- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 1
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 2
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 3
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 4
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 5
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 6
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 7
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 8
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 9
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 10
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 11
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 12
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 13
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 14
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 15
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 16
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 17
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 18
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 19
- •2. Метод формирования структур besoi.
- •Московский институт электронной техники
- •Экзаменационный билет № 20
- •1. Проводящие материалы для изготовления мэмс.
- •3. Микромеханические гироскопы, основные конструктивные варианты. Принцип функционирования.
Московский институт электронной техники
____________________________________________________________________
Экзаменационный билет № 13
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Материалы, используемые для изготовления элементов и компонентов МЭМС.
2. Технология изготовления многослойных структур. Определение, назначение.
3. Микромеханические актюаторы, назначение, основные элементы конструкций.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
Московский институт электронной техники
____________________________________________________________________
Экзаменационный билет № 14
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Диэлектрические материалы для изготовления МЭМС.
2. Метод формирования структур ZMR.
3. Основные параметры микромеханических датчиков.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
Московский институт электронной техники
____________________________________________________________________
Экзаменационный билет № 15
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Структура МЭМС. Номенклатура изготавливаемых приборов и устройств МЭМС.
2. Плазмохимическое травление. Электрохимическое травление.
3. Методы возбуждения механических перемещений.
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./
_________________________________________________________________________________
Московский институт электронной техники
____________________________________________________________________
Экзаменационный билет № 16
по курсу «Микроэлектромеханические системы»
_________________________________________________________
1. Кремний в МЭМС. Назначение, основные свойства.
2. Основные принципы разработки и проектирования МЭМС
3. Технологический маршрут изготовления датчиков давления
_________________________________________________________________
Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.
Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./