Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

OFP-Tretyak-Lozovski

.pdf
Скачиваний:
64
Добавлен:
19.03.2015
Размер:
13.24 Mб
Скачать

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

302

напрямок вбудованого електричного поля у стані термодинамічної рівноваги в області NB > n.

5.Експеримент у схемі Хайнса–Шоклі проводиться за досить низького значення поля у зразку та за малої амплітуди імпульсу. Поясніть необхідність виконання цих умов.

6.За допомогою (11.38) покажіть, що повна концентрація інжектованих неосновних

носіїв, зареєстрована на колекторі, не залежить відвідстані між емітером і колектором (тобто від часу дрейфу), якщо знехтувати рекомбінацією.

Список літератури

1.Зеегер К. Физика полупровдников. – М.: Мир, 1977.

2.Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. – М.: Наука, 1990.

3.Смит Р. Полупроводники. – М.: Мир, 1982.

4.Sze S.M. Semiconductor devices: Physics and Technology. – J.Wiley & Sonc, 2002.

5.Chin-Tang San. Fundamentals of Solid State Electronics. – World Scientific, 1991.

Розділ 12 НЕСТІЙКОСТІ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

При розгляді дії електричного поля на напівпровідник ми обмежувались випадком слабких полів, коли зв'язок між струмом і напругою описувався законом Ома. Головною умовою виконання закону Ома була дія несильного електричного поля, за якої під час між двома зіткненнями електрон встигав би втратити енергію, набуту від зовнішнього поля. Дія сильного поля відбувається навпаки: на довжині вільного пробігу електрон набуває від поля енергії, яку не встигає передавати ґратці за рахунок зіткнень. У таких умовах вольт-амперні характеристики стають істотно нелінійними. Крім того, енергія електронного газу збільшується (електронна температура підвищується і відрізняється від температури ґратки): відбувається ефект розігріву електронів. Наявність електронів із високими значеннями енергії спричиняє виникнення суттєво нерівноважних станів, які можуть бути нестійкими. У цьому розділі ми розглянемо характерні риси поведінки напівпровідників і напівпровідникових структур за умов виникнення в них нестікостей.

12.1. Електропровідність напівпровідників

усильних електричних полях

При розгляді кінетичного рівняння ми вважали, що час релаксації не залежить від електричного поля. У цьому випадку для невиродж е- ного напівпровідника зі сферичними ізоенергетичними поверхнями густина струму підлягає закону Ома, тобто

J = σE,

(12.1)

де σ провідність у слабкому полі. Для аналізу можливого впливу зовнішнього електричного поля на електропровідність напівпровідника згадаємо, що

σ =

e2n < τ >

.

(12.2)

 

m*

 

Із (12.2) випливає, що:

Порушення закону Ома можуть викликати дві причини: зі

зміною поля змінюється час релаксації <τ> або концентра-

ція носіїв.

Поміркуємо про зміну часу релаксації у сильних полях. За ізотропного розсіювання час релаксації практично дорівнює часу вільного пробігу, оскільки швидкість направленого руху практично повністю зникає за

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

304

одне зіткнення. Але швидкість направленого руху залежить тільки від поля. Енергія, що передається електроном за одне зіткнення, складає малу частину повної енергії кристала

< ∆E > ≈

m*

E .

(12.3)

M

Дійсно, закон збереження імпульсу при зіткненні електрона із ґраткою дає m*ν=Mνph. Звідси швидкість руху іона після зіткнення νph = (m*/M)ν. Тоді енергія, передана ґратці за одноразового зіткнення електрона з іоном, E = Mνph2 /2= (m*/M )m*ν2/2= (m*/M )E .

Нехай відносний дефіцит енергії при зіткненні носія із ґраткою

β =

E ,

(12.4)

 

kT

 

тобто при зіткненні електрона із фононом енергія електрона змінюється на величину

E = βkT.

(12.5)

При розгляді процесів електропровідності у слабких полях ми вважали, що в процесі розсіювання електронів за їхнього руху в кристалі під дією електричного поля енергія електрона між двома актами зіткнень несильно змінюється (строго кажучи, не змінюється). Вважалось, що окремий акт взаємодії електрона з іоном при зіткненні є пружним. Процес розсіювання електронів за їхнього руху в кристалі під дією електричного поля буде пружним, якщо енергія, придбана електроном в електричному полі на довжині вільного пробігу, буде істотно меншою від енергії, яку втратив електрон у середньому за один акт зіткнення

еEl << βkT.

(12.6)

Це означає, що закон Ома є справедливим за умови, що електричне поле задовольняє нерівності

E << βkT .

(12.7)

el

 

У таких слабких полях розподіл швидкостей носіїв заряду залишається майже максвеллівським із температурою, що дорівнює температурі ґратки. За дії слабкого поля на хаотичний рух носіїв заряду накладається зумовлений полем їхній повільний дрейф, швидкість якого в цих умовах є значно меншою за їхню теплову швидкість

νd << νT.

(12.8)

Вище зазначалося, що в сильних електричних полях закон Ома порушується за рахунок того, що:

швидкість дрейфу носіїв стає порівнюваною з їхньою тепловою швидкістю, яка відбиватиметься на процесах розсіювання та викличе

305

Розділ 12. НЕСТІЙКОСТІ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

зміни часу релаксації, а це в свою чергу зміни рухливості. Із цим механізмом дії сильних електричних полів пов'язані ефекти розігріву електронно-діркового газу та ефект Ганна;

сильні електричні поля спроможні викликати зміни концентрації носіїв, що є причиною ефектів ударної іонізації, Зінера та електростатичної іонізації.

У сильних електричних полях, коли нерівність (12.7) не виконується, носії заряду при зіткненні із фононами не встигають віддавати кристалічній ґратці енергію, набуту ними в полі за час між зіткненнями. У результаті середня енергія носіїв збільшується та електронно-дірковий газ розігрівається.

З іншого боку, зростання енергії носіїв у першу чергу означає зростання їх середньої швидкості, що зменшує час вільного пробігу, тобто збільшується ймовірність розсіювання носіїв на теплових коливаннях ґратки. Завдяки цьому зростання енергії носіїв зі збільшенням напруженості поля буде уповільнюватись, доки електрон-фононна взаємодія не підсилиться до такого ступеня, що в кристалі встановиться стаціонарний стан балансу енергії, яку отримують носії у полі, та енергії, якої вони позбавляються внаслідок зіткнень із ґраткою. Енергія, яку за одиницю часу отримує носій від поля, дорівнює еЕνd. Вона у

рівновазі дорівнюватиме енергії, яку електрон віддає ґратці за одиницю часу через зіткнення із фононами β(кТ)/τ, тобто

eEν

d

= βkT .

(12.9)

 

τ

 

За розсіювання на теплових коливаннях ґратки довжина вільного пробігу l не залежить від енергії. Отже часом вільного пробігу є τ = l/νT. У такому разі із (12.9) випливає, що дрейфовою швидкістю носіїв є

ν = β

kTνT

.

(12.10)

d eEl

З іншого боку, дрейфова швидкість пов'язана із полем співвідношенням

v

=

eτ

E =

el

E .

(12.11)

d

m*

 

m*v

 

 

Ці рівняння дозволяють записати

 

T

 

 

 

 

 

 

(eEl)2 =2kTβm*νT2/2.

(12.12)

Оскільки кінетична енергія m*νT2/2 у середньому дорівнює kT, то із

(12.12) знаходимо, що критична напруженість поля, за якої починається розігрів електронного газу, дорівнює

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

 

 

306

Ecr = kT

 

.

(12.13)

2β

el

 

 

 

Після підстановки напруженості критичного поля до (12.10) отримаємо, що розігрів електронного газу відбуватиметься тоді, коли швидкість, якої носії заряду набувають у зовнішньому полі,

νd =

β/2

νT ,

(12.14)

тобто стає порівнюваною із тепловою швидкістю носіїв. Із (12.12) можна визначити енергію носіїв заряду через теплову швидкість

 

 

*

2

2

2

 

 

 

m νT

 

=

(eEl)

,

(12.15)

 

 

2

 

 

 

 

 

2β

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

звідки можна знайти

ν

T

=

 

 

2eEl

.

 

(12.16)

 

 

 

 

m*(2β)1/2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Підставляючи це значення до (12.14), маємо

 

 

 

 

vd = A

 

,

 

 

 

 

 

E

 

(12.17)

де константа A = (el/m* )β/2 залежить як від ефективної маси, так і

від параметрів процесу розсіювання: довжини вільного пробігу та енергії, що передається під час одиничного акту зіткнення. Таким чином, отримуємо, що в сильних електричних полях, коли

E > Ecr = kT

 

,

(12.18)

2β

el

 

 

 

дрейфова швидкість носіїв збільшується пропорційно кореню квадратному з електричного поля

νd

E

.

(12.19)

Відповідно й час релаксації зменшуватиметься (оскільки, згідно із

(12.16), νT E )

 

l

 

 

 

 

τ =

1/

E .

(12.20)

νd +νT

 

 

 

 

 

Разом із ним зменшуватимуться рухливість і провідність

µ

=

eτ

= µ /

 

,

σ = enµ

= σ /

 

.

 

E

E

(12.21)

 

n

m* 0

n

0

 

 

 

 

 

 

 

 

Обчислення залежності рухливості від поля за розсіювання носіїв на коливаннях ґратки виконав Шоклі та в результаті отримав формулу

µ(E )= µ0

 

 

 

 

 

2

 

 

,

(12.21)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

+

1+(3π/8)(µ0E/cS )2

 

 

 

307

Розділ 12. НЕСТІЙКОСТІ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

де cS швидкість звука, µ0 рухливість у слабкому полі. Для кремнію

cS = 7 105 /с. У полях порядку 5

103 В/cм електрони набувають

швидкості cS. За зростання поля до величин Е >> cS/µ0 (12.21) дає

 

 

4

 

 

cS

1/2

µ µ0

 

 

 

.

 

 

 

µ0E

 

 

 

 

Таким чином, за напруженості зовнішнього поля, більшої від критичної, закон Ома не виконується, а зв'язок між густиною струму та полем має вигляд

J = σ0

E

.

(12.22)

Наприклад, у германії відхилення від закону Ома спостерігається за кімнатних температур уже в полях із напруженістю ~ 700 В/см.

За подальшого зростання напруженості поля енергія носіїв збільшується настільки, що стає можливою їхня взаємодія з оптичними коливаннями ґратки. Оптичні фонони характеризуються більшою енергією за акустичні, і процеси розсіювання на оптичних фононах є для електронів більш енергоємними. Іншими словами, при зіткненні з

оптичним фононом енергія носія може змінюватись на величину ω0 0 частота оптичного фонона), і таким чином швидкість втрат енергії збільшується. У результаті через деякий час встановлюється новий стаціонарний стан, за якого енергія еЕνd, набута носієм у полі за

одиницю часу, дорівнює енергії ∆W/τ, яку він втрачає за той самий час при розсіюванні на оптичному фононі

eEvd = Wτ .

(12.23)

З іншого боку, енергією, яку втрачає носій за одиничний акт зіткнення з оптичним фононом, є (див. додаток E)

 

W = ω0th( ω0/2kT ),

(12.24)

звідки

eEv

d

=

ν0

ω th( ω /2kT ).

(12.25)

 

 

 

 

l

0

0

 

 

 

 

 

 

 

 

Оскільки із співвідношень νd = µE = (eτ/m* )E = (el/m*ν0 )E випливає, що

E = (m*ν ν

d

/el) , то після підстановки

цього значення поля до

(12.25)

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

отримаємо для дрейфової швидкості носіїв заряду

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ω

 

 

ω

 

 

 

 

νd =

0

 

th

0

.

(12.26)

 

 

m*

 

2kT

Оскільки величина th( ω0/2kT) при зростанні ω0 швидко наближається

до одиниці, то можна визначити граничне значення дрейфової швидкості як

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

308

 

 

 

 

 

ν

c

=

ω /m*

,

(12.27)

 

 

0

 

 

тобто густина струму наближатиметься до насичення, значення якого дорівнює

Jc = enνc

(12.28)

і не залежить від напруженості поля. Інакше кажучи, при досягненні зовнішнім полем величини

 

ν

0

 

ω

1/2

 

Ec =

 

m* ω0th

0

 

(12.29)

 

el

 

2kT

 

настає насичення струму, отже і дрейфової швидкості. У ковалентних кристалах ці ефекти відбуваються в полях 104 В/cм. При цьому швидкість дрейфу носіїв досягає значень 107 /с. Зазначимо, що в

іонних напівпровідниках

за

J (A/см2)

 

 

 

 

 

 

умов дії дуже сильних електрич-

 

 

 

 

 

 

них полів

ефекту насиченості

10

3

 

 

 

 

 

 

 

 

струму не відбувається; навпа-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~ E0

ки, при зростанні поля зростає

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~

 

E

 

 

 

дрейфова

швидкість носіїв

і

 

 

 

 

 

 

 

102

 

 

 

 

 

 

 

 

відбувається так званий ефект

 

 

 

 

 

 

 

 

"втечі носіїв". Вольт-амперну

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

характеристику в об'ємному

 

 

 

Oм: ~ E1

 

 

 

E (В/cм)

зразку n-Ge, що вимірювалась

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

102

103

104

 

 

за температури T = 77 K у ш и-

 

 

 

 

 

 

Рис. 12.1. Залежність

рокому інтервалі полів, подано

 

 

 

 

електропровідності напівпровідника

на рис. 12.1.

 

 

 

 

 

 

 

від величини електричного поля

12.2. Електронна температура

Розглянемо як приклад електронний напівпровідник. Нехай τее середній час між зіткненнями електронів. Оскільки їх ефективні маси однакові, то при зіткненнях електрони обмінюються як енергією, так й імпульсом. Іншими словами, τее характеризує швидкість таких процесів

обміну. Введемо характерні часи обміну енергією τЕ та обміну імпульсу

τg при зіткненнях електронів із ґраткою. Тоді можна записати три граничних випадки співвідношень між цими характерними часами:

τее << τg << τE,

(12.30)

τg ≤ τее << τE,

(12.31)

τg ≤ τE << τее,

(12.32)

309

Розділ 12. НЕСТІЙКОСТІ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

У першому випадку електрони встигають багаторазово обмінятись енергією та імпульсом, доки у цих процесах більш-менш помітну роль почнуть відігравати ґратка та дефекти. У другому випадку електрони встигають багаторазово обмінятись енергією, при цьому обмін імпульсом відбувається за активної участі ґратки та дефектів. У третьому випадку розсіювання носіїв один на одному є найповільнішим процесом і ним можна нехтувати усі процеси релаксації відбуваються при розсіюванні носіїв на ґратці та дефектах.

У випадку (12.30) електронний газ можна розглядати як окрему термодинамічну підсистему, що слабко взаємодіє із ґраткою. За рахунок зіткнень між електронами в електронній підсистемі швидко встановлюється рівновага за енергіями та імпульсами термодинамічна рівновага. Це означає, що електронну підсистему можна описати деякою температурою Te (що називається електронною температурою),

яка взагалі відрізняється від температури ґратки Т. У цьому випадку вся електронна підсистема може характеризуватися швидкістю νd, з

якою електрони як ціле рухаються щодо ґратки. Це є повним аналогом руху рідини в ємності. Тому таке наближення часто називається гідродинамічним. Електронну температуру можна однозначно визначити із рівняння балансу енергії. Її можна ввести й у випадку (12.31). Це є так званим квазігідродинамічним наближенням.

Варто зазначити, що у власних або слабко легованих напівпровідниках, де концентрація вільних носіїв є невеликою, але спостерігається ефект розігріву електронного газу, в основному виконується умова (12.31). Стохастизація руху електронів відбувається шляхом його ізотропізації відбувається релаксація імпульсу за умови збереження електронним газом високої середньої енергії.

Розглянемо схему визначення електронної температури у випадку виконання умов (12.30) і (12.31). Функція розподілу електронів має зале-

жати від температури Te, швидкості νd та обертати в нуль інтеграл зіткнень. При νd = 0 це була б функція Фермі із заміною Т на Те. За

переходу до рухомої системи координат, де електронний газ є нерухомим, знов маємо отримати функцію розподілу Фермі із заміною Т на Те. Тоді за наступного переходу до системи координат, пов'язаної із

кристалом, необхідно зробити заміну v v vd і записати функцію розподілу у вигляді

 

E(vvd )−EF

1

 

f (q)= e

kTe

+1 .

(12.33)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для невиродженого газу електронів

E(vvd )−EF

 

 

f (q)= e

kTe

.

(12.34)

 

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

310

Якщо дрейфова швидкість руху електронів є малою порівняно із х

а-

рактерною тепловою швидкістю носіїв

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

νT

 

=

 

kTe

 

 

,

 

 

 

(12.35)

 

*

 

 

 

 

e

 

 

m

 

 

 

 

 

 

 

то функцію розподілу (12.34) можна розкласти у ряд та отримати

 

 

E(v)−E

F

 

vd vE

 

E(v)−EF

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

f (q)= fs + fa = e

 

 

kT

 

 

+

 

 

e

 

e .

(12.36)

 

 

 

 

 

kTe

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Перший доданок тут є симетричною функцією щодо зміни знаку і

м-

пульсу, тобто fs (−q)= fs (q), а другий антисиметричною:

fa (−q)= −fa (q).

В умовах квазірівноваги fs перетворюється на рівноважну функцію розподілу, а fa на малу поправку f1. Якщо функцію розподілу відомо,

то можна задати модель, в якій розраховуються часи релаксаціїτЕ та τg,

адалі використати умови балансу енергії та отримати рівняння щодо

Те. У випадку розігріву носіїв характерні часи розсіювання імпульсу τg

та енергії τЕ будуть функціями електричного поля та електронної температури Те. Тоді провідність напівпровідника також буде функцією

електронної температури. У стаціонарному випадку питома потужність, яку електронний газ отримує від поля, з одного боку дорівнює джоулевій потужності P = j E, а з іншого питомій потужності, яку електронний газ передає ґратці Р(Те)

σ(T )E2

= P(T ).

(12.37)

e

e

 

Оскільки від електронної температури залежить час релаксації, то можна визначити залежність провідності від електронної температури як

σ(T

)= ne2

τ

(T

)= enµ.

(12.38)

e

m*

q

e

 

 

Енергія, яку в одиницю часу втрачає електронна підсистема (потужність, яку електрони передають ґратці),

Te T

,

(12.39)

P(Te )=nce τ

 

(T )

 

E

e

 

 

де ce теплоємність електронного газу. Тоді, використовуючи умови

балансу енергії (12.37), отримаємо рівняння для визначення електронної температури

 

e2

2

T T

 

 

 

 

 

e

 

).

 

 

 

τq(Te ) E

 

=ce τ

 

(T

(12.40)

m*

 

 

 

 

 

 

 

E

e

 

 

Із цього рівняння, застосовуючи ті чи інші моделі для визначення часів релаксації τЕ (Те) і τq(Те), можна знайти електронну температуру як функцію прикладеного зовнішнього електричного поля Е.

311

Розділ 12. НЕСТІЙКОСТІ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

12.3. Диференціальна провідність. N- та S-подібні вольт-амперні характеристики

Загалом існують три різних типи нелінійної поведінки J(E). Нехай густина струму та електричне поле, що діє на напівпровідник, пов'я- зані матеріальним співвідношенням

J = σdE.

(12.41)

Тоді диференціальну провідність σd можна визначити як похідну

σ = dJ .

(12.42)

d dE

Лінійна залежність (12.41) не означає, що провідність середовища не залежить від поля. Вона свідчить, що диференціальна провідність, яка визначає зв'язок між малими приростами повних значень струму dJ і поля dE, є константою, незалежною від амплітуди приросту. Узагалі у будь-якому кристалічному матеріалі диференціальна провідність є тензором і замість (12.41) маємо записати

dJ

 

 

σ(xxd )

σ(xyd )

σ(xzd )

dE

 

 

x

 

(d )

(d )

(d )

 

 

x

dJy

=

σyx

σyy

σyz

 

dEy

 

 

 

(d )

(d )

(d )

 

 

 

 

 

dJz

 

σzx

σzy

σzz

 

dEz

так, що

σ(d ) = dJi .

 

ij

dEj

 

 

(12.43)

(12.44)

Але у більшості випадків доводиться мати справу з кристалами кубічної симетрії, де тензор (12.44) є діагональним. З іншого боку, часто апелюють до усереднених значень провідності, і розгляд скалярного зв'язку може бути достатнім.

Перший тип нелінійної поведінки характеризується позитивним значенням диференціальної провідності

σ = dJ > 0 .

(12.45)

d dE

При цьому, якщо зростання струму відбувається швидше за лінійне, то йдеться про суперлінійну характеристику. Якщо струм зростає повільніше за лінійний закон, то характеристика називається сублінійною. Іноді диференційну провідність записують у вигляді

σ = σ+Edσ ,

(12.46)

d dE

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]