- •СОДЕРЖАНИЕ
- •Авторы
- •УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову
- •НАНОИНЖЕНЕРИЯ – ОСНОВА ШЕСТОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА
- •Введение
- •Понятие о технологическом укладе
- •Базовые понятия наноинженерной деятельности
- •Естественно-научный базис наноинженерной деятельности
- •Приоритеты шестого технологического уклада. Конвергентные системы и бионические технологии
- •Социально-ориентированная наноинженерная деятельность
- •Наноинженерная деятельность. Угрозы и риски для биосферы
- •Профессионально ориентированное кадровое обеспечение наноинженерной деятельности
- •Заключение
- •Список литературы
- •Карбид кремния – наноструктурно-зависимое семейство материалов
- •Отечественная технология выращивания монокристаллического SiC – «метод ЛЭТИ»
- •Получение SiC на инородной подложке
- •Гетероэпитаксия карбида кремния на кремнии
- •Осаждение карбида кремния на инородную диэлектрическую подложку
- •Приборы на основе SiC
- •Диоды силовой электроники
- •Фотоприемники УФ-диапазона
- •Элементная база микросистемной техники для экстремальных условий эксплуатации
- •Технология объемной и поверхностной микромеханики на SiC
- •Микромеханические преобразователи на основе пленок SiC
- •Теплофизические преобразователи на основе пленок SiC
- •Заключение
- •Список литературы
- •НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ С ФРАКТАЛЬНОЙ СТРУКТУРОЙ
- •Список литературы
- •РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СИСТЕМ
- •Направление «Наноэлектроника»
- •Направление «Микро- и нанофотоника»
- •Направление «Наномеханика»
- •Список литературы
- •ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ
- •Модуляционная спектроскопия наноструктур InxGa1–xAs/GaAs
- •Оптическая спектроскопия структур «металл – твердый раствор» на основе арсенида галлия
- •Список литературы
- •Адмиттансная спектроскопия наногетероструктур
- •Электрохимическое профилирование гетероструктур с нанослоями
- •Виртуальные приборы
- •Заключение
- •Список литературы
- •МЕТОД АНАЛОГИЙ ПРИ АНАЛИЗЕ И ПРОЕКТИРОВАНИИ МИКРОСИСТЕМ
- •Введение
- •Описание систем в обобщенных параметрах
- •Обратимые преобразователи физических параметров
- •ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ С ПРИСТАВКОЙ «НАНО»
- •Введение
- •Модульная малобюджетная учебно-научная лаборатория «Нанотехнологии и нанодиагностика»
- •Заключение
- •Список литературы
- •ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЬСТВО КАФЕДРЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРНЕТ-ПРОСТРАНСТВЕ
- •ДИССЕРТАЦИИ, ВЫПОЛНЕННЫЕ НА КАФЕДРЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Кандидатские
- •Докторские
Основное состояние
Первое возбужденное состояние
Рис. 7. Распределение электронной плотности в пирамидальной квантовой точке для основного и первого возбужденного состояний электрона
В рамках развитой теории были рассчитаны энергетический спектр и волновые функции электронов в квантовых точках произвольной формы. В качестве примера на рис. 6 и 7 представлены распределения электронной плотности в кубической и пирамидальной квантовых точках.
Направление «Микро- и нанофотоника»
Основные достижения кафедры в этом направлении связаны с разработкой пакета программ для численного расчета зонной структуры 1D-, 2D- и 3D-фотонных кристаллов и кристаллов с дефектами.
В качестве примера на рис. 8 показаны закон дисперсииTE- и TMоптических мод и распределение поля в 2D-фотонном кристалле на основе макропористого кремния с гексагональной решеткой.
Было показано, что только TM-мода имеет полную запрещенную зону во всех направлениях зоны Бриллюэна. Это позволяет использовать данный фотонный кристалл в качестве фильтра, осуществляющего селекцию оптических мод.
Особый интерес в области микрофотоники представляют приборы на основе фотонных кристаллов с дефектом. Наличие дефекта приводит к появлению локализованных состояний в запрещенной зоне фотонного кристалла. В 1D- и 2D-фотонных кристаллах локальные оптические моды могут распространяться практически без потерь, поэтому такие кристаллы можно использовать в качестве волноведущих структур.
111
EzA (x, y )
EzB (x, y )
Y |
X |
dy
2
-dy
2
-dx / 2 |
|
dx / 2 |
dy
2
-dy
2
-dx / 2 |
|
dx / 2 |
A2
A1
k2 |
|
|
|
M |
K |
|
|
|
|
|
|
S |
T |
|
|
Г |
L |
L |
k1 |
|
|
B |
|
|
|
A |
|
|
|
|
TE |
|
|
|
ТМ |
M |
Г |
X |
M |
Рис. 8. Зонная структура и распределение поля в 2D-фотонном кристалле на основе макропористого кремния с гексагональной решеткой
{ |
|
{ { |
{ { |
{ |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.6 |
|
|
0.5 |
|
|
|
TM -polarization |
TE-polarization |
|
|
|
0.5 |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
0.4 |
|
|
|
|
|
|
TE0 |
|
|
|
|
0.4 |
|
ωΛ |
0.3 |
|
|
|
|
TM0 |
|
|
|
|
|
0.3 |
ωΛ |
|
2πc |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2πc |
||
|
0.2 |
H y |
|
|
|
|
|
|
|
Ey |
|
|
0.2 |
|
|
0.1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.1 |
|
|
0.0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0.0 |
|
|
0.6 |
0.5 |
0.4 |
0.3 |
0.2 |
0.1 |
0.0 |
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.4 |
0.5 |
0.6 |
|
kzΛ/2π
Рис. 9. Закон дисперсии и распределение поля в локализованных модах 1D-фотонного кристалла на основе щелевого кремния с полосковым дефектом
112
На рис. 9 представлены данные по расчету1D-фотонного кристалла на основе щелевого кремния с полосковым протяженным дефектом, заполненным воздухом. В нижней части рисунка показаны зонная структура объемного фотонного кристалла и закон дисперсии локализованных на дефекте фотонных мод TM0 и TE0, частота которых попадает в запрещенную зону.
На вставках к рисунку показано распределение поля в этих модах.
Как видно, наибольшую локализацию на дефекте имеет TE0-мода,
которая может быть использована для передачи информации с помощью данного волновода.
Направление «Наномеханика»
Это направление связано с разработкой основ наномеханики. В результате анализа микроскопической теории колебания идеальной
кристаллической решетки в длинноволновом акустическом пределе было показано, что в разложение динамической матрицы кристалла по степеням малого параметра – волнового вектора k – входят упругие постоянные кристалла, характеризующие его макроскопические свойства как свойства сплошной среды. В этом приближении уравнение колебания идеальной решетки может быть приближенно сведено к системе алгебраических уравнений, содержащей в качестве параметров тензор упругих постоянных и описывающей колебания отдельных узлов. Такое представление в теории колебания решетки следует -рас сматривать как узельное. Было показано, что в гетеросистеме, содержащей кристаллические нанообъекты, динамическая матрица будет включать дополнительные члены, нарушающие трансляционную симметрию и смешивающие различные типы колебаний. Для их определения был использован метод инвариантов.
При задании соответствующих граничных условий данный подход позволяет решать как статические, так и динамические задачи, связанные со смещением отдельных атомов в механических кристаллических системах низкой размерности, содержащих произвольное число атомов(наномембраны, атомные цепочки, изолированные кластеры).
В качестве примера на рис. 10 и 11 представлены результаты расчета двух собственных колебательных мод одномерной цепочки, состоящей из 21 атома, и мембраны в виде моноатомного слоя, содержащего 256 атомов.
113
|
|
n = 1 |
|
0,5 |
0,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
u 0,2 |
|
|
|
u |
|
|
|
|
0 |
0 |
|
|
|
|
–0,2 |
|
x 0 |
|
–0,5 |
–10 |
–5 |
5 |
10 |
|
|
n = 2 |
|
|
–10 |
–5 |
x 0 |
5 |
10 |
Рис. 10. Первая и вторая собственные колебательные моды одномерной цепочки атомов
1-я мода |
2-я мода |
AA
AA
AA |
AA |
|
Рис. 11. Первая и вторая собственные колебательные моды моноатомной мембраны
Результаты, полученные по всем трем направлениям, используются для разработки новых методов диагностики полупроводниковых кванто- во-размерных структур, а также в учебном процессе при подготовке новых дисциплин и лабораторных работ по направлениям«Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника».
По результатам данных исследований защищены8 выпускных бакалаврских работ, 11 магистерских и 2 кандидатских диссертации.
Список литературы
1.Глинский Г. Ф. Полупроводники и полупроводниковые наноструктуры: симметрия и электронные состояния. СПб: Изд-во «Техно-
лит», 2008.
2.Wang L., Zunger A. Phys. Rev. 1999. B 59. 16806.
114