Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 9

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Основные методы изготовления элементов микромеханики, базовые технологические процессы.

2. Формирование защитных масок. Форма и ориентация на подложке маскирующих покрытий.

3. Микромеханические акселерометры, основные конструкции. Принцип функционирования.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 10

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Жидкостное химическое травление (анизотропное травление, изотропное травление).

2. Методы получения заданной толщины структуры КНИ.

3. Микромеханические фильтры, резонаторы, тактильные датчики.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 11

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Основные требования к материалам. Выбор материалов и технологии.

2. Структуры кремний на изоляторе. Определение, назначение, классификация, преимущества.

3. Микрозатворы, микромеханические переключатели.

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./

_________________________________________________________________________________

Московский институт электронной техники

____________________________________________________________________

Экзаменационный билет № 12

по курсу «Микроэлектромеханические системы»

_________________________________________________________

1. Методы формирования элементов со сложным профилем.

2. Метод формирования структур SIMOX.

3. Микрофлюидные чипы, микроструйные смесители, микронасосы, микродозаторы

_________________________________________________________________

Билет рассмотрен и утвержден на заседании кафедры “__14___”______декабря 2011 г.

Заведующий кафедрой ___________________/Тимошенков С.П./