Lektsii_Fizika_chast_III
.pdfg(E)
dn
dE
g(E)
dEdn f(E) g(E)
f(E)
f(E)
1 0,5
E
En
kT
0 |
EC |
EF
0 EV
Рис. 10.6
щенной зоны) или E EF kT, поэтому функция распределения Ферми-Дирака f(E) в уравнении (10.7) перейдет в классическую функцию Максвелла-Больцмана
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
EF |
e |
|
E |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
f(E) |
|
|
|
e kT |
kT . |
|
|
|
|
(10.10) |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E EF |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e kT |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
Объединяя уравнения (6.22), (10.8) и (10.10), получаем |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
4 |
|
3 |
|
E |
F |
|
|
|
E |
|
|
1 |
|
|
2 |
|
|
|
|
3 |
|
E |
F |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
n |
(2m* )2 e kT e kT E 2 dE |
(2 m* kT)2 e kT |
, |
(10.11) |
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
h3 |
|
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
e |
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
h3 |
|
|
e |
|
|
|
|
|
|||||||||
где |
m* |
– |
эффективная масса электрона, |
а выражение вида |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
(2 m*kT ) |
2 |
|
NC |
называют эффективной плотностью числа |
|||||||||||||||||||||||||||||
|
h3 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
состояний. Принимая за начало отсчёта уровень энергии ЕC 0, выражение (10.11) обычно переписывают в виде
|
EC EF |
|
|
n NC e |
kT |
. |
(10.12) |
|
|||
90 |
|
|
|
Уравнение (10.12) выглядит так, как будто мы работаем только с одним уровнем энергии EC и число состояний, соответ-
ствующих этой энергии, равно NC (при температуре T 300 K,
NC 2,5 1019 см 3).
Вернемся к рассмотрению положения уровня Ферми в собственном полупроводнике, которому соответствует условие n p, где р – концентрация дырок.
Вводя, по аналогии с (10.12) уравнение
p NV e |
EF EV |
|
|
2 |
|
3 |
|
|
||
kT , |
NV |
(2 m* kT ) |
2 |
, |
(10.13) |
|||||
|
3 |
|||||||||
|
|
|
|
h |
p |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где m*p – эффективная масса дырки, и, учитывая условие n p, получаем:
e |
EC EF |
|
NV |
e |
EF EV |
|
|
|
kT |
|
kT . |
(10.14) |
|||||
NC |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Логарифмируя (10.14) и преобразуя полученное выражение, переходим к формуле для расчёта положения уровня Ферми
EF |
E |
C |
E |
V |
|
kT |
ln( |
N |
V |
) |
|
E |
C |
E |
V |
|
3 |
kTln( |
m*p |
) . |
(10.15) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m* |
|||||||||
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
NC |
|
|
|
2 |
|
|
|
4 |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e |
|
|
Полагая, что m* |
|
m* , |
вторым слагаемым в этой формуле |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
e |
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
можно пренебречь, следовательно, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
EF |
EC EV |
|
|
E |
, |
|
|
(10.16) |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
где Е – ширина запрещенной зоны. В результате |
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
n NC e |
E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
2kT |
. |
|
|
|
|
|
|
(10.17) |
Как следует из (10.17), концентрация электронов и дырок растет с повышением температуры. Если построить график за-
1
висимости n(T) в координатах ln(n) от 2kT , то получим прямую,
тангенс угла наклона которой численно равен ширине запрещенной зоны, рис. 10.7. При таком, обычно реализуемом на
91
ln(n) |
практике, способе определения |
|
Е пренебрегают зависимостя- |
|
ми NС(T) и Е(T). |
|
|
1/(2kT)
Рис. 10.7
10.4.2. Примесный полупроводник
Как показывают детальные расчеты (выносим на практические занятия) положение уровня Ферми в примесном полупроводнике при Т = 0 К находится посередине между энергетическим уровнем донора или акцептора и краем соответствующей зоны (Ed/2 или Ea/2), меняясь сложным образом с повышением температуры.
Концентрация соответствующих носителей заряда описывается выражениями:
|
Ed |
|
|
|
|
|
|
|
* |
3 |
|
|
Ed |
|
|||||
n (NdNC)1/2 e |
|
|
|
|
|
|
|
2 me kT |
) |
|
|
|
e |
|
|
|
|||
2kT |
2N |
d |
( |
|
4 |
2kT , |
(10.18) |
||||||||||||
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
h |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
Ea |
|
|
|
|
|
|
|
* |
3 |
|
|
Ea |
|
|||||
p (NaNC)1/2 e |
|
|
|
|
|
2 mpkT |
) |
|
e |
|
|
|
|||||||
2kT |
2N |
a |
( |
4 |
2kT , |
(10.19) |
|||||||||||||
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
h |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где Nd и Na – концентрация доноров и акцепторов. При высокой температуре (полном истощении примесей) n Nd или p Na.
Если проводить измерения n(T) в широком интервале температур, то в координатах ln(n) и
1/(2kT)
Рис. 10.8
1
2kT
обычно удается получить
две прямые: с наклоном, соответствующим Ed или Ea (при низких температурах) и Е – при высоких, рис. 10.8.
92
Вопросы для повторения
1.Что называется эффективной массой электрона и дырки?
2.Что в физике полупроводников называется «дыркой»?
3.Охарактеризуйте основные типы энергетических уровней электронов в кристаллах.
4.Что означают термины «донор» и «акцептор»? В чём заключается отличие между донорами и акцепторами?
5.Что называется экситоном?
6.Объясните, как электроны распределяются по энергетическим уровням в собственном и примесном полупроводниках.
7.Каким образом можно определить ширину запрещенной зоны
иэнергетическое положение донорных и акцепторных уровней в полупроводниках?
Литература: [1 – 6, 9]
93
Лекция № 11
11.1. Электропроводность твердых тел
Возникновение электрического тока в проводнике означает появление в нем под действием электрического поля направленного движения электронов (в отдельных случаях дырок), которое называется дрейфом. Среднюю скорость такого дрейфа электронов обозначим через d ( d , где – скорость теплового движения).
Как известно, плотность тока в металле
j en d, |
(11.1) |
где n – концентрация электронов проводимости.
Вспомним понятие подвижности носителей заряда – u, чис-
ленно равной дрейфовой скорости, приобретенной носителями заряда в электрическом поле единичной напряженности
u |
d |
. |
(11.2) |
|
|||
|
E |
|
В этом случае, объединяя выражения (11.1) и (11.2), получаем закон Ома, записанный в дифференциальной форме:
|
|
enuE |
|
E |
|
|
1 |
|
|
|
|
j |
|
|
|
E |
, |
(11.3) |
|||
|
|
|
|
|||||||
где и |
– соответственно удельная электропроводность и |
1
удельное сопротивление материала ( ).
Закон Ома (11.3) с успехом применим как к металлам, так и к полупроводникам и диэлектрикам (у металлов 106 Ом 1 м 1, у диэлектриков 10 8 Ом 1 м 1). Учёт дырочной компоненты тока в случае полупроводников требует записи выражения для в виде
enun epup, |
(11.4) |
где р – концентрация дырок, un и up – соответственно подвижность электронов и дырок (вообще говоря, они не равны, так, например, в чистом кремнии при Т 300 К подвижность электронов un 1350 см2/В с, а подвижность дырок up 400 см2/В с).
94
В идеальном кристалле (при отсутствии тепловых колебаний кристаллической решетки) носители заряда не встречают сопротивления на своем пути. Наличие электрического сопротивления в реальных материалах является результатом теплового движения атомов («нулевые» колебания всегда имеют место) и следствием образования точечных дефектов кристаллической структуры. На колебаниях и дефектах происходит рассеяние носителей тока.
Зависимость величины плотности тока от внешних факторов (температура, давление и т.д.) определяется, согласно (11.3 и 11.4), их влиянием на концентрацию носителей заряда и подвижность (или дрейфовую скорость).
Согласно классической теории электропроводности металлов (см. материалы 1-го семестра)
|
e |
e |
|
|
|
d |
|
E |
|
E, |
(11.5) |
2m |
2m |
где m – масса электрона, – среднее время между столкновениями, – средняя длина свободного пробега электрона и – тепловая скорость. В квантовомеханической теории электропроводности твердых тел соотношение (11.5) также работает, но требует некоторых уточнений.
Во-первых, вместо действительной массы электрона (дырки в полупроводниках р-типа) следует использовать его эффективную массу m*. Во-вторых, вместо среднего времени свободного пробега электрона надо подставлять истинное время и проводить корректное усреднение направленной скорости. Кроме того, для полной остановки ускоренного полем электрона может потребоваться не одно, а в среднем столкновений электрона с рассеивающими центрами.
В результате наше уравнение (11.5) записывается в виде:
d |
e |
E |
e |
E, |
(11.6) |
|
|
||||
m * |
m * |
где под понимается время релаксации, которое характеризует скорость установления в системе равновесного состояния.
95
Металлы и полупроводники
Смысл входящих в уравнение (11.6) параметров меняется и от характеристик электронного газа: невырожденный (обычный полупроводник) и вырожденный (металл). Для невырожденного газа (отсутствует принцип Паули) , , и получаются усреднением этих величин по всему коллективу. В вырожденном коллективе внешнее электрическое поле может воздействовать только на электроны, находящиеся у уровня Ферми, переводя их на более высокие свободные энергетические состояния. В этом случае вводятся новые параметры: F – средняя длина свободного пробега электронов, обладающих энергией Ферми, F – их средняя скорость, F – среднее число столкновений, уничтожающих скорость в направлении движения.
В результате удельная электропроводность металлов с квантовомеханической точки зрения описывается соотношением
enu |
ne2 F F |
, |
(11.7) |
|
|||
|
m * F |
|
которое, в отличие от классического выражения
|
ne2 |
, |
(11.8) |
|
2m |
||||
|
|
|
позволяет объяснить, почему у металлов 1/Т. Действительно, согласно классической теории электропроводности средняя ско-
рость теплового движения свободных электронов T , и то-
гда |
1 |
|
, что противоречит эксперименту. В то же время, |
|
|
|
|
||
|
||||
|
|
T |
согласно квантовой теории электропроводности F с температурой не меняется, но зато от температуры зависит длина свободного пробега электронов. Чем выше в металле концентрация nФ фононов (но nФ T), тем выше вероятность столкновения с ними электронов и тем меньше длина свободного пробега ( F 1/nФ).
Витоге оказывается, что F 1/Т, и, следовательно, 1/Т. Сказанное касалось температур, близких к комнатным и бо-
лее высоким. С понижением Т, когда концентрация фононов становится очень маленькой, основное значение приобретает
96
рассеяние электронов на точечных дефектах решетки. В этом случае у металлов F const, u const, const.
|
|
|
|
Как показывает тео- |
|||
|
|
рия, у чистых металлов |
|||||
|
|
T |
|
переходный |
участок |
||
|
|
|
|
между |
зависимостями |
||
|
|
|
|
вида 1/Т и const |
|||
|
|
|
|
соответствует |
выраже- |
||
|
|
T 5 |
|
нию |
1 |
. Общая за- |
|
ОСТ |
|
|
|
T 5 |
|||
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
висимость |
удельного |
||
0 |
|
T |
сопротивления чистых |
||||
|
|
|
|
||||
|
|
Рис. 11.1 |
|
металлов |
от |
температу- |
|
|
|
|
ры показана на рис. 11.1. |
||||
|
|
|
|
В обычных полупроводниках (невырожденный электронный газ) в области высоких температур, когда преобладает рассеяние
|
|
|
|
|
|
||||
электронов на фононах, 1/Т, |
|
T и 1, поэтому |
|
||||||
u |
d |
|
e |
|
|
3/2 |
|
||
|
|
T |
. |
(11.9) |
|||||
E |
m * |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
В области низких температур преобладает рассеяние на ионизованных точечных дефектах. В этом случае у невырож-
денных полупроводников T , а Т 2. Последний вывод качественно понятен, так как чем выше скорость электрона (она растёт с увеличением Т), тем быстрее он проскакивает кулонов-
ское поле дефекта, и для уничтожения его движения в первона- |
||||
u |
|
чальном направлении требуется |
||
|
больше столкновений. |
|||
|
|
|||
|
|
Зависимость |
подвижности |
|
u T 3/2 |
u T 3/2 |
носителей заряда в невырожден- |
||
ном полупроводнике от темпе- |
||||
|
|
|||
|
|
ратуры представлена на рис. |
||
0 |
T |
11.2, при этом при низких тем- |
||
пературах u T 3/2, а при высо- |
||||
|
|
|||
Рис. 11.2 |
|
ких u T 3/2. |
|
В качестве параметра, раз-
97
граничивающего область низких и высоких температур, используют характеристическую температуру Дебая ТD, определяемую соотношением kTD ħ D, где D - предельная частота колебаний кристаллической решетки.
Температурная зависимость удельной электропроводности невырожденных полупроводников (11.4) в основном определяется температурной зависимостью концентрации носителей за-
ряда (10.12, 10.13, 10.17, 10.18, 10.19). Поэтому качественно (Т)
иn(T) совпадают: сравните рис. 10.8 и 11.3, где
E
|
|
|
|
0 e 2kT , |
(11.10) |
0 – коэффициент, который слабо зависит от температуры; Е – энергия ионизации донора или акцептора, либо ширина запрещенной зоны. По наклону линейных участков рис. 11.3 также можно определять Е.
ln |
|
Характерной |
особенно- |
||
|
стью зависимости ln |
от |
|||
|
|
||||
|
|
1/(2kT) является наличие |
|||
|
|
максимума при переходе от |
|||
|
|
примесной проводимости |
к |
||
|
|
собственной, когда n n(T), |
|||
|
|
что вызвано описанной выше |
|||
0 |
1/(2kT) |
зависимостью |
подвижности |
||
носителей тока от темпера- |
|||||
|
|
||||
Рис. 11.3 |
|
туры (рис. 11.2). |
|
Термосопротивления (термисторы)
Существенная зависимость удельного сопротивления полупроводников от температуры позволяет использовать их для конструирования термисторов – приборов, предназначенных для точного измерения температуры, мощности инфракрасного излучения (чувствительность до 10 10 Вт) и управления различными технологическими процессами. В отдельных случаях для изготовления термисторов используются и металлы.
98
11.2. Определение концентрации носителей заряда и их подвижности. Эффект Холла
Для определения типа носителей тока, их концентрации и подвижности используют эффект Холла. Эффект Холла заключается в возникновении в проводнике (в нашем случае брусок толщиной b) с током плотностью j, помещенном в магнитном поле с индукцией В, электрического поля в направлении, пер-
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
пендикулярном |
B и |
j |
, рис. 11.4 |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
FЛ |
|
|
|
||||
b |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
d |
|
|
|
|
|
j |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 11.4 |
|
|
|
При показанном положении образца относительно магнитного поля и предположительно электронном характере электрического тока из-за наличия силы Лоренца
|
|
|
|
FЛ |
e[ d |
B ], |
(11.11) |
где е – заряд электрона без учета его знака, электроны будут отклоняться к верхней грани и зарядят ее отрицательно. На нижней грани накапливаются нескомпенсированные положительные заряды, между гранями возникает разность потенциалов VХ, получившая название э.д.с. Холла. В возникающем при этом электрическом поле возникает сила, уравновешивающая силу Лоренца:
e dB eE, |
(11.12) |
где E – напряженность этого поля. С учетом того, что E VХ/b, имеем
VХ dbB, |
(11.13) |
|||
а так как d j/en, получаем: |
|
|
|
|
VХ |
1 |
Bbj, |
(11.14) |
|
en |
||||
|
|
|
||
99 |
|
|
|