Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 5

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Микромеханика в технологии микроэлектроники. Микроэлектронные способы формирования элементов МЭМС.

2. Формирование структур методом газового скалывания. Формирование структур методом ELTRAN.

3. Технологический маршрут изготовления микроакселерометров.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 6

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Кремний в МЭМС. Назначение, основные свойства.

2. Методы формирования структур кремний на изоляторе.

3. Датчики давления, основные конструкции. Принципы функционирования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 7

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Многокомпонентные стекла в МЭМС. Назначение, основные свойства.

2. Формирование сложнопрофильного рисунка методом свободных масок.

3. Микроприводы, микрореле, микродвигатели

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 8

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. LIGA технология.

2. Технология изготовления структур КНС.

3. Корпусирование и сборка МЭМС. Основные требования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./