Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

OFP-Tretyak-Lozovski

.pdf
Скачиваний:
64
Добавлен:
19.03.2015
Размер:
13.24 Mб
Скачать

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

292

Якщо зовнішнє електричне поле відсутнє, то струм забезпечується тільки дифузією надлишкових дірок, і концентрація неосновних носіїв заряду змінюватиметься з відстанню за законом

 

e

(x+l )/LD

,

x ≤ −l

 

 

 

 

,

(11.74)

δp = δp(0)

ex/LD , x ≥ 0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тобто експоненціальний спад концентрації неосновних носіїв заряду буде симетричним з обох боків освітленої області та визначатиметься величиною (pис. 11.7 б)

LDp =

 

.

(11.75)

τpDp

Для напівпровідника p-типу неосновними носіями будуть електрони, спад концентрації яких визначатиметься дифузійною довжиною

Le

=

 

,

(11.76)

τ D

D

 

e e

 

яка може досягати значень ~ 10–1 cм, що набагато перевищує довжину екранування основних носіїв.

Eext

δp

L1

 

L2

0

 

 

x

 

–l

0

 

 

а

Рис. 11.7. Розподіл концентрації

δp

LDp

LDp

 

 

0

 

x

 

–l

 

0

б

надлишкових носіїв уздовж зразка:

а– під дією зовнішнього електричного поля; б – за його відсутності

11.6. Дифузія неосновних носіїв заряду

велектричному полі

Раніше ми з'ясували, що за відс утності зовнішнього електричного поля концентрація надлишкових неосновних носіїв заряду зменшується симетрично по обидва боки від освітленої області зразка. Зро-

293

Розділ 11. ДИФУЗІЯ ТА ДРЕЙФ НОСІЇВ ЗАРЯДУ

зуміло, що наявність зовнішнього поля призведе до порушення такої симетрії. При визначенні поведінки концентрації надлишкових неосновних носіїв заряду ми припускали, що локальне поле, яке діє на носії, не відрізняється від зовнішнього. У реальних ситуаціях локальне поле відрізняється від зовнішнього. Особливо ця різниця виявляється у випадку, коли лінійні розміри частинки в напрямку зміни поля порівнянні із характерними масштабами зміни локального поля. Оскільки зміни локального поля у просторі зумовлені дрейфом надлишкових носіїв заряду і відбуваються на масштабах порядку LD, то для нехт у- вання дією поля, обумовленого наявністю неоднорідного розподілу носіїв, лінійний розмір зразка вздовж напрямку зовнішнього поля має бути набагато більшим за LD. Ясно, що використане припущення також виконуватиметься у випадку сильного зовнішнього поля. Припустимо: зовнішнє поле настільки велике, що LE > 2LD. Тоді, якщо вектор Е направлений вздовж вісі OX,

L1

=

 

2L2D

< LD < L2 =

 

2L2D

.

(11.77)

 

 

 

 

 

 

L2E + 4L2D + LE

L2E + 4L2D LE

 

 

 

 

 

 

 

Це означає, що наявність зовнішнього поля приводить до різної величини довжини затягування носіїв до неосвітлених областей довжина затягування в напрямку вздовж поля L2 (до неосвітленої області x > 0) є більшою за довжину затягування у протилежному напрямку L1 (до

неосвітленої області x < l ). Ясно, що зміна напрямку вектора зовн і- шнього поля надасть протилежний результат величина L1 буде більшою за L2. Визначимо довжини затягування L1 та L2 у випадку

сильного зовнішнього поля, яке направлено вздовж вісі OX. В області x > 0 за умови LE >> LD маємо (β = 2LD/LE << 1)

L2 =

 

LDβ

 

LDβ

= LE

(11.78)

 

 

 

12 −1

2

 

довжину затягування, що дорівнює дрейфовій довжині. Тоді розподіл надлишкової концентрації неосновних носіїв

δp = δp(0)ex/(τpµpEext ).

(11.79)

Тобто так само, як й у випадку винятково дифузійного руху носіїв надлишкова концентрація неосновних носіїв спадає з відстанню від освітленої області експоненційно, але вже зі сталою спадання LE. По-

рівнювання (11.79) та (11.74) свідчить, що в неосвітленій області x > 0 при L2E >> 4L2D (в умовах дії на напівпровідник сильного зовнішнього елек-

тричного поля) надлишкова концентрація неосновних носіїв є істотно більшою, ніж за відсутності зовнішнього поля. Таким чином, при про-

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

294

ходженні струму, обумовленого сильним електричним полем, надлишкові дірки в напівпровіднику n-типу затягуються до області x > 0, і напівпровідник локально збагачується неосновними носіями заряду в істотно більшій кількості, ніж за наявності тільки дифузії, коли Eext = 0

(pис. 11.8 а). У такому випадку кажуть, що відбувається інжекція неосновних носіїв заряду, підкреслюючи при цьому збільшення концентрації неосновних носіїв під дією електричного поля. Зрозуміло, що для

напівпровідникового зразка p-типу інжекція в область x > 0 відбува-

тиметься при Eext < 0.

В області x < l в умовах дії на зразок сильного електричного поля, що направлене вздовж вісі OX (Eext > 0), довжина затягування

L =

 

LDβ

 

LDβ

=

L2D ,

(11.80)

 

 

 

 

 

1

12

+1

2+β2/2

 

LE

 

а концентрація неосновних носіїв заряду визначається формулою

 

δp = δp(0)e(x+l )L2D/LE ,

 

(11.81)

тобто дія зовнішнього електричного поля викликає збіднення неос-

новними носіями напівпровідника в області x < l. Це явище нази-

вається ексклюзією неосновних носіїв заряду. Для напівпровідника p-типу таке явище в області x< l спостерігатиметься за умови, що поле направлене проти напрямку вісі OX, тобто при Eext < 0.

Зміна напрямку дії зовнішнього поля приведе до того, що в неосв і- тленій області зразка x > 0 спостерігатиметься зменшення концентрації

надлишкових носіїв (явище екстракції), а в області x < l навпаки, збільшення концентрації надлишкових носіїв заряду, тобто акумуля-

ція (pис. 11.8 б).

Eext Eext

J

 

J

 

 

δp

Est > 0

δp

 

Est < 0

 

 

 

l

x

l

0

x

0

 

а б

Рис. 11.8. Розподіл концентрації надлишкових носіїв заряду у напівпровіднику

n-типу під дією зовнішнього електричного поля: а – явище інжекції; б – явище екстракції та акумуляції

295

Розділ 11. ДИФУЗІЯ ТА ДРЕЙФ НОСІЇВ ЗАРЯДУ

11.7. Дрейф неосновних надлишкових носіїв заряду

Раніше ми розглядали схему експерименту ХайнсаШоклі, в якому вивчались особливості дифузійно-дрейфового руху неосновних носіїв за їхньої інжекції через випрямляючий контакт. Тепер розглянемо особливості дифузійно-дрейфового руху неосновних носіїв за їхньої інжекції за допомогою освітлювання зразка, наприклад рух хмари неосновних надлишкових носіїв заряду (для напівпровідника n-типу це дірки) під дією зовнішнього електричного поля. Для цього припустимо, що видовжений зразок напівпровідника освітлюється так, що

коли в момент часу t = 0 освітлення вимикається, у вузькій області із центром у точці x = 0 хмара неосновних носіїв має гауссову форму розподілу

δp =Ce

x2/x02

(11.82)

 

із напівшириною x0. У момент вимкнення освітлення до зразка було прикладене електричне поле Eext. Тоді завдяки двом типам руху (ди-

фузії і дрейфу) первісна діркова хмара розпливатиметься, одночасно зсуваючись уздовж зразка в напрямку дії електричного поля (рис. 11.9). Рівняння руху розподілу дірок у хмарі має такий вигляд (вимкнене освітлення означає відсутність процесів генерації, G = 0)

∂δp

Dp

2δ2p

+

δp pEext

∂δp

= 0 .

(11.83)

t

 

x

 

τp

t

 

 

Eext

δp

 

δp

 

0

x

0

x

 

 

а

 

б

 

Рис. 11.9. Дифузія і дрейф хмари дірок. Розподіл концентрації надлишкових дірок:

а– у момент часуt = 0 (вимкнено освітлення та ввімкнено електричне поле);

б– у момент часуt 0

Введемо позначення

t0 = x02/4Dp ,

(11.84)

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

296

і перейдемо до нової змінної t′ = t +t0 .

(11.85)

При цьому величина δp визначатиметься рівнянням, що формально збігається із (11.83) із заміною t на t'. Розв'язок отриманого рівняння шукаємо у вигляді

 

 

δp = ϕ(x,t′)et/τp .

 

 

(11.86)

Підставимо цей розв'язок до рівняння та отримуємо

 

∂ϕ(x,

t)

p

E

ext

∂ϕ(x,

t)D

p

2ϕ(x , t

)= 0 .

(11.87)

t

x

 

 

 

 

x2

 

Наступним кроком пошуку залежності щільності розподілу дірок від координати та часу буде введення нової змінної x' = x − µpEextt'. При

цьому варто пам'ятати, що диференціювання за t' приведе до появи похідної за координатою

)

,t

)−µpEext

).

 

∂ϕ(x ,t

 

∂ϕ(x

 

∂ϕ(x ,t

 

(11.88)

t

 

 

t

 

 

x

 

 

 

Підставляючи похідну (11.88) до (11.87), отримаємо рівняння

∂ϕ(x,t′)

D

2ϕ(x ,t)

= 0 .

(11.89)

t

 

p x2

 

 

 

Із курсу математичної фізики відомо, що подібне рівняння зустрічається в теорії теплопровідності й має розв'язок у вигляді

 

C

x2/(4Dpt′).

ϕ(x ,t

 

)=

 

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

t

 

Таким чином, у змінних x' – t' розв'язок (11.7.2) можна записати як

 

C

 

x2

t

 

 

4Dpt

 

τp

.

δp =

 

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

 

 

 

 

 

(11.90)

(11.91)

Для визначення нормуючого коефіцієнта С вважатимемо відомою повну кількість неосновних носіїв заряду у хмарі в момент вимкнення освітлення: нехай вона дорівнює Pc. Тоді, інтегруючи концентрацію

(11.91) за x від −∞ до +∞ за відсутності процесів рекомбінації (що можна робити) та враховуючи великі розміри зразка вздовж всі OX і швидке спадання δp зі зростанням |x|, маємо

 

C

dζ e−ζ2/(4Dpt) = P .

(11.92)

 

 

 

 

 

t

−∞

c

 

 

 

 

 

 

Звідси, беручи до уваги, що

dζ e−ζ2/(4Dpt) =

 

, отримуємо

 

4πDpt

 

 

 

 

 

−∞

 

 

 

 

297

Розділ 11. ДИФУЗІЯ ТА ДРЕЙФ НОСІЇВ ЗАРЯДУ

 

 

 

Pc

.

(11.93)

 

C =

 

 

4πDp

 

 

 

Таким чином, профіль концентрації хмари неосновних носіїв в умовах дії зовнішнього поля змінюватиметься за законом

 

 

P

 

 

 

 

2

 

t +t

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(x −µpEext (t +t0 ))

 

0

 

,

 

δp(x,t )=

 

 

c

 

 

exp −

 

 

 

(11.94)

 

 

 

 

 

4Dp (t +t0 )

τp

 

 

 

D

p

(t +t

0

)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тобто хмара рухається у напрямку електричного поля зі швидкістю µpEext, поширюючись при цьому пропорційно кореню квадратному із

часу, а її щільність зменшується як exp(t/τp). За допомогою вимірювання зміни параметрів профілю хмари можна отримати величину рухливості µp, яка називається амбіполярною дрейфовою рухливістю.

Для електронного (n >> p) або діркового (n << p) напівпровідника ця рухливість збігається із рухливістю дірок або електронів, відповідно, тобто із рухливістю неосновних носіїв заряду. Але для власного або добре компенсованого напівпровідника (коли n p) виникає інша ситуація, яку розглянемо далі.

11.8. Дифузія та дрейф носіїв заряду

внапівпровідниках із провідністю, близькою до власної

Обговорюючи особливості процесу руху носіїв заряду в неоднорідних напівпровідниках, ми свідомо обмежувались розглядом домішкових напівпровідників, де для концентрації носіїв заряду виконувались умови n >> p або p >> n. При цьому надлишкові концентрації як основних, так і неосновних носіїв вважалися однаковими, тобто всюди використовувалася умова δn = δp. Крім того, у рівняннях нехтувалось доданком, пропорційним ∂Е/х. Для з'ясування фізичного сенсу цих умов вважатимемо, що генерація носіїв заряду відбувається так, що δn δp ≠ 0. Тоді різниця концентрації нерівноважних надлишкових носіїв пропорційна локальній густині заряду, що утворився завдяки процесам дифузії, а рівняння Пуассона запишеться як

divE =

e

n −δp).

(11.95)

 

ε

 

 

Тепер запишемо одновимірні рівняння неперервності, зберігаючи доданки, пропорційні похідній електричного поля за координатою,

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

298

 

∂δp

= −

δp +Dp

2δ2p

−µp p

E

−µpE

∂δp ,

 

(11.96)

 

 

t

 

τp

 

x

 

 

 

 

 

x

 

x

 

 

 

 

∂δn

 

δn

 

2δn

 

 

 

E

 

∂δn

 

 

 

 

 

t

= −

τ +Dn

x2

−µn p

x

−µnE

x .

 

(11.97)

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Зважаючи на (11.95), перепишемо рівняння неперервності у вигляді

∂δp

= −

δp

+Dp

2δp

+

 

4πσp

 

(∂n −δp)−µpE

∂δp

,

(11.98)

t

 

τp

x

2

 

 

ε

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

∂δn

 

 

δn

 

2δn

 

4πσ

 

 

 

 

∂δn

 

 

t

 

= −

τ

+Dn x2

+

 

 

ε n

(∂n −δp)−µnE

x .

(11.99)

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

У цих рівняннях різницю δn

δp можна вважати незначною. Але

оскільки коефіцієнти перед такими дужками є великими, то доданками, пропорційними (δn δp), не можна нехтувати. Цей факт і означає, що нехтування роллю об'ємного заряду (тобто використання рівності δn = δp) стає неможливим. Зокрема, це може відбуватися у випадку, коли концентрація електронів і дірок в напівпровіднику складають величини одного порядку. Тоді як змінюється надлишкова концентрація нерівноважних носіїв у часі та просторі (розв'язок рівнянь (11.98) та (11.99)) в умовах, коли концентрації носіїв приблизно однакові? Бажано виключити з них доданки, пропорційні (δn δp), за допомогою множення першого з рівнянь на σn, а другого на σp і додавання одного отриманого рівняння до другого. Унаслідок матимемо

σ ∂δp

+ σ

∂δn

 

σ

δp + σ

δn

 

+

 

σ D

2

δp

+ σ

D

2

δn

+

= −

 

n t

 

p t

 

 

n

τ

p

 

p τ

 

 

 

 

n

p x2

 

p n x2

 

(11.100)

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+ σ

µ

E

∂δn

−σ µ

 

 

E

∂δp .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

n

 

x

 

n

 

p

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

За подальшого аналізу рівняння вже можна використати той факт, що надлишкові концентрації нерівноважних електронів і дірок майже дорівнюють одна одній, тобто δn = δp. Крім того, вважатимемо, що й похідні ∂δp/t і ∂δn/t дорівнюють одна одній. Останнє твердження тягне за собою дуже важливий наслідок: рів ність часів рекомбінації електронів і дірок. Дійсно, розглянемо процеси генерації і рекомбінації носіїв за відсутності пасток і невеликих концентрацій носіїв. Це означає, що генераційно-рекомбінаційні процеси відбуваються тільки за механізмом зоназона, тобто електрони та дірки генеруються й рекомбінують парами. Тоді за відсутності зовнішніх впливів кінетику генераційно-рекомбінаційних процесів можна описати рівняннями

299

Розділ 11. ДИФУЗІЯ ТА ДРЕЙФ НОСІЇВ ЗАРЯДУ

dδp

=G

 

 

p

 

= −

δp ,

(11.101)

dt

 

0

 

τ′p

 

 

τp

 

 

dδn

=G0

 

n

 

= −

δn

.

(11.102)

dt

 

 

τn

 

 

 

 

τn

 

 

 

 

Звідси за умови ∂δp/dt = ∂δn/dt і δp = δn отримуємо τp = τn. Зважаючи на ці міркування, отримаємо із (11.100)

∂δn

δp

+(σnDp + σpDn )

2δp

−(σnµ −σpμn )E

∂δp

. (11.103)

n + σp ) t = −(σn + σp )

τp

x2

x

Введемо два коефіцієнти:

 

σnDp + σpDn

 

 

 

 

амбіполярної дифузії

 

D =

;

 

 

(11.104)

 

 

 

σn + σp

 

 

 

 

 

 

амбіполярної дрейфової рухливості

 

 

 

 

 

 

 

 

 

µ =

σnµp −σpµn

.

 

 

(11.105)

 

 

 

σ

+ σ

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

Поділимо обидві частини (11.103) на σn + σp і, використовуючи визначення

(11.8.10–10.8.11), знайдемо рівняння, якому підпорядкований рух хмари нерівноважних дірок у сильно компенсованому напівпровіднику

∂δn

 

δp

 

2δp

 

∂δp

 

t

= −

τp

+D

x2

−µE

x .

(11.106)

Порівнювання отриманого рівняння із (11.83) переконує, що обидва вони збігаються із точністю до позначень. Таким чином, можна стверджу-

вати, що в умовах, коли n p, рух нерівноважних носіїв заряду відбувається за повною аналогією із випадком для напівпровідника n-типу: під дією зовнішнього електричного поля хмара нерівноважних носіїв заряду рухається вздовж напрямку дії поля зі швидкістю νa = µE, роз-

пливаючись у просторі пропорційно кореню квадратному з часу, а її щільність зменшується як exp(t/τp).

Оскільки використання сильно компенсованих напівпровідників і напівпровідників із майже власною провідністю має практичне застосування, розглянемо структуру коефіцієнта амбіполярної дифузії детальніше. По-перше, (11.104) зручно записувати через рухливості носіїв

D =

nµnDp + pµpDn

,

(11.107)

 

nµn + pµp

 

 

 

 

 

або, скориставшись співвідношенням Ейнштейна,

 

 

 

n

 

p

 

1

 

D = (n + p)

 

+

 

 

 

.

(11.108)

 

D

 

D

 

 

 

 

 

 

n

 

 

p

 

ОСНОВИ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ

300

Звідси видно, що у випадку, коли n p, коефіцієнт амбіполярної дифузії визначається дифузією тих носіїв, коефіцієнт дифузії яких менший. Оскільки зазвичай у напівпровідниках рухливість дірок менша за рухливість електронів, то D визначатиметься коефіцієнтом дифузії дірок.

Для визначення фізичного сенсу амбіполярної рухливості (11.105) припустимо, що маємо справу із власним напівпровідником, в якому n = p = ni. Видно, що для власного напівпровідника µ = 0. Однак, це не

означає, що носії у власному напівпровіднику не рухаються, просто µ визначається не швидкістю дрейфу частинок у полі, а швидкістю дрейфу збурення концентрації носіїв квазінейтральної хмари нерівноважних носіїв заряду. У випадку напівпровідника n-типу µ > 0, що означає: хмара нерівноважних носіїв рухається у напрямку, в якому би рухались під дією зовнішнього поля дірки. Якщо ж напівпровідник являє собою матеріал p-типу, то µ < 0, тобто хмара нерівноважних носіїв рухається в напрямку проти поля (як би рухались електрони).

11.9. Задачі

1.Доведіть, що співвідношення Ейнштейна є прямим наслідком больцманівського розподілу носіїв.

Розв'язок. Припустимо, що система електронів знаходиться в рівновазі у зовні-

шньому електричному полі E

E = −

∂ϕ .

(11.109)

 

x

 

Згідно із законом розподілу невироджених електронів число частинок в одиниці об'єму в деякому перерізі x

eϕ

 

n(x)=n ekT .

(11.110)

0

 

З іншого боку, концентрацію частинок на перерізі х можна визначити з умови балансу дрейфового та дифузійного струмів

µ

enE eD

dn

= 0 ,

(11.111)

n

n dx

 

 

 

 

µn ϕ

 

 

яке після інтегрування дає

n(x)=n e

Dn .

(11.112)

 

0

 

 

 

Порівнюючи (11.110) та (11.112), знаходимо Dn/µn =kT/e , що й підтверджує: співвідношення Ейнштейна є прямим наслідком больцманівського розподілу носіїв.

2. Нехай закон дисперсії електронів напівпровідника визначається діагональним тензором ефективних мас. Визначте залежність коефіцієнта дифузії від mx, my, mz, вважаючи напівпровідник виродженим.

301

Розділ 11. ДИФУЗІЯ ТА ДРЕЙФ НОСІЇВ ЗАРЯДУ

Розв'язок.. Розглянемо для визначеності електронний напівпровідник. Використовуючи (11.24), отримаємо

1

 

Dn =nµnkT e(dn/dξ* ).

(11.113)

Концентрація електронів визначається функцією розподілу

 

n = 4Mπ3 dk {1+exp((E(k)−EF )/kT )}1 ,

(11.114)

де М число еквівалентних долин у законі дисперсії електронів напівпровідника. Перейдемо до нових змінних t = / 2mxkT , u = / 2mykT , ν = / 2mzkT . Маємо

 

M

 

 

 

2mxmymz

(kT )

3/2

 

 

 

E

 

E

 

 

 

 

 

n =

 

 

 

 

 

 

 

 

dtdudv 1

+

 

 

C

 

 

 

F

+t2 +u2

+ν2

 

=

4π

3

 

 

 

3

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(11.115)

 

 

 

 

 

 

 

 

M

 

 

2mxmymz

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

 

(kT )

3/2

 

 

π

Φ (ξ),

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π2

 

 

3

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1/2

 

 

 

де ξ = (EC EF/kT). Для виродженого напівпровідника застосуємо таке наближення для оцінки інтеграла Фермі

 

Φ

 

(ξ)≈ ξ3/2/Γ(3/2)= 2ξ3/2/

 

 

π

.

 

(11.116)

 

 

1.2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Використовуючи цю формулу, із (11.115) отримуємо

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

M

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2mxmymz

 

 

 

3/2

 

3/2

.

 

 

 

 

n

=

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(kT )

ξ

 

 

 

 

 

(11.117)

 

 

π2

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Звідси знайдемо

dn

 

 

 

3M

 

2mxmymz

 

 

3/2

1/2

,

 

 

 

 

=

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(kT )

 

 

ξ

 

 

 

dξ

 

 

2

 

 

 

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

або після визначення величини ξ із (11.117),

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dn

 

 

3 M 2/3 (2mxmymz )1/6n1/3

 

 

 

 

=

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT .

(11.118)

 

dξ

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Підставимо вираз (11.118) до (11.113) та остаточно знайдемо

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

π

2

2/3

 

 

 

 

2 2/3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Dn

 

= µn

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

.

(11.119)

 

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1/6

 

 

 

 

 

 

 

 

M

 

(2mxmymz )

 

 

 

 

3.Оцініть максимальні концентрації рівноважних носіїв для Ge, Si та GaAs, за яких співвідношення Ейнштейна є справедливим за кімнатної температури та температури рідкого азоту.

4.Зразок власного кремнію неоднорідно легований бором так, що концентрація

домішки має таку залежність від координати NB = NB0eax . Знайдіть величину та

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]