- •СОДЕРЖАНИЕ
- •Авторы
- •УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову
- •НАНОИНЖЕНЕРИЯ – ОСНОВА ШЕСТОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА
- •Введение
- •Понятие о технологическом укладе
- •Базовые понятия наноинженерной деятельности
- •Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
- •Приоритеты шестого технологического уклада. Конвергентные системы и бионические технологии
- •Социально-ориентированная наноинженерная деятельность
- •Наноинженерная деятельность. Угрозы и риски для биосферы
- •Профессионально ориентированное кадровое обеспечение наноинженерной деятельности
- •Заключение
- •Список литературы
- •Карбид кремния – наноструктурно-зависимое семейство материалов
- •Отечественная технология выращивания монокристаллического SiC – «метод ЛЭТИ»
- •Получение SiC на инородной подложке
- •Гетероэпитаксия карбида кремния на кремнии
- •Осаждение карбида кремния на инородную диэлектрическую подложку
- •Приборы на основе SiC
- •Диоды силовой электроники
- •Фотоприемники УФ-диапазона
- •Элементная база микросистемной техники для экстремальных условий эксплуатации
- •Технология объемной и поверхностной микромеханики на SiC
- •Микромеханические преобразователи на основе пленок SiC
- •Теплофизические преобразователи на основе пленок SiC
- •Заключение
- •Список литературы
- •НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ С ФРАКТАЛЬНОЙ СТРУКТУРОЙ
- •Список литературы
- •РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
- •Направление «Наноэлектроника»
- •Направление «Микро- и нанофотоника»
- •Направление «Наномеханика»
- •Список литературы
- •ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
- •Модуляционная спектроскопия наноструктур InxGa1–xAs/GaAs
- •Оптическая спектроскопия структур «металл – твердый раствор» на основе арсенида галлия
- •Список литературы
- •Адмиттансная спектроскопия наногетероструктур
- •Электрохимическое профилирование гетероструктур с нанослоями
- •Виртуальные приборы
- •Заключение
- •Список литературы
- •МЕТОД АНАЛОГИЙ ПРИ АНАЛИЗЕ И ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРОСИСТЕМ
- •Введение
- •Описание систем в обобщенных параметрах
- •Обратимые преобразователи физических параметров
- •ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ С ПРИСТАВКОЙ «НАНО»
- •Введение
- •Модульная малобюджетная учебно-научная лаборатория «Нанотехнологии и нанодиагностика»
- •Заключение
- •Список литературы
- •ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЬСТВО КАФЕДРЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРНЕТ-ПРОСТРАНСТВЕ
- •ДИССЕРТАЦИИ, ВЫПОЛНЕННЫЕ НА КАФЕДРЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Кандидатские
- •Докторские
Г. Ф. Глинский
РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
На протяжении двух последних десятилетий на нашей кафедре ведутся интенсивные теоретические исследования в области физики низкоразмерных систем. К настоящему времени определились три основных направления этих исследований: наноэлектроника, микро- и нанофотоника, а также наномеханика (рис. 1).
Физика низкоразмерных систем
|
Наноэлектроника |
|
|
|
Микро- |
|
|
|
Наномеханика |
|
|
|||
|
|
|
|
и нанофотоника |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Полупроводниковые |
|
|
Фотонные кристаллы, |
|
|
Наномембраны, |
|
||||||
|
квантово-размерные |
|
|
волноведущие |
|
|
атомные цепочки, |
|
||||||
|
структуры |
|
|
структуры |
|
|
кластеры |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Определение энергетического спектра и волновых функций носителей заряда в полупроводниковых наногетероструктурах (квантовые ямы, проволоки, точки, сверхрешетки)
Расчет зонной структуры фотонных кристаллов и локальных оптических мод в кристаллах с дефектами
Расчет статических и динамических характеристик нанообъектов в вакууме и кристаллической матрице
Разработка неразрушающих методов диагностики полупроводниковых квантово-размерных структур
Разработка новых учебных дисциплин и создание лабораторной базы по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника»
Рис. 1. Основные направления теоретических исследований кафедры микро- и наноэлектроники в области физики низкоразмерных систем
106
Направление «Наноэлектроника»
При изучении вопросов, связанных с расчетом приборов наноэлектроники на основе полупроводниковых квантово-размерных структур (квантовые ямы, проволоки, точки, сверхрешетки), особое внимание уделялось строгому обоснованию исходных уравнений квантовой механики, определяющих энергетический спектр носителей заряда в этих системах. Следует отметить, что в настоящее время основным методом расчета электронных и дырочных состояний в полупроводниковых наногетероструктурах является метод эффективной массы. Однако до сих пор отсутствует единое мнение относительно вида эффективного гамильтониана электрона и дырки в гетероструктуре. Как правило, такие гамильтонианы вводятся либо феноменологически, либо на основе некоторых общих физических соображений.
Разработанный на кафедре подход к определению эффективных гамильтонианов основан на kp-теории возмущений и теории симметрии [1]. Данный подход, использующий метод инвариантов, позволяет выйти за рамки приближения эффективной массы и определить эффективный гамильтониан гетероструктуры произвольный формы, содержащей произвольное число узлов кристаллической решетки. Полученные уравнения могут быть записаны в двух эквивалентных представлениях: в узельном (a-представление) и импульсном (k-представление). В рамках данного подхода автоматически учитывается симметрия соответствующих энергетических зон объемных материалов, составляющих гетероструктуру. Кроме того, гамильтониан включает в себя ранее неизвестные дополнительные члены, обуславливающие междолинное рассеяние носителей заряда на интерфейсах, а также интерфейсное рассеяние с изменением спиновой ориентации частиц. Наличие в исходном гамильтониане поправок к методу эффективной массы, связанных с быстроизменяющейся частью интерфейсного потенциала, позволяет использовать данный подход для анализа нанокристаллов и гетероструктур, содержащих единицы атомных монослоев. В качестве примера на рис. 2 представлено сравнение предлагаемой теории с данными, полученными в рамках обычного метода эффективной массы, для основного состояния электрона в GaAs/Al0,3Ga0,7As-квантовой яме.
107
Е, мэВ |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 – метод эффективной массы; |
|
||
|
|
|
2 – узельное представление |
|
||
–100 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
–200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
–3000 |
10 |
20 |
30 |
40 |
50 |
60 |
|
|
Ширина КЯ в монослоях |
|
|
Рис. 2. Зависимость энергии основного состояния электрона в GaAs/Al0.3Ga0.7As-квантовой яме от числа монослоев
Как видно из рисунка, для узких квантовых ям (число монослоев меньше 10) погрешность определения энергии связи электрона методом эффективной массы может превышать 100 %, а для широких квантовых ям (число монослоев больше 50) результаты обеих теорий практически совпадают.
Разработанная на кафедре микро- и наноэлектроники теория позволяет рассчитывать энергетические спектры носителей заряда в гетероструктурах на основе прямозонных и непрямозонных полупроводников, что невозможно в рамках метода эффективной массы. С этой целью исследовалось поведение подзон размерного квантования в
(GaAs)N/(AlAs)M (001)-сверхрешетках (рис. 3).
GaAs – прямозонный полупроводник и его абсолютный минимум зоны проводимости располагается в точке Г зоны Бриллюэна, а AlAs – непрямозонный полупроводник с абсолютным минимумом зоны проводимости в точке X. В гетероструктурах на основе этих полупроводников должно наблюдаться интенсивное междолинное–X Г и X–X смешивание электронных состояний. В зависимости от числа моносло-
ев N и M волновые функции и электронный спектр сверхрешетки (GaAs)N/(AlAs)M должны перестраиваться от Г-типа к X-типу, что ока-
зывает существенное влияние на ее оптические свойства. На рис. 4 показана зависимость положения дна зоны проводимости в этой сверх-
108
решетки от числа монослоев N (M = N). Здесь же для сравнения приведены литературные данные, полученные из первых принципов методом псевдопотенциала [2].
GaAs |
|
|
AlAs |
N |
|
GaAs |
||
|
||
AlAs |
M |
|
GaAs |
N |
|
|
M |
|
N |
M |
|
|
||
|
Eg |
GaAs |
|
AlAs |
|
|
|
|
E (k ) |
|
E (k ) |
|
|
|
|
Г15 |
|
Г15 |
D1 |
|
|
|
|
|
D1 |
|
|
|
|
|
|
Г1 |
X 3 |
|
||
|
|
|
|
|||
|
Eg |
|
|
X1 |
|
|
|
Г |
|
k |
|
] |
|
|
|
|
[ |
001 |
||
Г1 |
|
15 |
|
|
|
|
k[001] |
|
D3 , D4 |
|
|
|
|
Г |
|
|
|
|
||
15 |
|
|
|
X 5 |
|
|
|
|
|
D1 |
|
||
|
|
|
X 3 |
|
||
Г |
|
Г |
D |
X |
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 3. (GaAs)N/(AlAs)M (001)-сверхрешетка и зонная структура объемных материалов |
||||
Е, эВ |
|
|
|
|
0,4 |
Г1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N = 8 |
|
|
0,3 |
|
|
|
X1 |
|
X1 |
|
|
|
0,2 |
|
|
|
|
0,1 |
|
|
|
Г1 |
|
|
|
|
|
0 |
5 |
10 |
15 |
N |
|
|
Число монослоев |
|
|
Рис. 4. Зависимость положения дна зоны проводимости (GaAs)N /(AlAs)N -сверхрешетки от числа монослоев N
(сплошная линия – наш результат, точки – метод псевдопотенциала)
109
Как видно из рисунка, оба подхода практически совпадают вплоть до N = 3. При N = 8 происходит перестройка энергетического спектра (антипересечение уровней). Это наглядно демонстрируется перестройкой волновых функций (рис. 5).
N = 7
X1 |
G1 |
G8 |
GaAs
AlAs AlAs
N = 8 |
|
GaAs |
AlAs |
AlAs |
N = 9 |
|
GaAs |
|
AlAs |
AlAs |
Рис. 5. Перестройка волновых функций электронов и дырок при изменении числа монослоев
Основное состояние
Первое возбужденное состояние
Рис. 6. Распределение электронной плотности в кубической квантовой точке для основного и первого возбужденного состояний электрона
При N ≤ 7 оптические переходы запрещены (пространственно непрямые переходы), а при N ≥ 9 оптические переходы становятся разрешенными (пространственно прямые переходы).
110