподавательского состава [3] по направлениям «Нанотехнологии и нанодиагностика», «Нано- и микросистемная техника»;
–профессионально ориентированной переподготовки кадров в рамках образовательного обеспечения проектов, реализуемых корпорацией «РОСНАНО».
Заключение
Динамика развития профессионально ориентированного образования и директивные требования по увеличению лабораторно-прак- тической и интерактивной составляющей образовательного процесса определяют необходимость эффективного формирования знаний-уме- ний при подготовке кадров для наноиндустрии через использование специализированных малобюджетных учебно-научных лабораторий и внедрение сетевых технологий удаленного доступа к сложному дорогостоящему оборудованию для обеспечения требуемого уровня национальной технологической культуры.
Внедрение сетевых информационных технологий для обеспечения удаленного доступа к уникальному дорогостоящему оборудованию особенно актуально для России в связи с необходимостью обеспечения академической мобильности на большой территории при минимизации временных и экономических затрат.
193
Авторы выражают благодарность директору ЗАО«Системы для микроскопии» Шкловеру В. Я. и сотрудникам СПбГЭТУ«ЛЭТИ»: Александровой О. А., Голоудиной С. И., Грачевой И. Е., Зиминой Т. М., Кузнецовой М. А., Максимову А. И., Мошникову В. А., Пасюте В. А., Перепеловскому В. В., Романову А. А., Сазанову А. П., Севостьянову Е. Н., Соловьеву А. В., Трушляковой В. В. за участие в реализации аппаратно-методической части настоящей работы.
Работа выполнена в рамках ФЦП«Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на2008–2011 годы» по госконтракту №16.647.12.2021 от 25.11.2010 «Создание функционирующего в режиме удаленного доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по сверхпрецизионному наноразмерному травлению, нанесению и модифицированию материалов с использованием остросфокусированных ионных пучков и виртуальных симуляторов указанных процессов».
Список литературы
1.Афанасьев А. В., Лучинин В. В. Учебно-лабораторный комплекс для нанотехнологической образовательной сети// Наноиндуст-
рия. 2010. № 3(21). С. 38–41.
2.Кузнецова М. А., Лучинин В. В., Савенко А. Ю. Физикотехнологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании микро- и наносистемной техники // Нано- и микросистемная техника. 2009. № 8. С. 24–32.
3.Профессионально-ориентированное кадровое обеспечение наноиндустрии / А. С. Иванов, А. В. Корляков, В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров // Наноиндустрия. 2009. № 4. С. 76–81.
194