- •СОДЕРЖАНИЕ
- •Авторы
- •УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову
- •НАНОИНЖЕНЕРИЯ – ОСНОВА ШЕСТОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА
- •Введение
- •Понятие о технологическом укладе
- •Базовые понятия наноинженерной деятельности
- •Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
- •Приоритеты шестого технологического уклада. Конвергентные системы и бионические технологии
- •Социально-ориентированная наноинженерная деятельность
- •Наноинженерная деятельность. Угрозы и риски для биосферы
- •Профессионально ориентированное кадровое обеспечение наноинженерной деятельности
- •Заключение
- •Список литературы
- •Карбид кремния – наноструктурно-зависимое семейство материалов
- •Отечественная технология выращивания монокристаллического SiC – «метод ЛЭТИ»
- •Получение SiC на инородной подложке
- •Гетероэпитаксия карбида кремния на кремнии
- •Осаждение карбида кремния на инородную диэлектрическую подложку
- •Приборы на основе SiC
- •Диоды силовой электроники
- •Фотоприемники УФ-диапазона
- •Элементная база микросистемной техники для экстремальных условий эксплуатации
- •Технология объемной и поверхностной микромеханики на SiC
- •Микромеханические преобразователи на основе пленок SiC
- •Теплофизические преобразователи на основе пленок SiC
- •Заключение
- •Список литературы
- •НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ С ФРАКТАЛЬНОЙ СТРУКТУРОЙ
- •Список литературы
- •РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
- •Направление «Наноэлектроника»
- •Направление «Микро- и нанофотоника»
- •Направление «Наномеханика»
- •Список литературы
- •ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
- •Модуляционная спектроскопия наноструктур InxGa1–xAs/GaAs
- •Оптическая спектроскопия структур «металл – твердый раствор» на основе арсенида галлия
- •Список литературы
- •Адмиттансная спектроскопия наногетероструктур
- •Электрохимическое профилирование гетероструктур с нанослоями
- •Виртуальные приборы
- •Заключение
- •Список литературы
- •МЕТОД АНАЛОГИЙ ПРИ АНАЛИЗЕ И ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРОСИСТЕМ
- •Введение
- •Описание систем в обобщенных параметрах
- •Обратимые преобразователи физических параметров
- •ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ С ПРИСТАВКОЙ «НАНО»
- •Введение
- •Модульная малобюджетная учебно-научная лаборатория «Нанотехнологии и нанодиагностика»
- •Заключение
- •Список литературы
- •ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЬСТВО КАФЕДРЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРНЕТ-ПРОСТРАНСТВЕ
- •ДИССЕРТАЦИИ, ВЫПОЛНЕННЫЕ НА КАФЕДРЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Кандидатские
- •Докторские
2011
Усикова М. А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем.
Докторские
Пасынков В. В. Некоторые вопросы электротехники, решаемые с помощью полупроводников. 1955.
Холуянов Г. Ф. Электрические и оптические свойства электроннодырочных переходов и кристаллов карбида кремния и их применение в полупроводниковых приборах. 1967.
Волокобинский Ю. М. Исследование физических процессов в радиокерамике. 1970.
Яськов Д. А. Полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной. 1973.
Таиров Ю. М. Получение, исследование и применение полупроводникового карбида кремния. 1975.
Пихтин А. Н. Оптические явления в полупроводниковых твердых растворах А3В5. 1979.
Цветков В. Ф. Явление политипизма и физические принципы создания новых полупроводников на основе управления политипной структурой кристаллов. 1985.
Сорокин В. С. Термодинамика и кинетика жидкофазной гетеро-
эпитаксии твердых растворов А3В5. 1990.
Кузнецов В. В. Закономерности фазовых превращений при жидкостной гетероэпитаксии многокомпонентных полупроводниковых твердых растворов. 1994.
Глинский Г. Ф. Экситоны и поляритоны в многодолинных полупроводниках с вырожденными зонами. 1995.
Мошников В. А. Локальные энергетические воздействия в исследовании и получении твердых растворов. 1997.
Афанасьев В. П. Структуры «сегнетоэлектрик – полупроводник»: свойства, технология, применение. 1997.
222
Лучинин В. В. Структура и формообразование микро- и наносистем на основе широкозонных материалов, обладающих полиморфиз-
мом. 1999.
Бестаев М. В. Халькогениды элементов четвертой группы: получение, исследование и применение. 1999.
Соломонов А. В. Емкостная спектроскопия полупроводниковых твердых растворов и квантово-размерных структур. 1999.
Зубков В. И. Спектроскопия адмиттанса полупроводниковых наногетероструктур. 2007.
Петров А. А. Гетерофазные границы раздела в поликристаллических пленках селенида и цирконата-титаната свинца, а также структурах на их основе. 2009.
Корляков А. В. Физико-технологические основы формирования базовых элементов микросистемной техники. 2010.
223
«ЧЕЛОВЕЧЕСКИЙ КАПИТАЛ» КАФЕДРЫ
224
225
226
227
228
229
230
Научное издание
Физика и технология микро- и наносистем
Под общей редакцией В. В. Лучинина
Редактор В. В. Малиновский
Оригинал-макет подготовлен коллективом кафедры микро- и наноэлектроники
СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
Подписано в печать 01.11.2011. Формат 70×100 1/16. Бумага офсетная. Печать офсетная. Печ. л. 15,0.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 250 экз. Заказ
Издательство «Русская коллекция» 199178, Санкт-Петербург, В. О., 13-я линия, д. 30, оф. 4
Отпечатано с готовых диапозитивов в типографии ЗАО «Электронстандарт–Принт»
196158, Санкт-Петербург, Московское ш., д. 23, корп. 1, лит. А