Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 1

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Микромеханическая обработка. Объемная микрообработка. Поверхностная микрообработка.

2. Постановка задачи, технологические методы решения,

способы расчета и проектирования, способы изготовления, анализ и контроль.

3. Методы съема полезного сигнала.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 2

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. МЭМС определение, назначение, области применения, перспективы развития.

2. Метод формирования структур BESOI.

3. Микрозеркала, микрооптомеханические приборы.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 3

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Проводящие материалы для изготовления МЭМС.

2. Метод формирования структур КСДИ.

3. Микромеханические гироскопы, основные конструктивные варианты. Принцип функционирования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 4

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Полупроводниковые материалы для изготовления МЭМС.

2. Формирование составных островковых структур КНИ.

3. Микрокантилеверы и микрозонды.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./