6 .5.2. Откачной пост.

Для откачки камеры в наладочном режиме необходимо включить откачной пост. Для этого надо:

• с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» откачного поста и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет» (см. рис. 24);

• с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

Рис. 24.

После запуска режима название режима «Вкл.» откачного поста на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый. После завершения режима, когда откачной пост выйдет на режим, название режима станет зеленым.

Для отключения откачного поста необходимо выполнить аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» откачного поста.

6.5.3. Резистивный испаритель.

Перед включением резистивного испарителя необходимо убедиться, что в камере есть вакуум и есть охлаждение позиции РИ. Необходимо также ввести и передать пара-метр (мощность резистивного испарителя) в таблице «Параметры» меню «Наладка».

Для запуска режима необходимо:

• с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» резистивного испарителя и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Заданная и текущая мощности, а также ток РИ и напряжение РИ будут отобража-ться в таблице на мнемосхеме меню «Наладка».

Для отключения резистивного испарителя необходимо произвести аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» резистивного испарителя.

6.5.4. Заслонка.

Данный режим позволяет проверить работоспособность механизма вращения заслонки и подобрать угол поворота заслонки от исходного датчика до позиции пере-укладки (параметр настройки) для автоматических режимов.

После включения установки положение заслонки не определено, поэтому она отображается на мнемосхеме серым цветом. Исходное положение заслонки отображается белым цветом. После выхода заслонки из исходного датчика обнуляется угол поворота заслонки и на мнемосхеме отображается истинное положение заслонки (зеленым цветом).

Для поворота заслонки в датчик исходного положения необходимо:

• с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Исх.» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

• с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• заслонка должна повернуться в исходный датчик.

Для поворота заслонки на угол необходимо ввести и передать параметр «Угол поворота заслонки» в таблице «Параметры» меню «Настройка», затем:

• с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска «Вперед» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

• с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

• заслонка должна повернуться на заданный угол.

Заданный, текущий угол и угол от переукладки отобразятся в таблице на мнемо-схеме.

Для останова (сброса) движения необходимо нажать клавишу «Стоп механиз-мов».

Управление поворотом подложкодержателя выполняется аналогично.