- •Лабораторная работа № 5 Определение времени жизни неравновесных носителей заряда в полупроводниках методом модуляции проводимости точечного контакта
- •Цель работы
- •Общие сведения. Генерация, рекомбинация и захват носителей заряда.
- •Уравнение непрерывности. Время жизни.
- •Монополярная световая генерация. Максвелловское время релаксации
- •Механизмы рекомбинации
- •Механизмы перехода электрона из зоны проводимости в валентную зону
- •Механизмы передачи энергии рекомбинирующих частиц
- •Соотношений между различными видами рекомбинации
- •Рекомбинация через ловушки
- •Зависимость времени жизни от уровня легирования (низкий уровень инжекции)
- •Зависимость времени жизни от уровня инжекции
- •Температурная зависимость времени жизни
- •Метод модуляции проводимости точечного контакта
- •Экспериментальная часть
- •Подготовка к работе
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету о лабораторной работе.
- •Требования техники безопасности
- •Контрольные вопросы
- •Литература Основная литература.
- •Дополнительная литература.
Соотношений между различными видами рекомбинации
При наличии нескольких механизмов рекомбинации суммарное время жизни определяется по следующей формуле.
, |
(12) |
где i - время жизни при i-ом механизме рекомбинации.
Таким образом, при одновременном действии нескольких механизмов рекомбинации результирующее время жизни будет определяться наименьшим временем жизни, соответствующим наиболее вероятному механизму рекомбинации. Относительный вклад различных видов рекомбинации в значительной степени зависит от отношения ширины запрещенной зоны к тепловой энергии (кТ), глубины залегания и концентрации рекомбинационных центров, концентрации равновесных носителей заряда, температуры и внешних условий. Разработанная в настоящее время техника очистки полупроводниковых материалов не позволяет избежать преобладающего влияния рекомбинации на ловушках при Е>20 кТ (около 0,5 эВ при комнатной температуре). Прямая рекомбинация играет существенную роль в прямозонных полупроводниках с малой шириной запрещенной зоны и ее вероятность возрастает при повышении температуры.
Рекомбинация через ловушки
Теорию рекомбинации через ловушки разработали Шокли, Рид и Холл. Они исследовали простейшую модель полупроводника, который содержит примесь только одного сорта, дающую один рекомбинационный уровень Et в запрещенной зоне (рис.3). Рассмотрим эту теорию в предположении, что концентрация ловушек Nt мала. В этом случае можно считать, что n=р. Если Nt сравнимо с n и р то часть избыточных носителей захватывается ловушками, при этом n≠р и время жизни n≠p.
Рис.3. Переходы электронов и дырок при рекомбинации через ловушки; 1- захват электрона:2 - эмиссия электрона; 3- захват дырки: 4 ~ эмиссия дырки.
Скорость захвата rn электронов пропорциональна концентрации свободных электронов n и концентрации пустых ловушек Nt(1-ft).
, |
(13) |
где cn - коэффициент захвата электрона пустой ловушкой; ft - вероятность того, что ловушка занята электроном.
Скорость эмиссии электронов с ловушек обратно в зону проводимости пропорциональна концентрации электронов на ловушках.
, |
(14) |
где dn - коэффициент эмиссии электрона с ловушки.
В состоянии термодинамического равновесия rn0=gn0 и
, |
(15) |
где индекс «0» показывает, что значения n и ft – равновесные.
Предположим, что в равновесном состоянии ft0 совпадает с функцией распределения Ферми-Дирака
, |
(16) |
Для невырождеиного полупроводника
и . |
(17) |
Поэтому
, |
(18) |
Обозначим через концентрацию электронов в зоне проводимости, когда уровень Ферми совпадает с уровнем ловушки. Тогда
. |
(19) |
После термализации неравновесных носителей характер взаимодействия носителей с ловушками и тепловая генерация с ловушек не зависят от того, является данный электрон (дырка) равновесным или неравновесным.
В неравновесном состоянии результирующая скорость захвата электронов ловушками Rn=rn-gn будет равна
. |
(20) |
Результирующая скорость захвата дырок ловушками Rp=rp-gp вычисляется аналогично.
, |
(21) |
где - концентрация дырок в валентной зоне, когда уровень Ферми совпадает с уровнем ловушки.
В отсутствии процессов прилипания и захвата при рекомбинации неравновесных носителей парами имеем: Rn=Rn=R.
Это условие определяет функцию распределения ft которая отличается от равновесной функции распределения.
. |
(22) |
Подставив ft в выражение для Rn или Rp, получим скорость рекомбинации после выключения инжекции.
. |
(23) |
Поскольку n1p1=ni2, n=n0+n, p=p0+n, получим для малого уровня инжекции
, |
(20) |
Согласно определению времени жизни (3) и (4), находим
. |
(21) |
Обозначим
, . |
(22) |
Тогда время жизни пары электрон-дырка будет равно
. |
(23) |
Таким образом, время жизни зависит от сечения захвата и концентрации ловушек (через p0 и n0 ) концентрации легирующей примеси (через n0 и p0), положения уровня ловушек (через n1 и p1), уровня инжекции (через n) и температуры (через n1, p1, n0, p0).
Однако, строго говоря, концентрация незаполненных ловушек Nt при рекомбинации является переменной величиной и поэтому уравнение, описывающее рекомбинационный процесс становится нелинейным, так как Nt является функцией n(t).
. |
24) |
Изменение концентрации заполненных ловушек Ntf определяется следующим уравнением.
. |
(25) |
Для случая монополярной инжекции n=n0+n, а f=f0+f. Учитывая, что n0(1-f)- число захваченных электронов равно числу электронов n1f0, которые могут генерироваться с уровня Et, получим для уравнения (7а).
. |
(26) |
Учитывая, что Nf=n получим окончательно
, |
(27) |
где Nt0 =Nt(1-f0) - равновесная концентрация пустых ловушек, an - скорость захвата в единицу времени, а так как скорость рекомбинации rn=n/n, то, следовательно, коэффициент при n есть n-1.
Таким образом, при указанных условиях процесс релаксации имеет экспоненциальный характер, а главное - время релаксации n становится постоянной величиной.