Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 17

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Материалы, используемые для изготовления элементов и компонентов МЭМС.

2. Методы сращивания полупроводниковых структур.

3. Микромеханика для решения аналитических, химических и биологических задач.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 18

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. LIGA технология.

2. Микромеханические сенсоры, основные элементы конструкций.

3. Технологический маршрут изготовления микрогироскопов.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 19

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Структура МЭМС. Номенклатура изготавливаемых приборов и устройств МЭМС.

2. Метод формирования структур besoi.

3. Микромеханика для телекоммуникационных систем.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 20

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Проводящие материалы для изготовления мэмс.

2. Технология изготовления структур КНС

3. Микромеханические гироскопы, основные конструктивные варианты. Принцип функционирования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./