Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Надежность САУ Федосов В В 4261.pdf
Скачиваний:
846
Добавлен:
17.03.2015
Размер:
11.03 Mб
Скачать

170

Глава 7 МЕТОДЫ ОБЕСПЕЧЕНИЯ АППАРАТУРЫ КА ИЗДЕЛИЯМИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НЕОБХОДИМОГО УРОВНЯ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ

7.1МЕТОД ПРОГНОЗИРОВАНИЯ НАДЕЖНОСТИ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, ПРОШЕДШИХ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОИ

Анализ контрактных требований к показателям надежности современных отечественных КА разработки ОАО «ИСС» показывает (см. табл. 51), что требования к показателю долговечности КА – сроку активного существования (САС) или ресурсу постоянно растут. Растут, также, требования к показателям безотказности КА (вероятности безотказной работы (ВБР)) на конец САС.

Таблица 51 Динамика изменения требований к ресурсу и вероятности безотказной работы КА

Параметр

Экспресс-

Сесат

Экпресс-

Зухре

Луч

-

Глонасс-

Глонасс-

 

 

А №2,3

 

АМ-22

 

 

М

К

Год

первого

2000

2000

2003

2008

2009

 

2003

2010

запуска

 

 

 

 

 

 

 

 

Ресурс

на ор-

7

10

12

15,25

10

 

7

10

бите, лет

 

 

 

 

 

 

 

 

Вероятность

 

 

 

 

 

 

 

 

безотказной

0,61

0,7

0,79

0,72

0,75

 

0,7

0,7

работы на ко-

 

нец САС

 

 

 

 

 

 

 

 

Рост требований к показателям долговечности и безотказности КА означает директивное ужесточение требований к нормированным показателям безотказности бортовых систем КА на конец требуемого САС или ресурса. В табл.52, для примера, приведен нормативный бюджет надежности перспективного КА на базе платформы «Экспресс-1000» с требуемым САС 15 лет.

Таблица 52 Нормативный бюджет надежности перспективного КА на базе платформы «Экспресс-1000»

Бортовая система

ВБР на конец САС 15,25 года, не менее

Ретранслятор

0,91

Бортовой комплекс управления

0,958

Система ориентации и стабилизации

0,951

Система электропитания

0,962

Система коррекции

0,930

Система терморегулирования

0,992

Система конструкции

1,0

Механические устройства БС

0,9998

 

171

 

 

 

Бортовая система

 

ВБР на конец САС 15,25 года, не менее

Механические устройства антенн

 

0,9999

КА в целом

 

0,7355

Вместе с тем, используемые при проектных расчетах надежности аппаратуры справочные значения базовых интенсивностей отказов основной номенклатуры отечественных электрорадиоизделий (ЭРИ) (табл.53) за последние 10 лет по ряду причин росли незначительно, в связи с чем разработчики аппаратуры бортовых систем испытывают трудности при подтверждении требуемой безотказности на этапе проектирования.

Таблица 53 - Изменение базовых интенсивностей отказов основных классов и функциональных групп ЭРИ, изготовленных отечественной промышленностью

Классы и группы ЭРИ

 

Базовые интенсивности отказов λб.с.г. 1061/ ч по

 

справочнику «Надежность ЭРИ»[65]

 

 

 

 

 

 

 

1992г.

2000г.

2002г.

1

Интегральные микросхемы:

 

 

 

1.1

-

полупроводниковые цифро-

0,017

0,019

0,019

 

вые

 

 

 

 

 

 

1.2

- ОЗУ

 

 

 

0,038

0,052

0,046

1.3

- ПЗУ, ППЗУ, РПЗУ

 

0,020

0,027

0,025

1.4

-

полупроводниковые

анало-

0,023

0,040

0,037

 

говые

 

 

 

 

 

 

2

Полупроводниковые

прибо-

 

 

 

 

ры:

 

 

 

 

 

 

2.1

- диоды кремниевые выпря-

0,040

0,085

0,1

 

мительные

 

 

 

 

 

2.2

- диоды кремниевые импульс-

0,025

0,035

0,034

 

ные

 

 

 

 

 

 

2.3

-

транзисторы

биполярные

0,048

0,060

0,060

 

кремниевые

 

 

 

 

 

2.4

- транзисторы полевые крем-

0,096

0,088

0,086

 

ниевые

 

 

 

 

 

 

2.5

-

диоды

СВЧ

смесительные

0,300

0,080

0,075

 

кремниевые

 

 

 

 

 

2.6

-

диоды

СВЧ

детекторные

0,700

0,540

0,510

 

кремниевые

 

 

 

0,230

 

2.7

-

транзисторы

биполярные

0,280

0,210

 

кремниевые СВЧ большой

 

 

 

 

мощности

 

 

 

 

 

 

3

Конденсаторы:

 

 

 

0,019

 

3.1

- керамические (U <1600В)

0,008

0,019

3.2

-

оксидно-электролитические

0,140

0,190

0,190

 

алюминиевые

 

 

 

 

 

3.3

- объемно-пористые тантало-

0,125

0,150

0,123

 

вые

 

 

 

 

0,100

 

3.4

- оксидно-полупроводниковые

0,100

0,070

172

Классы и группы ЭРИ

Базовые интенсивности отказов λб.с.г. 1061/ ч по

справочнику «Надежность ЭРИ»[65]

 

 

 

1992г.

2000г.

2002г.

3.5

- с органическим синтетиче-

0,060

0,060

0,055

 

ским диэлектриком полисти-

 

 

 

 

рольные

 

 

 

4

Резисторы:

 

 

 

4.1

- постоянные непроволочные:

0,040

0,052

 

 

а) металлодиэлектрические

 

 

0,050

 

(кроме прецизионных)

 

 

 

 

б) металлодиэлектрические

 

 

0,043

 

прецизионные

 

 

 

 

в) металлизированные

 

 

0,040

4.2

- постоянные проволочные:

 

0,020

 

 

а) нагрузочные

0,020

0,032

 

б) прецизионные, особоста-

0,008

0,008

0,0075

 

бильные

 

0,0071

 

4.3

- переменные проволочные:

0,007

 

 

а) подстроечные

 

 

0,018

 

б) регулировочные

 

 

0,007

Один из методов обеспечения требуемой безотказности – совершенствование применяемых способов резервирования оборудования бортовых систем (способ включения резерва, кратность резервирования, схема включения резерва, характеристика резерва, фиксация резерва, однородность резервирования). Однако, возможности обеспечения требуемой надежности за счет, например, увеличения кратности резерва, как правило, ограничены. При резервировании замещением данный прием действительно ведет к повышению ВБР, однако приводит и к существенному повышению суммарной массы КА, что противоречит налагаемым на КА ограничениям по массе и стоимости. Использование иных, кроме структурной, методов избыточности, например, функциональной (резервирование последовательной цепи приборов одним универсальным и др. приемы), также, по ряду причин, технически редко реализуемы. Таким образом, в целях проектного подтверждения требуемой ВБР КА, зачастую, требуются дополнительные или иные принципы обеспечения нормированных показателей безотказности проектируемого оборудования.

Одним из этих принципов является применение высоконадежных ЭРИ, для которых дополнительно можно использовать понижающие коэффициенты для базовых интенсивностей отказов.

173

К качеству и надёжности ИС предъявляются очень высокие требования, независимо от того, в какой радиоэлектронной аппаратуре (РЭА) они будут применены: в системах управления ракет, авиационных объектов, атомных электростанций или в телевизорах и видеомагнитофонах. Подсчитано [66], что при доле дефектности партий ИС в пределах 0,01%, то есть 100 дефектных схем на один миллион поставленных, процент отказов печатных плат, на которых смонтировано 100 ИС, составит 9,5%. При дефектности партий ИС в пределах 1% выход годных печатных плат составит 63,4%, то есть брак составит 36,6%.

В настоящее время общепринятыми считаются два направления увеличения надёжности выпускаемых ИС [66]:

¾устранение причин отказов за счёт совершенствования конструкции и технологии изготовления, то есть воздействия на процесс производства посредством обратной связи (передачи информации), и создание, в конечном счете, бездефектной технологии;

¾выявление и удаление изделий с отказами (действительными и потенциальными) из готовой партии до поставки потребителю.

Второй вариант обычно не реализуется, так как изготовитель поставляет

потребителю ЭРИ строго в соответствии с техническими условиями. Поэтому можно предложить третий вариант: выявление и удаление изделий с отказами (действительными и потенциальными) из готовой партии на входном контроле у потребителя ЭРИ.

Необходимо отметить, что для оценки достаточности принятых мероприятий необходима информация о надежности ЭРИ. Оперативность получения такой информации из сферы эксплуатации чрезвычайно низка. В этой связи все более актуальным становится разработка и применение специальных методов прогнозирования надежности ЭРИ [69].

Очевидно, что при прогнозировании работоспособности ЭРИ практически невозможно учесть реальный разброс времени наработки до отказа, связанный с разбросом электрофизических параметров ЭРИ и наличием в их структуре различных дефектов и неоднородностей. Поэтому, даже при оптимистических результатах прогноза, необходимым условием является научно-обоснованный выбор и введение дополнительных методов отбраковочных испытаний. И, в пер-

174

вую очередь, эффективных методов диагностирования до установки ЭРИ в БА. Физические и методологические основы применения методов диагностирования изложены, например, в [67, 68, 69].

Применительно к аппаратуре КА и другой высоконадежной аппаратуры важно быть уверенным в отсутствии дефектных (потенциально ненадежных) ЭРИ в выборке, предназначенной для установки в аппаратуру. В технологическом процессе изготовления ИС предусмотрен производственный контроль качества, предназначенный для выявления явных дефектов, характеризующих процент выхода годных изделий, и скрытых дефектов, характеризующих надежность выпускаемых ИС. Если рассматривать отказ ИС как результат развития в ней во времени дефекта, характеризуемого размером Дi, то суть сказанного можно проиллюстрировать графиком, приведенным на рис. 17 [70], на котором дан график зависимости плотности дефектов (а) от их величины (Д).

a λ

a (Дi)

 

 

Процент выхода

 

 

 

годных

 

 

λ(Дi)

 

 

 

 

 

 

 

аti

а0

Скрытые дефекты Явные дефекты

0

Д ti

Д0

 

Дi

 

 

 

 

 

Рис. 17 Зависимость плотности дефектов от их величины

Дефекты величиной ДiД0 (где Д0 критический размер дефекта, нарушающий работоспособность изделия и зависящий от требований контроля) приводят к браку или отказу ИС и называются «явными». Дефекты величиной Дi<Д0 обнаруживаются лишь в процессе эксплуатации и называются «скрытыми». Природа генерируемых технологическим процессом явных и скрытых дефектов одна и та же, а разброс начальных размеров дефектов Дi от 0 до и определяет

175

на практике уровень брака при изготовлении и разброс характеристик надежности однотипных изделий в одинаковых условиях эксплуатации. Пусть Дi - некоторая условная величина дефекта, при которой его развитие не достигает в течение времени ti эксплуатации критического размера Д0. Тогда изделия с дефектами Дti < Дi< Д0 образуют группу потенциально ненадежных изделий с точки зрения заданных требований по надежности ИС. На рис. 17 показана кривая интенсивности отказов ИС в зависимости от величины скрытых дефектов. Нарас-

тающий характер кривой λ(Дi) в диапазоне Дti <Дi < Д0 и определяет так называемую проблему «ранних» отказов ИС в эксплуатации.

Ежегодно в практике ОАО «ИСС» в приборных цехах происходит 8÷12 отказов аппаратуры различной сложности из-за отказов ЭРИ, устанавливаемых в аппаратуру, по результатам сплошного входного контроля (ВК) без проведения дополнительных отбраковочных испытаний. Это приводит к существенным материальным и временным затратам. Поэтому задача выявления скрытых дефектов в ЭРИ до их установки в бортовую аппаратуру является весьма актуальной.

При проведении дополнительных отбраковочных испытаний ЭРИ на входном контроле у потребителя предлагается использовать понижающие коэффициенты для базовых интенсивностей отказов, приводимые в справочниках [24] При этом, в соответствии с НТД, за основу для расчета эксплуатационной надежности ЭРИ принимаются коэффициентные математические модели вида

[24]:

n

λэ = λ' б × K p ×Ki ,

i=1

где, λэ значение величины эксплуатационной интенсивности отказов ЭРИ, используемое при расчете надежности аппаратуры;

λ'б исходная (базовая) интенсивность отказов типа (группы) ЭРИ

(табл.53), приведенная к условиям: номинальная электрическая нагрузка при температуре окружающей среды 25°С;

K p коэффициент режима, учитывающий изменение λ'б в зависимости от электрической нагрузки и (или) температуры окружающей среды;

Кi коэффициенты, учитывающие изменения эксплуатационной интен-

сивности отказов от различных факторов: коэффициент приемки, коэффициент

176

эксплуатации, коэффициент качества разработки и изготовления аппаратуры, коэффициент ионизирующих излучений и т.д.;

n количество учитываемых факторов.

Длительное время (начиная с КА «SESAT» - год запуска 2000) НПО ПМ и предприятия - контрагенты применяют ЭРИ, категории качества «ВП», «ОС» («ОСМ»), прошедшие дополнительные ОИ, включая диагностический неразрушающий контроль и разрушающий физический анализ, в испытательных технических центрах, аккредитованных в системах «Военэлектронсерт» и Федеральной системе сертификации космической техники (ФСКТ). Дополнительные испытания, по данным [71, 72] и по моему мнению, «повышают» качество применяемых партий ЭРИ, идущих на комплектацию БА, снижают интенсивность отказов за счет исключения из них ЭРИ со скрытыми дефектами и позволяют при-

менять понижающий коэффициент Kитц , уточняющий значения λ'б .

Однако, в настоящее время поправочный коэффициент Китц , не учитыва-

ется при расчете проектной оценки надежности аппаратуры КА, так как не предложено метода количественной оценки данного коэффициента. Таким образом, актуальной является задача технического обоснования величины Китц для при-

менения при уточнении значения эксплуатационной интенсивности отказов. Опыт в области дополнительных отбраковочных испытаний ЭРИ перед их

установкой в бортовую аппаратуру позволяет мне предложить способ определения количественного значения Китц методом оценки коэффициентов, характери-

зующих степень отличия ЭРИ, успешно прошедших дополнительные ОИ и полученных с завода – изготовителя.

Суть метода заключается в том, что, исходя из общепринятой функции интенсивности отказов ЭРИ во времени, требуемый срок службы ЭРИ без отбраковки в составе аппаратуры соответствует периоду стабильной интенсивности отказов ЭРИ, обеспечиваемой базовой среднегрупповой интенсивностью отказов и полями допусков параметров ЭРИ по ТУ.

Практика показывает, что при штатной эксплуатации аппаратуры отказы ЭРИ носят, в основном, параметрический характер, т.е. возникают отказы типа «выход за поле допуска». Дополнительные отбраковочные испытания позволяют классифицировать элементы с суженными значениями параметров по сравнению

177

с полями допусков по ТУ. Это ведет к приросту периода стабильной интенсивности отказов ЭРИ, прошедших классификацию [73].

Справедливость такого подхода основана на том, что при оценке интенсивности отказов по результатам испытаний за отказ принимают полную потерю работоспособности или уход параметров-критериев годности за нормы, установленные в ТУ на ЭРИ [74]. Проверка соответствия согласия фактического распределения контролируемого параметра ЭРИ с нормальным или логарифмически нормальным законом распределения, при необходимости, может проводиться, например, в соответствии с [75]. Иллюстрация данного подхода приведена на рис.18.

ТАС

ТАС

λ

 

λбсг

 

КИТЦλбсг

 

а)

 

 

б)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2)

3)

 

1)

 

 

4)

 

5)

6)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 18 Уточнение функции интенсивности отказов для ЭРИ, прошедших ОИ в ИТЦ:

а)- без дополнительных ОИ; б) - прошедших дополнительные ОИ; ТАС гарантийный

срок службы аппаратуры и КА, обеспечиваемый участком стабильной интенсивности отказов ЭРИ по ТУ; TАС прирост ТАС за счет дополнительных ОИ в ИТЦ.

На рис.18 введены обозначения следующих периодов:

1)приработки ЭРИ на заводе - изготовителе;

2)стабильной эксплуатации ЭРИ, не подвергаемых дополнительным ОИ;

3)износа и старения ЭРИ, не подвергаемых дополнительным ОИ;

4)дополнительных ОИ в ИТЦ;

5)стабильной эксплуатации ЭРИ, подвергнутых дополнительным ОИ;

6)износа и старения ЭРИ, подвергнутых дополнительным ОИ.

178

Конкретное значение Китц зависит от объема дополнительных отбрако-

вочных испытаний, для примера в (табл. 54) приведен объем ДОИ сложившийся к настоящему времени.

Таблица 54 – Объем проведения дополнительных отбраковочных испытаний ЭРИ

Вид испытаний

 

Выборка

Примечание

 

1

Разрушающий физический анализ

2-3 шт.

Контроль качества изготов-

 

 

 

 

ления

 

2

Сериализация элементов

100%

 

 

3

Измерение электрических параметров

100%

с записью параметров

 

в нормальных условиях

 

 

 

4

Статистическая

обработка результа-

 

 

 

 

тов измерений,

установление норм

 

 

 

 

«ужесточения» параметров

 

 

 

5

Классификация

по ужесточенным

100%

В соответствии с установ-

 

нормам на электрические параметры

 

ленными

ужесточенными

 

 

 

 

нормами с записью пара-

 

 

 

 

метров

 

6

Электротермотренировка

100%

Минимум 72 часа при 125°С

7

Измерение электрических параметров

100%

с записью параметров

 

в нормальных условиях

 

 

 

8

Статистическая

обработка результа-

100%

 

 

 

тов измерений и установление норм

 

 

 

 

по дрейфу параметров

 

 

 

9

Классификация по дрейфу параметров

100%

В соответствии с установ-

 

 

 

 

ленными нормами с записью

 

 

 

 

параметров

 

Учитывая, что результаты испытаний по каждому виду дополнительных испытаний являются независимыми событиями, Китц будет определяться выра-

жением:

n

Китц = ki ,

1

где ki - коэффициент запаса по i виду дополнительных отбраковочных испытаний (ОИ);

n – количество видов дополнительных ОИ.

В соответствии с приведенным объемом дополнительных ОИ участвуют в образовании Китц следующие виды испытаний: разрушающий физический ана-

лиз (РФА) - КРФА , классификация по ужесточенным нормам - kУН и оценка дрейфа параметров - kД .

179

Необходимо подчеркнуть, что коэффициент ki для испытаний, связанных с измерений электрических параметров, является комплексным, так как учитывает все электрические параметры, участвующие в классификации, и определяется по формуле:

ki = max k j ,

где k j - коэффициент по каждому параметру дополнительных ОИ.

Таким образом, обобщенный коэффициент запаса по параметрической надежности конкретной партии ЭРИ, в соответствии с табл. 54 будет равен:

КИТЦ = kРФА ×kУН ×k Д ,

И, соответственно, выражение для оценки эксплуатационной интенсивности отказов примет вид:

n

λэ = λ' б × K p ×Ki × КИТЦ

i=1

Вкачестве параметра, характеризующего запас параметрической надеж-

ности по величине ужесточенных норм, при условии М(х) > ХУН предлагается использовать коэффициент, определяемый соотношением:

kУН =1/[(М(х) ХУН ) /(М(х) ХТУ )],

где М(х) - оценка математического ожидания параметра ЭРИ в конкрет-

ной производственной партии;

ХТУ - нижнее или верхнее значения параметра, установленные техническими условиями;

ХУН - значение параметра, установленное в качестве критерия «ужесточенной» нормы на конкретный параметр при проведении дополнительных ОИ, и

при условии М(х) < ХУН :

kУН =1/[(ХУН М(х) /(ХТУ М(х)].

Несмещенной и состоятельной оценкой математического ожидания параметра ЭРИ в партии является среднее арифметическое значение всех независи-

мых измеренных значений параметра ЭРИ в партии: M (x) = 1 N xi . Принцип n i=1

«ужесточения» норм приведен на рис.19, 20.

 

 

 

 

 

180

 

 

 

 

 

 

шт

200

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

180

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

160

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

140

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

120

 

Ужесточенная норма

 

 

 

 

 

 

 

 

50 нА

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Норма по ТУ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

100

 

 

 

 

 

20 мкА

 

 

 

 

 

80

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

60

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

40

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

00

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5

4

-4

4.5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x 10

-4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

мА

Рис. 19 - Распределение тока потребления 564ИЕ10В (партия 216 шт.).

 

 

 

Шт.

 

 

 

 

 

 

 

100

 

 

 

 

 

 

 

90

Границы дрейфа

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

80

параметра

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

70

 

 

 

 

 

 

 

60

 

 

 

 

 

 

 

50

 

 

 

 

 

 

 

40

 

 

 

 

 

 

 

30

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

 

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

 

 

0

-2

-1

0

1

2

3

 

-3

mA

 

 

 

 

 

 

x 10-5

Рис. 20 Распределение дрейфа тока потребления 564ИЕ10В

Норма на величину ХУН устанавливается исходя из того, что результаты

измерения конкретного параметра каждого ЭРИ в выборке, подвергаемой ОИ,

181

являются случайными (в смысле математической статистики) величинами, и любая величина, определяемая по выборке, так же является случайной величиной. Поэтому при оценке ХУН приходим к необходимости использования толерант-

ных границ. Принимая, что распределение электрических параметров выборки ЭРИ, подвергаемых ОИ, имеют распределение близкое к нормальному, величина ХУН определяется соотношением:

ХУН = М(х) ± к s ,

гдеМ(х) – оценка математического ожидания параметра;

s- оценка среднеквадратического отклонения, полученная по выборке;

к– толерантный коэффициент, зависящий от объема выборки, доли генеральной совокупности, накрываемой данным интервалом с вероятностью не менее Р с достоверностью не менее γ [75].

Р принимается, например, равным 0,9 при γ = 0,9.

Для количества измерений >50 среднеквадратическое отклонение параметра ЭРИ в партии определяется:

N

s = 1 n[xi M (X )]2`

i=1

Вслучае логарифмически-нормального распределения в качестве параметров распределения используются среднее арифметическое и среднеквадратическое отклонение логарифма параметра ЭРИ.

Дрейф параметров на заводах – изготовителях ЭРИ не оценивается. При проведении электротермотренировки (ЭТТ) фиксируются случаи выхода параметров за нормы ТУ. Фактически это означает, что отбраковываются ЭРИ с дрейфом параметров, соответствующим границам ХТУ. В качестве параметра, характеризующего запас параметрической надежности по величине дрейфа параметров, предлагается использовать коэффициент, определяемый соотношением:

k Д =1/[( ХТУ М(хТУ ) /(ХД М( y)],

гдеМ(х) - оценка математического ожидания параметра в соответствии с

ТУ;

182

M(y) – оценка математического ожидания дрейфа параметра в конкретной производственной партии;

ХД - граница дрейфа параметра, установленная по выборке;

ХТУ - верхняя или нижняя граница параметра по ТУ.

Математическое ожидание параметра по ТУ, фактически, является номинальным значением параметра ЭРИ по ТУ и может быть приближенно оценено по формуле:

M (X ТУ ) = 12 (X ТУв X ТУн )

В качестве параметра, характеризующего нормы на границы дрейфа, установленные по выборке, принимается величина:

YД = М( y) ± k s Д ,

где s Д – оценка среднеквадратического отклонения дрейфа параметра; k – толерантный коэффициент.

 

1

M

M ( y) определяется как M ( y) =

Yi .

 

 

m i=1

M

 

 

И соответственно s Д = 1 m[Yi M ( y)]2` .

i=1

 

 

Ниже приведены результаты оценки коэффициентов по вышеприведенной методике для конкретной партии ИС 597СА3 в количестве 988 штук (партия 6 дата изготовления 01.08).

Таблица 55 Оценка коэффициентов отбраковочных испытаний

 

 

Значенние па-

Ужесточенные

Коэффициент

Нормы на вели-

Коэф-

Наименова-

раметра по ТУ

нормы

пара-

ужесточенных

чину дрейфа па-

фици-

 

 

метров

 

норм Кун

раметров

 

ент

ние

пара-

 

 

 

 

 

 

 

 

дрейфа

Ниж-

Верх-

Ниж-

Верх-

Ниж-

Верхнее

Нижнее

Верх-

метра

нее

нее

нее

нее

нее

нее

пара-

 

 

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

метров

 

 

ние

ние

ние

ние

ние

ние

ние

ние

Кд

 

 

 

 

Ток

потреб-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ления от от-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

рицательно-

-

1,0000

0,5242

0,5856

-

0,17

-0,0429

0,0428

0,09

го

источни-

ка

питания

 

 

 

 

 

 

 

 

 

не более, мА

 

 

 

 

 

 

 

 

 

183

 

 

 

Значенние па-

Ужесточенные

Коэффициент

Нормы на вели-

Коэф-

Наименова-

раметра по ТУ

нормы

пара-

ужесточенных

чину дрейфа па-

фици-

 

 

метров

 

норм Кун

раметров

 

ент

ние

пара-

Ниж-

Верх-

Ниж-

Верх-

Ниж-

Верхнее

Нижнее

Верх-

дрейфа

метра

 

 

нее

нее

нее

нее

нее

нее

пара-

 

 

 

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

значе-

метров

 

 

 

ние

ние

ние

ние

ние

ние

ние

ние

Кд

 

 

 

 

 

Напряжение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

смещения

 

-0,0050

0,0050

0,0019

0,0021

0,38

0,41

-0,0028

0,0027

0,55

нуля Iiо, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Выходное

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

напряжение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

низкого

 

-

0,4000

0,2945

0,3099

-

0,55

-0,0095

0,0098

0,05

уровня

 

не

 

 

 

 

 

 

 

 

 

более, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Выходное

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

напряжение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

высокого

 

7,2000

-

9,0416

9,4111

0,62

-

-0,2467

0,2304

0,06

уровня

 

не

 

 

 

 

 

 

 

 

 

менее, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Из данных табл.55, при КРФА =1, вычисляется и Китц =0,3025.

Анализ данных, приведенных в табл.55, приводит к следующим выводам:

¾Коэффициент «улучшения» интенсивности отказов Китц для конкретной классифицированной партии ИС 597СА3, подвергнутой дополнительным испытаниям, составляет 0,3025, то есть в 3,3 раза.

¾Возможна оценка Китц для любой конкретной партии или типа ЭРИ за оп-

ределенный период изготовления, например, за год.

¾Количественно определена степень критичности конкретных электрических параметров: параметры, для которых коэффициенты имеют наибольшее значение, являются наиболее критичными определяющими работоспособность ЭРИ.

¾Возможен выбор состава дополнительных отбраковочных испытаний исходя из необходимого «улучшения» интенсивности отказов ЭРИ для оценки надежности конкретной радиоэлектронной аппаратуры.

¾Возможен выбор величины значения коэффициента «улучшения» интенсивности отказов ЭРИ в привязке к конкретному электрическому пара-

184

метру критичному для данной конкретной электрической схемы применения этого ЭРИ.

7.2МЕТОД ПРОГНОЗИРОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК БЕЗОТКАЗНОСТИ ИС, ПРИ ПРОВЕДЕНИИ РФА ПЕРЕД УСТАНОВКОЙ В АППАРАТУРУ КА

ЭРИ, предназначенные для установки в аппаратуру КА, наряду с классическим ВК, подвергаются дополнительным ОИ, включая выборочный РФА.

Решение о допуске партий ЭРИ, прошедших ОИ, к установке в аппаратуру принимается с обязательным учетом результатов РФА. Всего были при комплектации КА «Экспресс-АМ» подвергнуты РФА более 1500 партий ЭРИ (диоды, транзисторы, микросхемы, реле), из них 467 партий микросхем.

РФА позволяют подтвердить хорошее качество партий ЭРИ или выявить партии, дефекты в которых обусловлены технологией изготовления и не выявляются при проведении обычных ОИ и ДНК. На рис.21 приведена усредненная картина распределения замечаний при проведении РФА по всем заводам – изготовителям, поставлявшим ИС для КА.

Контроль герметичности

Проверка на наличие посторонних

 

1%

 

частиц

Проверка способности к пайке

 

Испытание на воздействие

7%

0%

 

 

изменения температуры среды

 

 

0%

 

 

Внешний визуальный контроль

 

Проверка прочности выводов

 

0%

3%

 

 

 

Испытания на сдвиг кристалла

 

Проверка качества маркировки

 

3%

1%

 

 

Проверка прочности внутренних соединений 15%

Контроль содержания паров воды внутри корпуса

12%

Контроль качества с помощью РЭМ

14%

Внутренний визуальный контроль

48%

Рис. 21 Распределение несоответствий выявленных при проведении РФА ИС для КА «Экспресс-АМ», «Глонасс» (на основе исследований 467 партий).

Доказательством эффективности проводимых дополнительных ОИ ЭРИ является успешная эксплуатация в течение более 10 лет КА связи "Sesat", соз-

185

данного НПО ПМ по заказу Европейской организации "Eutelsat", при комплектации аппаратуры которого впервые в отечественной практике были массово применены дополнительные ОИ ЭРИ в том числе и РФА.

Имеющаяся на предприятии постоянно пополняемая база данных содержит результаты ВК и ОИ всех проверяемых партий ЭРИ. Она позволяет провести оценку их качества (по предприятиям-изготовителям, времени изготовления, этапу испытаний и др.), а также, в случае возникновения нештатных условий при эксплуатации, проанализировать начальные значения параметров, которые были на этапе ОИ, и динамику их изменения в процессе ОИ.

Решение о допуске прошедших ОИ партий ЭРИ к установке в аппаратуру принимается с обязательным учетом полученных результатов РФА.

Сводные результаты РФА, применительно к конкретным заводам – изготовителям, представлены рис.22. На рис.23 в качестве примера приведена динамика изменения дефектности интегральных схем конкретного завода – изготовителя в зависимости от года изготовления. На рис.24 приведены результаты забракования ИС по результатам РФА.

Распределение выявленных замечаний при проведении РФА ЭРИ от количества партий завода-изготовителя закупленных для установки в аппаратуру

5%

6%

1%

 

9% 17%

дефектности

2%

22%

 

Процент

43 %

 

 

28%

3% 6%

Экситон" г.Павловский Поссадпартии194

ОА "Квазар"Киевг. 18 партий

ОАО

 

"

 

3%

3 %

3%

 

 

1%

5%

8%

 

 

11 %

6%

 

 

 

 

22 %

3%

 

33%

 

 

 

 

 

 

5 %

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 4%

 

 

 

 

 

 

 

 

5%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5 %

 

3 1%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5 %

 

 

 

 

22 %

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

12 %

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

19%

 

 

 

7%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5 %

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4% 5%

4% 5%

ФГУП "НЗПП с ОКБ г.Новосибирск 113 партий

" ОАО Светлана Полупроводники" г.Санкт Петербург 36 партий

УП "Завод полупроводниковых приборов" г.Минскпартии43

" ООО Томилинский электронный завод" 19 партий

ОАО Восход-КРЛЗ" г.Калуга

партий

РЗПП" АО "Альфа г.Рига 32 партии

ЗАО "Группа-кремний г.Брянскпартий49

УП "Завод Транзистор г.Минск 20 партий

 

 

 

 

"

 

 

 

 

Проверка качества маркировки

Проверка на наличие посторонних частиц

Внешний визуальный контроль

Проверка прочности внутренних соединений

Контроль качества металлизации с помощью РЭМ

Внутренний визуальный осмотр

Контроль содержания паров воды

186

Рис. 22 Распределение выявленных замечаний при проведении РФА ЭРИ от количества партий завода-изготовителя закупленных для установки в аппаратуру

 

 

Динамика изменения дефектности ИС в ОАО "Экситон" г. Павловский-Пассад

 

 

ИС

70%

 

 

 

 

 

 

 

партий

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Контроль

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

содержания паров

 

закупленных

60%

 

 

 

 

61%

воды

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

56%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

50%

 

 

 

 

 

Внутренний

 

 

 

 

47%

 

 

визуальный

 

 

 

 

 

 

 

 

количества

 

 

 

 

 

осмотр

187

30%

 

 

 

 

 

помощью РЭМ

 

40%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

35%

 

 

Контроль качества

 

 

 

 

 

 

 

металлизации с

 

от

 

26%

 

 

 

 

 

 

замечаний

23%

 

 

 

 

Проверка

 

 

 

 

 

 

 

 

20%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

прочности

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

внутренних

 

 

 

 

 

 

 

 

соединений

 

Количество

10%

партий

партий

партий

партий

партии

7%

 

партий

 

 

8%

5%

 

4%

 

 

 

 

0%

5%

 

0%

 

 

 

 

 

 

 

1%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2000г. 13

2001г. 57

2002г. 75

2003г. 49

2004г. 33

2005г. 54

 

 

 

 

 

Годы изготовления ИС

 

 

 

 

Рис. 23 Динамика изменения дефектности ИС

 

 

 

 

Результаты забракования партий микросхем

 

 

 

 

4805

 

 

 

 

 

 

 

5000

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4500

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4000

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3500

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3000

 

 

 

 

 

 

 

 

188

2500

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

708

2000

 

 

506

100

25

150

230

 

120

1500

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1000

 

 

 

 

 

 

 

 

Штук

 

 

 

 

 

 

1

1

7

500

23

4

 

1

1

1

 

 

 

 

 

 

 

 

Партий

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

ОАО"Экситон"

АО "Квазар" г.Киев

УП "Завод полупроводниковых приборов" г.Минск

УП "Завод Транзистор" г.Минск

ОАО "Восход"-КРЛЗ г.Калуга

" ОАО Ангстрем"

ФГУП "НЗПП с ОКБ"

ЗАО "СветланаПолупроводники" г.Санкт-Петербург

Рис. 24 Результаты забракования ИС по результатам РФА

189

По результатам РФА могут проводиться дополнительные ОИ партий ЭРИ, для которых получены замечания, и приниматься решения по дальнейшему использованию этих партий (замена на заводе – изготовителе, использование в наземной аппаратуре и т.д.).

Например, дополнительной проверке на наличие посторонних частиц в подкорпусном пространстве (PIND-испытания) было подвергнуто 1815 микросхем (90% этого количества составила продукция ОАО "Экситон"), частицы обнаружены в 317 микросхемах (или 17,45% от общего количества проверенных), которые отнесены к категории потенциально ненадежных «ПН».

РФА позволяют выявить партии ЭРИ, дефекты в которых обусловлены технологией изготовления ЭРИ на заводах-изготовителях и не выявляются при проведении ОИ и ДНК.

Решения по отрицательным результатам РФА, часто после выезда на предприятия-изготовители ЭРИ, принимаются совместно с головным разработчиком КА (аппаратуры).

По результатам комплектации КА «Экспресс-АМ» (см. рис.24) по результатам РФА не были допущены к установке в аппаратуру и отнесены к категории потенциально-ненадежных 39 партий микросхем (6644 шт.).

Таким образом, отсутствие в России производства ЭРИ космического уровня качества, является главной проблемой при комплектации аппаратуры КА с длительными сроками активного существования. При этом необходимо помнить, что требования, предъявляемые к ЭРИ, используемым в КА, выше, чем требования к технологическому процессу изготовления ЭРИ категории качества «ОС». Эти различия приведены в табл. 56.

Таблица 56 Различие в методах контроля в процессе производства ИС и в методах контроля РФА

 

 

Метод контроля в процес-

 

 

 

Методы

контроля

РФА

по

 

 

 

 

 

 

 

се

производства

по

Примечание

 

 

 

 

 

 

Метод контроля

 

АКЕФ.55.0004ПЛ-2001[78]

или

Примечание

 

ОСТ 11 14.1012-99

[76]

 

 

 

 

или (ОСТ 11 073.013 [77])

 

 

 

(РД В 319.04.47-2006 [79])

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Метод контроля

Метод 28.

 

 

Четыре кристалла от любой

Контроль утонений, микротрещин,

Один

кристалл

 

метализации

с

Контроль утонений, мик-

пластины из партии пла-

пустот и т.д. на кристалле из одно-

от

партии

ИС

 

помощью РЭМ

ротрещин, пустот и т.д. на

стин

после литографиче-

го корпуса ИС.

 

 

 

или

даты

изго-

 

 

 

тестовых элементах.

 

ской

операции «Травление

Для подтверждения характера де-

товления. После

 

 

 

 

 

 

 

металлизации».

 

фектов, обнаруженных при прове-

снятия

пассива-

 

 

 

 

 

 

 

Аттестационный метод при

дении внутреннего

визуального

ции.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

применении магнетронного

контроля оценивается:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

распыления 1

 

-

качество

приварки

внутренних

 

 

 

 

190

 

 

 

 

 

 

 

 

 

выводов;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- качество внутренних проволоч-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ных выводов;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

коррозионные

разрушения

на

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

участках металлизации с после-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дующим микроанализом.

 

 

 

 

 

 

Визуальный

 

(Метод 405-1.1) Визуаль-

Конкретные значения крат-

Контроль

качества

внутренних

Критерии отбра-

 

контроль

кри-

ный

контроль

внешнего

ности увеличения указыва-

проволочных выводов (увеличе-

ковки

кристал-

 

сталлов и осно-

вида кристаллов на пла-

ют в технологической до-

ние 60х ÷250х).

 

 

 

лов приведены в

 

ваний ИС

 

стине и (или) после опе-

кументации.

 

Контроль

качества скрайбирова-

[77]

 

 

 

 

 

 

рации разделения пластин

Критерии отбраковки

кри-

ния кристалла

(рекомендуемое

приложение 1

 

 

 

на

кристаллы

проводят

сталлов приведены в

[77]

увеличение 50х ÷ 125х).

 

 

 

 

 

 

 

 

под микроскопом

 

приложение 1.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 Аттестационный метод – контроль по данному методу проводится во время аттестации производства, при сдаче ОКР, смене типа оборудования, изменении технологии изготовления на данной операции [76].

 

Метод контроля в процес-

 

 

Методы

контроля

РФА

по

 

 

 

 

 

се

производства

по

Примечание

 

 

 

 

Метод контроля

АКЕФ.55.0004ПЛ-2001[78]

или

Примечание

ОСТ 11 14.1012-99

[76]

 

или (ОСТ 11 073.013 [77])

 

 

(РД В 319.04.47-2006 [79])

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

кратностью

увеличения

Приведенные размеры сле-

Контроль качества нанесения за-

 

 

 

 

 

80х, 100 х, 200х

 

 

дует

рассматривать как

щитного

покрытия

(увеличение

 

 

 

 

 

В случае контроля кри-

приближенные. В техноло-

100х ÷500х).

 

 

 

 

 

 

 

сталлов на пластине по-

гических контрольных кар-

Контроль качества металлических

 

 

 

 

 

следующий их контроль

тах указывают размеры де-

покрытий (увеличение 100х ÷500х).

 

 

 

 

 

после разделения пластин

фектов в сравнении с раз-

Контроль

качества

фотолитогра-

 

 

 

 

 

на

кристаллы

проводится

мерами

элементов микро-

фии (увеличение 100х ÷500х).

 

 

 

 

 

 

при увеличении 16 х, 25 х,

схем на кристалле.

Контроль диаметра (ширины)

 

 

 

 

 

32х.

 

 

 

 

внутренних проволочных

выво-

 

 

 

 

 

Визуальный

контроль

 

 

дов.

 

 

 

 

 

 

 

 

кристаллов в составе ос-

 

 

(Методика В.2) Оптический мик-

 

 

 

 

 

нований и качества сборки

 

 

роскоп с увеличением 40 х ÷1500 х

 

 

 

 

 

перед операцией гермети-

 

 

[Введите цитату из документа или

 

 

 

 

 

зации и после испытаний

 

 

краткое описание интересного со-

 

 

 

 

 

проводят под

микроско-

 

 

бытия. Надпись можно поместить

 

 

 

 

 

пом с кратностью увели-

 

 

в любое место документа. Для из-

 

 

 

 

 

чения 16х, 25х, 32х

 

 

 

менения форматирования надписи,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

содержащей броские цитаты, ис-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

пользуйте вкладку "Работа с над-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

писями".]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

или более.

 

 

 

 

 

 

 

Контроль чисто-

Метод 8. Контроль чисто-

Аттестационный метод 1

Инструкция по контролю качества

Один

кристалл

ты поверхности

ты поверхности перед раз-

 

 

ЭРИ с использованием растрового

от

партии

ИС

 

варкой внутренних

выво-

 

 

электронного

микроскопа

или

даты

изго-

 

дов

 

 

 

 

АКЕФ.01.0116И

 

 

товления. После

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

снятия

пассива-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ции

 

 

 

191

 

 

 

 

Метод контроля в процес-

 

Методы контроля

РФА

по

 

 

 

 

 

 

 

се

производства

по

Примечание

 

 

 

Метод контроля

АКЕФ.55.0004ПЛ-2001[78]

или

Примечание

 

ОСТ 11 14.1012-99

[76]

 

 

 

 

 

или (ОСТ 11 073.013 [77])

 

(РД В 319.04.47-2006 [79])

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Контроль

со-

Метод 32. Уровень влаж-

Аттестационный метод 1

(метод 32 ОСТ 11 14.1012-99)

 

Один

корпус от

 

держания

паров

ности

в

подкорпусном

 

 

 

 

партии ИС или

 

воды

 

 

 

объеме

 

 

 

 

 

 

даты

изготовле-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ния

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Контроль тепло-

Метод 31. Контроль теп-

Аттестационный метод 1

Инструкция по внутреннему визу-

Один

корпус от

 

вой

деформа-

ловой

деформации внут-

 

альному

контролю

партии ИС или

 

ции

внутренних

ренних проводников

 

 

АКЕФ.01.0114И

 

 

даты

изготовле-

 

провоников

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ния

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Контроль

отсут-

Метод

30.

Контроль

от-

Аттестационный метод 1

Инструкция по внутреннему визу-

Один

корпус от

192

ствия

трещин

и

сутствия трещин и микро-

 

альному

контролю

партии ИС или

 

 

микропустот

в

пустот в точке присоеди-

 

АКЕФ.01.0114И

 

 

даты

изготовле-

 

точке

присоеди-

нения проводника к под-

 

 

 

 

ния

 

 

нения проводни-

ложке

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ка к подложке

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

193

Метод оценки понижающего коэффициента Kитц , уточняющий значения

λэ по определению kУН , kД рассмотрены в разделе 7.1. Ниже предлагается метод

количественной оценки влияния дополнительных отбраковочных испытаний – разрушающего физического анализа (РФА) - kРФА на исходную (базовую) интен-

сивность отказов ИС λб[80]. При этом РФА проводится, например, в соответст-

вии с табл. 57 до установки в бортовую аппаратуру.

Таблица 57 Объем разрушающего физического анализа.

 

Номер пункта технических

 

 

требований по ОСТ В11

 

Вид испытаний РФА

0398,

Метод испытаний

 

[ОСТ В11 073.012](ОСТ В

 

 

11 073.041)

 

Измерение электрических па-

 

ОСТ 11 073.013

раметров при нормальных ус-

2.3.1[2.3.1](2.2.1)

метод 500-1

ловиях

 

 

 

Контроль содержания паров

 

ОСТ 11 073.013 Мето-

2.2.20[2.2.19]

ды 2.2.2-1, или 2.2.2-2,

воды внутри корпуса

 

или 2.2.2-3

 

 

Внутренний визуальный кон-

2.2.9, 2.2.14, 2.2.22

ОСТ 11 073.013

троль

 

метод 405-1.1

Контроль качества при помо-

 

ОСТ 11.073.013 метод

 

409-4

щи растрового электронного

-

ОСТ 11 14.1012 метод

микроскопа

 

 

28

 

 

Проверка прочности внутрен-

-

ОСТ 11 073.013 метод

них соединений

 

109-4

Испытание на сдвиг кристал-

-

ОСТ 11 073.013 метод

ла

 

115-1

Партии ИС, несоответствующие критериям табл. 57, не подлежат установке в аппаратуру, хотя конкретные ЭРИ в этих партиях по электрическим параметрам соответствуют техническим условиям (ТУ), это приводит к повышению качества партий ЭРИ, устанавливаемых в аппаратуру. При этом надо подчеркнуть, что без проведения РФА дефекты, потенциально имеющееся в ИС, опосредовано, учтены в оценке λб, приводимой в справочнике [81], а, значит,

после проведения РФА оценка вероятности безотказной работы - λбможет быть скорректирована (уменьшена) за счет отклонения партий, имеющих дефекты изготовления.

В России пока не наработана практика использования изготовителем радиоэлектронной аппаратуры процедуры РФА партий ЭРИ для оценки качества.

194

Каждый изготовитель аппаратуры самостоятельно принимает решение о внедрении данной проверки, или принимается директивное решение, например, на уровне космического аппарата: «Sesat», «Экспресс-АМ», «Ямал», и др.

На сегодня разработан так называемый «компонентный» подход к определению удельной доли отказов ИС для этапа производства, который позволяет выявить наиболее часто встречающиеся виды отказов в целях принятия мер по исключению причин превалирующих дефектов при изготовлении партий ЭРИ и определения интенсивности отказов за счет данных типов дефектов. Основные механизмы отказов ИС, связанные с технологическими операциями, приведены в табл.3 [82]:

Таблица 58 Основные механизмы отказов ИС

Технологическая операция

Механизм отказа

Вид отказа

 

Дефект окисла

 

КЗ, О

Диффузия и окисление

Загрязнение

 

Д

Поверхностные состояния

Д

 

 

Ошибки в топологии

КЗ, 0, Д

 

Разрыв на ступеньке окисла

О

 

Коррозия

 

О

Металлизация

Электромиграция

О, КЗ

 

Обрыв у контакта

О

 

Ошибка при травлении.

О, КЗ

 

Отслаивание металла

О

 

Растрескивание кристалла

О, КЗ

 

Пережим проволочного вы-

О

 

вода или его

отслаивание

 

Сборка

вместе сварки

 

О, КЗ

 

Формирование

металличе-

 

ского соединения

КЗ

 

Посторонняя частица

 

Царапина на кристалле

О, КЗ

 

Негерметичность корпуса

Д, О

Герметизация корпуса

Образование "усов" на ме-

КЗ, О

таллизации, коррозия

 

 

Проникновение влаги

О, Д

 

 

 

 

Примечания:

КЗ - короткое замыкание, О - обрыв, Д - деградация электрических параметров.

Таким образом, коэффициент разрушающего физического анализа kРФАi по конкретному виду дефекта можно определить по формуле:

195

kРФАi = λ'б λλ' РФАi .

б

Обобщенная интенсивность отказов по компонентам ненадежности ИС по результатам проведения РФА оценивается выражением:

k

λРФА = λРФАi , i=1

где λРФАi – интенсивность отказов k-го компонента ненадежности в соот-

ветствии с табл.3.

Если после проведения РФА партий ИС конкретного завода - изготовителя за определенный временной интервал либо конкретной партии не выявлено отклонений, например, по 3-му компоненту ненадежности, то интенсивность отказа этих партий будет равна:

k

1РФА2 +λРФАi . i=4

АkРФА по всем обнаруженным дефектам будет равен:λРФА = λРФА +λ

 

k

n

λ'б λРФАi

kРФА = kРФАi =

i=1

'

i=1

λ

б

Необходимо отметить, что структура видов испытаний РФА, приведенная

втабл. 57, не является статичной и может меняться в зависимости от типа аппаратуры, методов применного в аппаратуре резервирования и т. д. Приведенная в табл. 57 структура РФА, например, не позволяет выявить дефекты, связанные с электромиграцией в алюминиевой металлизации. Электромиграция заключается

впереносе атомов металла потоком электронов. В результате этого процесса образуются пустоты в металлических проводниках, что приводит к их пережогу. Этот вид отказа металлизации возникает при наличии дефектов металлизированных дорожек, когда возникает превышение плотности тока, поскольку сечение металлической токопроводящей дорожки выбирается конструкторами ИС по значению плотности тока, равному пороговому значению 2 105 ÷ 6 105 A/см2 [83], превышение которого и вызывает процесс электромиграции. Для выявления дефектов, связанных с электромиграцией, а так же загрязнением поверхности кристалла, РФА необходимо проводить после длительных испытаний на безотказность.

196

Если дефектов в партиях ЭРИ не обнаружено, то kРФА =1 (является макси-

мальным значением) и λ'б ЭРИ этих конкретных партий соответствует интенсив-

ности отказов, приведенной в справочнике [81].

Учет потенциальной интенсивности отказов по одному из возможных компонентов ненадежности приводит к повышению надежности партий ЭРИ за счет исключения данной интенсивности отказов из базового значения интенсивности партий ЭРИ, допущенных к установке в бортовую аппаратуру, то есть к снижению интенсивности отказов конкретных партий, проверенных на РФА за определенный временной интервал изготовления. Это в свою очередь приводит к уменьшению kРФА по сравнению с максимальным значением и, следовательно,

к уменьшению общего корректирующего коэффициента Китц. Данный подход стимулирует изготовителя бортовой аппаратуры не только проводить РФА, но и проводить РФА более эффективно.

Типичная картина распределения относительной доли отказов по компонентам ненадежности МОП ИС представлена в табл. 59, взятой из работы [84]. Как можно видеть, при повышении степени интеграции ИС доля каждого компонента ненадежности меняется.

Таблица 59 - Зависимость относительного числа отказов от степени интеграции ИС

 

Малая степень

Средняя сте-

Большая степень

Компонент ненадежности

интеграции

пень интегра-

интеграции

(причина отказа)

(МИС)

ции

(БИС)

 

(СИС)

 

 

 

Металлизация

0,096

0,179

0,269

 

 

 

 

Легированная область

0,077

0,115

0,260

 

 

 

 

Кристалл и оксид

0,173

0,202

0,125

 

 

 

 

Инородные частицы

0,048

0,021

0,135

Герметизация и приварка

0,135

0,058

0,038

 

 

 

 

Кристаллодержатель

0,048

0,029

0,019

 

 

 

 

Данные табл. 59 показывают, что в БИС на первое место выходит металлизация. На втором месте отказы легированных областей, а потом отказы, связанные с оксидом. Поэтому при прогнозировании отказов ИС высокой степени интеграции необходимо в первую очередь рассматривать развитие отказов в металлизации.

197

Относительная доля компонентов ненадежности, приведенная в табл. 59, определяется отношением числа дефектов по конкретному компоненту ненадежности (дефектности) к общему числу выявленных дефектов и, касается конкретного производителя, так как характеризует конкретную технологию и отражает тенденцию изменения относительной доли компонентов ненадежности при возрастании степени интеграции.

Таким образом, изменение базовой интенсивности отказов ИС конкретных типов за счет процедур РФА определяется изменением интенсивности отказов по конкретным причинам ненадежности (дефектности) и должно рассматриваться применительно к конкретному изготовителю. Ниже приведена оценка относительной доли компонентов ненадежности в показателях качества конкретных заводов – изготовителей ИС. За продолжительность временного периода, в течение которого оценивается относительная доля каждого вида дефектности ЭРИ в партиях ЭРИ и интенсивность отказов принят календарный год, в течение которого проходило изготовление общего количества М партий ИС, в том числе подвергнутых РФА. Для определения интенсивности отказов λРФАi по какому-

либо компоненту ненадежности (табл.3) экспериментальным методом можно использовать план испытаний [N, R, T]. При реализации которого N партий конкретных типов ЭРИ, предполагаемых для установки в аппаратуру, из M изготовленных на заводе – изготовителе за время Т, проходят испытания РФА.. Количество ЭРИ в партиях не прошедших РФА (R) по любой причине ненадежности, отклоняются от установки в БА и заменяются новыми. В результате проведения

РФА определяется число дефектов ri

по конкретной причине ненадежности. В

итоге вычисляется величина относительного числа дефектов (частость):

Si =

ri

 

,

 

 

 

 

 

N

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

 

 

откуда

λРАФ

ri

и λРФА

ri

,

i=1

 

 

N

M N

 

 

 

i

MT

 

 

 

 

 

niT +

m jT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

i=1

j=1

 

где:

ni количество ЭРИ в i ойпартии, прошедшей РФА; mi количество ЭРИ в j ойпартии, не прошедшей РФА

198

Последнее выражение является приближенным, поэтому оценивается с помощью доверительных границ [85]:

 

N

 

 

λРФА =

K p ri

,

i=1

N

M N

 

T (ni +

m j )

 

 

i=1

j=1

 

где Kp

- коэффициент, определяемый в зависимости от числа отказов (за-

мечаний) и доверительной вероятности Р.

Для примера ниже приведены величины относительного числа дефектов компонентов ненадежности конкретных заводов – изготовителей ИС и λРФАi

(1/час) при доверительной вероятности P=0,9.

Таблица 60 Величина относительного числа дефектов компонентов ненадежности кон-

кретных заводов – изготовителей ИС и λРФАi (1/час) при доверительной вероятности

P=0,9.

Техно-

 

 

 

 

ОАО «Экситон»

 

 

ФГУП «НЗПП с ОКБ»

 

 

 

 

 

2000г.-13

2005 г. – 70

2000 г. – 12

2005

г. -20

логиче-

 

 

 

Механизм отказа

партий

 

партий

 

партий

 

 

партий

 

ская

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Час-

 

 

 

 

 

 

Час-

 

 

опера-

 

 

 

 

Час-

λРФАi

λРФАi

Час-

 

λРФАi

λРФАi

 

 

 

 

тост

 

тост

ция

 

 

 

 

тость

 

ь

 

 

тость

 

 

 

ь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Дефект окисла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диффу-

Загрязнение

 

 

5,7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зия

и

Поверхностные

со-

0,08

0,00

6,2

0,08

 

6,2

0,15

6,3

окисле-

стояния

 

 

10-9

10-10

 

10-9

10-9

ние

 

Ошибки

в тополо-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

гии

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Разрыв на ступень-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ке окисла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Метал-

 

Коррозия

 

 

0,00

3,4

0,07

3,2

0,00

 

3,6

0,10

5,0

 

 

Электромиграция

-9

 

-9

 

 

-9

 

-9

лизация

Обрыв у контакта

 

10

 

10

 

 

 

10

 

 

10

 

 

 

Ошибка

при трав-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

лении.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Отслаивание

ме-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

талла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Растрескивание

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

кристалла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Пережим

прово-

0,23

9,6

 

6,2

 

 

3,6

 

2,2

Сборка

 

лочного

вывода

0,00

0,00

 

0,00

 

10-9

10-10

 

10-9

10-9

 

 

или его

отслаива-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ние вместе сварки

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Формирование

ме-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

таллического

со-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

единения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

199

Техно-

 

 

ОАО «Экситон»

 

 

 

 

ФГУП «НЗПП с ОКБ»

 

 

2000г.-13

 

2005 г. – 70

2000 г. – 12

2005

г. -20

логиче-

 

 

 

Механизм отказа

партий

 

 

партий

 

партий

 

 

партий

ская

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Час-

 

 

 

 

 

 

 

 

Час-

 

опера-

 

 

Час-

 

λРФАi

 

 

λРФАi

 

Час-

 

λРФАi

λРФАi

 

 

 

 

тост

 

 

 

тост

ция

 

 

тость

 

 

 

ь

 

 

 

 

тость

 

 

 

ь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Посторонняя

час-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тица

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Царапина на

кри-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

сталле

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Негерметичность

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

корпуса

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Герме-

Образование "усов"

 

 

 

5,7

 

 

 

6,2

 

 

 

 

1,0

 

2,2

тизация

на металлизации,

0,08

 

 

0,00

 

 

 

0,33

 

10

-8

0,00

 

10-9

 

 

10-10

 

 

 

10-9

корпуса

коррозия

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проникновение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

влаги

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

'

 

 

K p ri

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

i=1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

λб

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

 

M

N

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T (ni + m j )

 

 

 

 

 

 

 

И

соответственно kРФА =

 

 

i=1

 

j=1

.

Данная методика

дает

 

 

'

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

λб

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

верхнюю оценку kРФА , поскольку не все партии ЭРИ, выпускаемые заводом – из-

готовителем, подвергаются разрушающему физическому анализу.

В данной разделе получено выражение для коэффициента разрушающего физического анализа kРФА с помощью которого учитывается влияние РФА (тех-

нологии изготовления ЭРИ) на базовую интенсивность отказов λб, приводимую в справочнике «Надежность ЭРИ» [81].

Предложено, также, выражение для оценки интенсивностей отказов λРФАi

по конкретным видам возможных дефектов партий ИС при проведении РФА. На основании экспериментальных исследований получены статистические

оценки долей ненадежности (дефектности) микросхем различных заводов – изготовителей по конкретным видам технологических операций.

7.3МЕТОД СОЗДАНИЯ ПРОГРАММ ОТБРАКОВОЧНЫХ ИСПЫТАНИЙ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ДЛЯ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ НАДЕЖНОСТИ В ПРОЦЕССЕ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ ОИ

Так как в париях ЭРИ, поступающих к изготовителю аппаратуры, всегда содержатся потенциально ненадежные, на стадии входного контроля необходи-

200

мо выявить эти ЭРИ и не допустить к установке в аппаратуру. Стоимость выявления дефектного ЭРИ на различных стадиях изготовления КА и эксплуатации возрастает, по крайней мере, на порядок от стадии к стадии. Известно [86], что наиболее эффективным методом предотвращения отказов аппаратуры является прогнозирование. Суть метода состоит в том, что потенциально ненадежные ЭРИ выявляются до их отказа. В зависимости от того, возможно ли следить за необратимыми изменениями свойств ЭРИ или нет, прогнозирование отказов может вестись инструментальными или статистическими методами.

Основными предпосылками разработки программ отбраковочных испытаний изделий микроэлектроники для прогнозирования надежности в процессе дополнительных ОИ являются:

¾требуемый уровень качества и надежности в эксплуатации;

¾номенклатура потенциальных дефектов, генерируемых технологическим процессом;

¾эксплуатационные факторы, стимулирующие дефекты и приводящие к отказам;

¾величины запасов устойчивости к эксплуатационным факторам. Отбраковочные испытания ИС — это совокупность последовательных и

комплексных испытаний, предназначенных для выявления и устранения, скрытых производственно-технологических и конструктивных дефектов.

Задача отбраковки потенциально ненадежных схем может решаться двумя путями: испытанием в форсированных режимах до развития отказа потенциально ненадежных ИС или неразрушающими методами контроля (НМК) ИС.

Физической основой испытаний в форсированных режимах является различная стойкость потенциально ненадежных и качественных ИС к электрическим, механическим и климатическим нагрузкам. Показатели безотказности ИС являются функцией внутренних параметров ИС-Х, формируемых в процессе производства, электрических нагрузок Y и климатических факторов W характеризующих условия эксплуатации ИС

Т0=f(Х,Y,W)

201

Поскольку в процессе испытаний электрические, механические нагрузки и климатические факторы неизменны для всех элементов партии, то наработка до отказа ИС будет полностью определяться их внутренними параметрами

T0=Af(X)

Совокупность НМК основана на контроле информативных параметров ИС. При этом предполагается, что отказы ИС обусловливаются деградационными физико-химическими процессами, влияющими на доступные измерению НМК параметры ИС. Для отбраковки потенциально ненадежных ИС НМК необходимо установить связи информативных параметров с показателями безотказности [87].

Применение отбраковочных испытаний основано на следующих основных предпосылках.

Форсированная нагрузка не должна приводить к появлению новых механизмов отказов ИС, т. е. должно выполняться условие автомодельности механизмов отказов; должны быть известны зависимости между величиной нагрузки

имеханизмами отказов ИС; отбраковочные испытания должны быть экономически реализуемыми (простая методика, максимально возможный показатель — число элементов/1 ч).

Выбор вида отбраковочных испытаний зависит от механизма отказов ИС

ихарактера влияния на него форсирующих факторов. Каждый из видов отбраковочных испытаний направлен на активацию лишь определенных типов деградационных процессов ИС.

Поэтому определение условий отбраковочных испытаний является весьма непростой задачей. При этом исходят из следующих главных принципов: адекватность условиям эксплуатации, распределение условий по уровням воздействия, учет механизма развития отказа, учет всех элементов конструкции. Сформулированные принципы логично вытекают из анализа видов и причин отказов РЭА и ИС.

Физический подход к выбору ускоряющих факторов предполагает знание закономерностей возникновения и развития отказов и определение влияния различных факторов на скорость развития деградационного процесса. Поэтому при

202

определении условий форсированных испытаний необходимо выбирать номенклатуру и значение факторов, характерных для условий эксплуатации.

Необходимый уровень качества и надежности ЭРИ определяется на этапе оценки вероятности безотказной работы аппаратуры и может быть использован для целей разработки программы дополнительных ОИ.

Примерный перечень потенциальных дефектов ИС и выявляющие их методы отбраковочных испытаний, заимствованные из работы [70], приведены в табл. 61, 62.

Таблица 61 Отбраковочные испытания для выявления отказов, связанных с дефектами кристаллов ИС

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Методы отбраковочных испытаний

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

отжиг

для

термоцик-

постоянное

электро-

ЭТТ в дина-

 

Виды дефектов (отказов)

стабилиза-

лирование

ускорение

термо

мическом ре-

 

ции

пара-

или тепло-

или меха-

трени-

жиме

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

метров

вой удар

нический

ровка

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

удар

(ЭТТ)

 

 

Загрязнение поверхности

 

 

 

 

+

 

 

 

+

+

 

Инверсионные каналы

 

 

 

 

+

 

 

 

+

 

 

Несовершенство

структу-

+

 

+

 

 

+

 

ры кристалла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Трещина на кристалле

 

 

 

 

 

 

+

 

+

+

 

+

 

Точечные поры в окисле

 

 

 

 

 

 

 

+

 

+

+

 

Несовершенство

структу

-

 

 

 

+

 

 

+

 

ры оксидной пленки

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Пробой в оксиде

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

 

+

+

 

Дефекты пассивирования

 

 

 

 

+

 

 

+

 

Диффузионные аномалии

 

 

 

 

 

 

 

+

+

 

Диффузионные

включе-

 

 

 

 

+

+

 

Дефекты фотолитографии

 

 

 

 

 

 

+

 

Открытые участки метал

-

 

 

 

+

 

+

+

 

лизации

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Замыкания металлизации

 

 

 

+

 

+

+

 

Электромиграция

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

 

Уход электрических па-

+

 

 

 

+

+

 

раметров

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

203

Таблица 62 Отбраковочные испытания для выявления отказов, связанных со сборкой кристалла в корпусе

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Методы отбраковочных испытаний

 

 

 

 

Виды

 

 

дефектов

отжиг для стабилиза-ции параметров

термоциклирование или тепловой удар

постоянное ускорение или механический удар

испытания на герметичность

ЭТТ при обратном смещении

ЭТТ в динамическом режиме

рентгеноскопия

визуальный контроль

 

(отказов)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Разрыв

прово-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

лочного

соеди-

 

 

+

 

 

+

+

 

+

 

нения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Отрыв проволоч-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ного

соединения

 

 

+

 

 

+

+

 

+

 

от кристалла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Некачественная

 

 

 

+

 

 

 

+

 

 

 

сварка

(пере-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Смещенное

 

со-

 

 

 

 

+

+

 

+

 

единение сварки

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Многократная

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

 

сварка

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Интерметалли-

 

 

+

+

+

 

 

+

 

 

 

чес-кие соедине-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Дефекты посадки

 

+

+

 

 

+

+

 

 

кристалла

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Отрыв проволоки

 

 

+

 

 

+

+

 

+

 

от вывода корпу-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Короткое

замы-

 

 

 

 

+

+

 

 

 

кание

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Термические

 

на-

+

+

 

 

 

+

 

 

 

пряжения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Инородные

час-

 

 

 

 

 

 

+

+

 

Негерметичный

 

+

+

+

 

 

 

 

 

спай

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Дефект внешнего

 

 

+

 

 

 

 

 

+

 

вида

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Необходимо отметить, что применение в процессе дополнительных ОИ выборочного РФА у потребителя ЭРИ, приводит к возможности существенно ограничить отбраковочные испытания для выявления отказов, связанных со сборкой кристалла в корпусе, кроме строк, неотмеченных цветом (см. табл.62), часть испытаний, связанных с дефектами кристаллов ИС (в табл. 61 выделены цветом). Инородные частицы в подкорпусном объеме ИС выявляются при испы-

204

таниях на PIND – тестере (Particle impact noise detection). Так как визуальный контроль после вскрытия корпуса ИС может привести к ложному результату (частицы от вскрытого корпуса).

Примеры дефектов, выявляемых при проведении РФА, помещены на рис. 25 -25 29.

Ориентируясь на вышеприведенную аргументацию, в качестве дополнительных ОИ у потребителя ЭРИ можно остановиться на проведении следующих видов испытаний:

1.термоциклирование;

2.ЭТТ;

3.проверка герметичности;

4.испытания на наличие инородных частиц в подкорпусном объеме;

5.РФА.

Впользу такого выбора говорят и данные, приведенные в табл. 63 [70].

Таблица 63 Средний уровень отказов ИС для наиболее распространенных методов отбраковочных испытаний

Методы отбраковочных испытаний

Средний процент отбракованных ИС, %

 

 

Измерение электрических параметров

0,32

Термоциклирование

1,08

Тепловой удар

0,67

Выдержка при высокой температуре

0,04

Электротермотренировка

1,19-10,5

Проверка на герметичность

6,21

205

Рис. 25 Трещина на поверхности кристалла

Рис. 26 Металлизация на ступеньке окисла меньше нормы

206

Рис. 27 Грязь на поверхности кристалла

Рис. 28 Повторная приварка вывода

207

Рис. 29 Коррозионное разрушение металлизации

Таким образом, определившись с видами дополнительных ОИ, необходимо определится с режимами этих воздействий, не забывая об условии автомодельности механизмов отказов. Что касается проверки герметичности, испытания на наличие инородных частиц и РФА, то они с этим условием никак не связаны. Поэтому необходимо определить режимы термоциклирования и ЭТТ.

7.4МЕТОД АЛЬТЕРНАТИВНОЙ ПРОВЕРКИ ВЛИЯНИЯ ПОДКОРПУСНОЙ ВЛАГИ НА ИЗДЕЛИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

В составе РФА содержится испытание по контролю содержания паров воды внутри корпуса [79]. В стране на настоящее время насчитывается всего две установки, пригодные для этих работ. Загрузка их очень велика, поэтому существует задача разработки методики альтернативной проверки влияния подкорпусной влаги.

Наличие влаги в герметизированном корпусе, адсорбция ее на поверхности металлизации через поры и трещины в защитных покрытиях, а также наличие ионных загрязнений на поверхности кристалла способствуют возникновению коррозии металлизации. Наиболее опасными для алюминия являются ионы

208

натрия, калия и хлора. Применение фосфорсиликатного (ФСС) стекла с повышенным содержанием фосфора для защиты кристалла значительно увеличивает коррозию, так как фосфор, взаимодействуя с водой, образует фосфорную кислоту, которая усиливает коррозию металлизации. Снижение весовой концентрации фосфора до 5%, увеличивает среднюю наработку до отказа из-за коррозии более чем на три порядка [69]. По другим источникам [88] толщина ФСС 0,02 мкм достаточна для защиты от воздействия щелочных ионов. В [89] приведены требования к материалам примененным в конструкции многокристальных модулей (МКМ) и микросборок (МСБ) «Применяемые в конструкции изделий материалы должны обеспечивать допустимое содержание паров воды в подкорпусном объеме не более 0,6% по объему, что соответствует точке росы (ноль градусов Цельсия). При этом содержание свободных ионов коррозионноактивных химических элементов не должно превышать суммарно 200 ч. на млн. ч. по массе (ppm) для МБС и 20 ч. на млн. ч. по массе для МКМ, в том числе содержание ионов хлора и натрия не должно превышать норм, указанных ниже:

-МСБ: хлора не более 150 ppm, натрия – не более 20 ppm;

-МКМ: хлора не более 12 ppm, натрия – не более 5 ppm.

Выявляемая причина

Метод выявле-

Инструмент выявления

Принимаемое

 

ния

 

решение о соот-

 

 

 

ветствии требо-

 

 

 

ваниям

Грязь на поверхности

Внутренний

Оптический микроскоп

 

кристалла:

визуальный ос-

 

 

 

мотр

 

 

отсутствие

 

 

соответствует

наличие

спектральный

Растровый электронный

 

 

анализ

микроскоп с системой

 

 

 

микроанализа

 

 

 

отсутсвие коррозионно

соответствует

 

 

активных составляющих

 

 

 

наличие коррозионно ак-

несоответствует

 

 

тивных составляющих

 

Трещины в стекле

 

Оптический микроскоп

несоответствует

(пассивации)

 

 

 

Контроль содержания

< 3,5 вес % [82]

 

соответствует

фосфора в ФСС

 

 

 

209

7.5ПРОГНОЗИРОВАНИЕ НАДЕЖНОСТИ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ДЛЯ КОСМИЧЕСКОГО ПРИМЕНЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ ОТДЕЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ (СПЕЦПАРТИИ)

В практике проведения дополнительных ОИ ЭРИ, к сожалению, нередки случаи, когда бракуются целые партии. То есть, из изготавливаемых ЭРИ для военной техники, нечего выбрать для космического применения. Это происходит в первую очередь из–за того, что требования к технологическому процессу изготовления ниже, чем требования к ЭРИ космического применения [см. табл. 56]. Учитывая, что данное положение приводит к задержкам изготовления аппаратуры, КА и к неопределенности очередных испытаний новых партий, представляется целесообразным корректировка технологического процесса изготовления ЭРИ. Таким образом, необходим отдельный технологический маршрут изготовления ЭРИ для космического приборостроения. Принципиально в комплексе стандартов «Климат 7» [90] упомянуты ЭРИ категории качества «ОСД» - для ракетной и космической техники с длительным сроком функционирования, но требования к такой категории качества ЭРИ не определены и, соответственно, не изготавливаются ни одним заводом в России.

Идеологической основой для создания отдельных технологических маршрутов изготовления ЭРИ для космического приборостроения (изготовления спецпартий) могут служить данные, приведенные на рис. 22, 23, характеризующие дефектность изготовления ЭРИ конкретными заводами. Соглашения (решения) о создании спецпартий должны относиться к конкретному заводу и учитывать особенности технологического процесса. Пример такого решения приведен на рис.30. В данном решении предусмотрено два направления работ:

¾дополнительные мероприятия, выполняемые заводом-изготовителем;

¾дополнительные испытания, выполняемые потребителем ЭРИ.

210

211

Рис. 30 Пример фрагмента решения о создании спецпартий ЭРИ

212

Если с дополнительными мероприятиями завода-изготовителя все понятно, то зачем привлекать к процессу производства ЭРИ ИТЦ? Ответ очень прост. В состав дополнительных ОИ [91] включено проведение диагностического неразрушающего контроля, и оценка дрейфа параметров чего не делает ни один завод в России, поскольку такие требования отсутствуют в НТД на изготовление ЭРИ.