- •Оглавление
- •Глава 1 ОСНОВЫЕ ПОНЯТИЯ ТЕОРИИ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ
- •1.1 ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ
- •1.2 ПОКАЗАТЕЛИ НАДЕЖНОСТИ ТЕХНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
- •1.3 ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕНИТЕЛЬНО К ИЗДЕЛИЯМ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- •1.4 КРИТЕРИИ И КОЛИЧЕСТВЕННЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ НАДЕЖНОСТИ
- •1.5 ЗАВИСИМОСТИ МЕЖДУ ОСНОВНЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ НАДЕЖНОСТИ
- •1.6 ПРИМЕРЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ПО НАДЕЖНОСТИ
- •Глава 2 ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАДЕЖНОСТИ НА ЭТАПЕ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- •2.1 ОБЩИЕ ПРИНЦИПЫ ОБЕСПЕЧЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ
- •2.2 ПРОГРАММНЫЕ ДОКУМЕНТЫ ПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ НАДЕЖНОСТИ
- •2.2.1 Типовая структура и содержание программы обеспечения надежности космического аппарата
- •2.2.2 Основные нормативные требования к составу и содержанию КПЭО КА
- •2.3 АНАЛИЗЫ ПО ОБЕСПЕЧЕНИЮ НАДЕЖНОСТИ ОБОРУДОВАНИЯ, БОРТОВЫХ СИСТЕМ И КОСМИЧЕСКОГО АППАРАТА
- •2.3.1 Функциональный анализ
- •2.3.2 Анализ (расчет) надежности
- •2.3.2.2. Методы нормирования показателей надежности по составным частям космического аппарата
- •2.3.2.3.Методы анализа и оценки показателей надежности на соответствие нормативным значениям (расчетные, расчетно-экспериментальные методы)
- •2.3.2.5 Надежность КА при хранении
- •2.3.3 Анализ видов, последствий и критичности отказов
- •2.3.3 Анализ электрических и тепловых нагрузок на комплектующие и мер по облегчению нагрузок для комплектующих.
- •2.3.4 Анализ худшего случая.
- •2.3.5 Анализ обеспечения требуемого ресурса и сохраняемости.
- •2.3.6 Перечень и программа контроля критичных элементов
- •Глава 3 СТРУКТУРА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ОТРАБОТКИ БОРТОВЫХ СИСТЕМ И БОРТОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ
- •Глава 4 ОБЩЕЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЕ ОБ ОТКАЗАХ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- •4.1 ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ОТКАЗОВ
- •4.2 МЕХАНИЗМЫ ВНЕЗАПНЫХ И ПОСТЕПЕННЫХ ОТКАЗОВ
- •4.3 СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ КОМПОНЕНТОВ БИС
- •4.4 ОБЩИЕ ДЕФЕКТЫ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
- •4.5 ДЕФЕКТЫ В КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ
- •4.5.1 Механизм образования "отрицательных нитевидных кристаллов".
- •4.5.2 Растворение кремния алюминием
- •4.6 ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
- •4.7 ДЕФЕКТЫ СТРУКТУРЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ
- •4.7.1 Локализованные дефекты структуры и состава диэлектрических слоев
- •4.7.2 Химические и физические нелокализованные дефекты
- •Глава 5 ОТБРАКОВОЧНЫЕ ИСПЫТАНИЯ – СРЕДСТВО ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ПАРТИЙ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- •5.1 СОСТАВ ОТБРАКОВОЧНЫХ ИСПЫТАНИЙ
- •5.2 ТРЕНИРОВКА
- •5.3 ЭЛЕКТРОТРЕНИРОВКА
- •5.4 ЭЛЕКТРОТЕРМОТРЕНИРОВКА
- •5.5 ТЕРМОТРЕНИРОВКА
- •5.6 ПРОДОЛЖИТЕЛЬНОСТЬ ТРЕНИРОВОК
- •Глава 6 МОДЕЛЬ ВНЕШНИХ ВОЗДЕЙСТВУЮЩИХ ФАКТОРОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОРАДИОИЗДЕЛИЙ, ЭКСПЛУАТИРУЕМЫХ В КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТАХ ДЛИТЕЛЬНОГО ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ
- •6.5.1 Излучения естественных радиационных поясов Земли
- •6.5.2 Воздействие одиночных частиц
- •Глава 7 МЕТОДЫ ОБЕСПЕЧЕНИЯ АППАРАТУРЫ КА ИЗДЕЛИЯМИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НЕОБХОДИМОГО УРОВНЯ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ
- •Глава 8 ВОЗДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ ЗАРЯДОВ НА ИЗДЕЛИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- •Глава 9 НЕРАЗРУШАЮЩИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА МИКРОСХЕМ
- •9.1.1 Обзор систем формирования рентгеновского изображения
- •9.1.2 Неразрушающее формирование трехмерного изображения
- •9.1.3 Практическое использование рентгеновских инспекционных установок в лабораториях анализа отказов
- •Влияние облучения на образец
- •9.2.1 Сравнение РЭМ и оптического микроскопа
- •9.2.2 Электронная оптика
- •Зарядка образца
- •Скорость сканирования и качество изображения
- •Краткое описание
- •Глава 10 МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
- •Глава 11 РАСЧЕТНО-ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ РАБОТОСПОСОБНОСТИ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ФАКТОРОВ КОСМИЧЕСКОГО ПРОСТРАНСТВА
- •11.1.1 Метод прогнозирования работоспособности ЭРИ к воздействию электрических и тепловых нагрузок в КА негерметичного исполнения
- •11.1.2 Определение допустимого коэффициента электрической нагрузки ИС в КА негерметичного исполнения
- •11.1.3 Справочник конструктора по применению изделий микроэлектроники в КА негерметичного исполнения длительного функционирования
- •11.2.1 Причины разбросов показателей радиационной стойкости ЭРИ от образца к образцу
- •11.2.2 Экспериментальные данные разброса радиационной стойкости ЭРИ
- •11.2.3 Обоснование номенклатуры критически важных ЭРИ определяющих радиационные характеристики бортовой аппаратуры КА
- •11.2.4 Обеспечение радиационной стойкости критически стойких ЭРИ
- •11.2.5 Влияние идеологии проведения ВК, ОИ и ДНК на уровень радиационной стойкости ЭРИ, устанавливаемых в аппаратуру
- •11.3.1 Разработка подхода к оценке работоспособности ЭРИ в условиях комплексного воздействия ФКП
|
25 |
|
|
|
|
Свойство надежности |
|
Показатели |
|
|
Единичные: |
Безотказность |
|
Удельная суммарная трудоемкость вос- |
|
|
становления работоспособного состояния |
|
|
Вероятность безотказной работы |
|
|
Интенсивность отказов |
|
|
Средняя наработка до отказа |
|
|
Гамма-процентная наработка до отказа |
|
|
Установленная безотказная наработка |
|
|
Средняя наработка на отказ (наработка на |
|
|
отказ) |
|
|
Параметр потока отказов |
Ремонтопригодность |
|
Среднее время восстановления работоспо- |
|
|
собного состояния |
|
|
Вероятность восстановления работоспо- |
|
|
собного состояния |
Долговечность |
|
Средний ресурс |
|
|
Гамма-процентный ресурс |
|
|
Назначенный ресурс |
|
|
Установленный ресурс |
|
|
Средний срок службы |
|
|
Гамма-процентный срок службы |
|
|
Назначенный срок службы |
|
|
Установленный срок службы (срок служ- |
|
|
бы) |
Сохраняемость |
|
Средний срок сохраняемости |
|
|
Гамма-процентный срок сохраняемости |
|
|
Назначенный срок хранения |
|
|
Установленный срок сохраняемости (срок |
|
|
сохраняемости) |
1.3ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕНИТЕЛЬНО К ИЗДЕЛИЯМ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
В настоящее время наиболее распространена теория относительного качества, сущность которой состоит в том, что качество изделии определяется его целевым назначением.
Качество - совокупность свойств изделия, обусловливающих его пригодность удовлетворять определенные потребности в соответствии с назначением.
Для изготовителя ИЭТ это понятие связано с соответствием выпускаемых изделий требованиям документации по электрическим параметрам и внешнему виду, принятием техническим контролем партии изделий с первого или второго предъявления, отсутствием или величиной претензий потребителей к данному типу изделий с входного контроля или сферы изготовления электронных блоков и аппаратуры.
26
Потребители ИЭТ оценивают качество получаемых изделий по количеству отказов по электрическим параметрам и внешнему виду на входном контроле при нормальных условиях, повышенных или пониженных температурах, различных отбраковочных испытаниях. По количеству отказов ИЭТ при изготовлении плат, блоков, РЭА также судят об их качестве.
Для изготовителя ИЭТ важнейшим показателем качества служит процент выхода годных ИЭТ. Это объясняется тем, что выход годных изделий определяет в комплексе управляемость и стабильность производства, что, в свою очередь, связано с показателем надежности ИЭТ.
Надежность есть внутреннее свойство изделия сохранять свои характеристики (значения параметров) в заданных пределах и заданных условиях эксплуатации.
Под изделием понимается элемент, прибор, блок, аппаратура, система, машина и т.п.
Из определений качества и надежности видно, что качество - понятие субъективное, а надежность изделия обязательно связана со временем, выполнением заданных функций за это время и зависит от условий эксплуатации.
Надежность изделия закладывается при его конструировании, обеспечивается при его изготовлении и сохраняется при его эксплуатации.
Пусть при конструировании изделия заложена надежность Ро. При выпуске его надежность в лучшем случае будет равна Ро. Но за счет разброса материалов, технологических процессов, возможно нарушение техпроцесса или его отклонения; надежность изделий при выпуске будет равна:
Р = Ро - Р.
Величина Р будет определяться управляемостью и стабильностью технологического процесса.
Если же с течением времени будут усовершенствованы конструкции или технологии или внедрена автоматизация технологических процессов, то надежность выпускаемых изделий будет равна:
Р = Ро + Р.
Надежность выпускаемых изделий будет расходоваться с той или иной степенью быстроты в зависимости от режима и условий эксплуатации. Если ус-
27
ловия и режим эксплуатации будут неблагоприятны, то надежность изделий будет расходоваться быстро, и наоборот.
Для описания конкретного изделия пользуются понятиями исправного и работоспособного состояния.
Под исправным подразумевается состояние изделия, при котором оно соответствует всем требованиям нормативной документации (техническим условиям - ТУ и конструкторской документации).
Работоспособное состояние - такое состояние изделия, при котором параметры, характеризующие способность изделия выполнять заданные функции, соответствуют нормативной документации, однако один или несколько параметров при этом могут иметь отклонение от нормативной документации. При этом изделие может быть работоспособным в одном типе аппаратуры, но не быть работоспособным в другом типе аппаратуры. Примерами таких отклонений параметров изделий могут быть нарушения внешнего вида корпуса изделия, увеличение обратного тока или уход коэффициента усиления, транзистора за допустимые по техническим условиям нормы, увеличение выходного напряжения логического нуля или уменьшение выходного напряжения логической единицы за допустимые техническими условиями нормы, не влияющие на работоспособность данной аппаратуры.
Характеристикой изделия, связанной с его эксплуатацией, является наработка, представляющая собой продолжительность или объем работы изделия.
Календарная продолжительность от начала эксплуатации до наступления предельного состояния изделия называется сроком службы или долговечностью.
Под безотказностью (или временем безотказной работы) понимают свойство изделия непрерывно сохранять работоспособное состояние в течение некоторого времени или некоторой наработки.
Сохраняемость - свойство изделия непрерывно сохранять исправное состояние в течение и после хранения и транспортировки. Например, наработка ИС в режимах и условиях, устанавливаемых ТУ на ИС конкретных типов, должна выбираться из ряда 100 000, 150 000, 200 000 ч и более. Конкретное значение наработки для ИС устанавливается в ТУ на эти схемы. Срок сохраняемости ИЭТ
28
должен соответствовать одному из значений: 10, 15, 25 лет и более, что указывается в ТУ на конкретное ИЭТ .
Изменение состояния изделия, ведущее к потере этих свойств, в теории надежности рассматривается как отказ.
Отказ - событие, после которого надежность изделия уменьшается. Другими словами, отказ - событие, приводящее к потере работоспособности, наступающей внезапно или постепенно.
Вид отказа - это форма проявления отказа.
Механизм отказа - это физический, химический или другой процесс, вызывающий отказ изделия.
Для ИЭТ отказ - это событие, заключающееся в полной утрате работоспособности изделия или уходе одного либо нескольких параметров за допустимые по техническим условиям нормы.
Термины теории и практике надежности гостированы и содержатся в ГОСТ 27.002 «Надежность в технике Основные понятия. Термины и определения»
Имеющийся всегда разброс параметров исходных материалов, применяемой технологической оснастки, режимов работы, технологического оборудования и других факторов влияет на продолжительность безотказной работы конкретного ПП и ИС. Поэтому отказ конкретного изделия носит случайный по времени характер.
В табл. 2 представлены виды отказов для различных признаков деления отказов для ИС.
Таблица 2 Виды отказов для различных признаков деления отказов для ИС
Признак деления |
Вид отказа |
|
|
Характер изменения параметра до момента |
Внезапный (катастрофический) отказ |
возникновения отказа |
|
Связь с другими отказами |
Независимый отказ Зависимый отказ |
|
|
Возможность последующего использова- |
Полный отказ |
ния изделия после возникновения отказа |
Частичный отказ |
Наличие внешних проявлений |
Очевидный (явный) отказ |
|
Постепенный (деградационный) отказ |
|
Скрытый (неявный) отказ |
|
|
29
Признак деления |
|
Вид отказа |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Характер устранения отказа |
|
Устойчивый отказ |
|
|
|
|
|
|
|
|
Сбой |
|
|
Самоустраняющийся |
|
||
|
|
отказ |
|
|
Перемежающийся отказ |
|
|
|
|
|
|
По механизму отказы ИЭТ можно разделить на пять категорий:
•отказы, связанные с явлениями в объеме кристалла;
•отказы, обусловленные явлениями на поверхности кристаллической структуры;
•отказы, зависящие от состояния внутренних контактных соединений;
•отказы, связанные с конструктивным оформлением;
•отказы, связанные с внешними воздействиями при применении ИЭТ.
Втабл. 3 представлены для примера основные механизмы отказов ИС, связанные с технологическими операциями.
Таблица 3 Основные механизмы отказов ИС
Технологическая операция |
Механизм отказа |
Вид отказа |
|
|
|
Диффузия и окисление |
Дефект окисла |
КЗ, О |
|
Загрязнение |
Д |
|
Поверхностные состояния |
Д |
|
Ошибки в топологии |
КЗ, О, Д |
|
|
|
Металлизация |
Разрыв на ступеньке окисла |
О |
|
Коррозия |
О |
|
Электромиграция |
О, КЗ |
|
Обрыв у контакта |
О |
|
Ошибка при травлении |
О, КЗ |
|
|
|
Сборка |
Отслаивание металла |
О |
|
Растрескивание кристалла |
О, КЗ |
|
Пережим проволочного выво- |
|
|
да или его отслаивание в месте |
|
|
сварки |
|
Герметизация корпуса |
Негерметичность корпуса |
Д, О |
|
Образование "усов" на метал- |
|
|
лизации, коррозия |
КЗ, О |
|
Проникновение влаги |
О, Д |
|
|
|
Применение |
Воздействие статического |
КЗ.О.Д |
|
электричества |
|
|
Превышение допустимых |
|
|
электрических режимов |
КЗ, О, Д |
|
|
|