- •Введение
- •Назначение программы
- •Условия применения и выполнения программы
- •Запуск программы
- •5 . Общие правила экранного диалога
- •6. Команды оператора при работе на установке
- •6.1. Общие положения
- •6.2. Настройка параметров установки
- •6.2.1. Предельный уровень высоковакуумной откачки камеры.
- •6.2.2. Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки.
- •6.2.3. Включать нагрев?
- •6.2.4. Текущая скорость вращения.
- •6.2.5. Минимальная скорость вращения.
- •6.3. Ввод параметров
- •6.3.1. Ввод параметров (вручную)
- •6.3.2. Чтение из библиотеки программ
- •6.3.3. Запись в библиотеку программ
- •6.4. Автоматические режимы
- •6.4.1. Рабочий цикл.
- •6.4.2. Аварийное отключение.
- •6.4.3. Сброс.
- •6.5. Наладочные режимы
- •6.5.1. Управление элементами газо-вакуумной системы (по мнемосхеме).
- •6 .5.2. Откачной пост.
- •6.5.3. Резистивный испаритель.
- •6.5.4. Заслонка.
- •6.5.5. Вращение пластины.
- •7. Формат.
- •7.1. Дискретные входы
- •7.2. Дискретные выходы
- •7.3. Аналоговые входы
- •7.4. Аналоговые выходы
- •8. Статистика
- •9. Архив статистики
5 . Общие правила экранного диалога
5.1. Весь экран разделен на 5 информационных зон (см. рис. 2):
1 - верхняя строка - клавиши выбора меню (страниц отображения информации);
вторая строка - отображение текущего состояния процесса;
мнемоническая схема или таблица с заданными и текущими значениями технологического процесса;
клавиши запуска режимов установки;
зона отображения диагностических сообщений и отказов (красная).
Рис. 2.
В зависимости от страницы на экране могут присутствовать не все информационные зоны. Клавиши выбора меню (верхняя строка) присутствуют на каждой странице.
Вывод на экран выбранного меню осуществляется нажатием соответствующей клавиши в верхней строке. Для этого необходимо с помощью мыши подвести курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши. На экране появится страница выбранного меню, при этом клавиша меню в верхней строке изменит цвет на более светлый.
Вторая строка разделена на три части (см. рис. 2):
в первой части, на коричневом фоне отображается название автоматического режима (например, «Рабочий цикл») установки, который в данный момент активизировал оператор;
во второй части, на темно-сиреневом фоне отображается название выполняемой рабочей подпрограммы режима (например, «Ожидание ответа оператора»);
в третьей части, на сиреневом фоне отображается последняя выполненная рабочая подпрограмма текущего режима (например, «Механизм подложкодер-жателя путь прошел»).
В третьей информационной зоне экрана присутствует либо мнемоническая схема установки, либо таблицы с перечнем технологических параметров и их значениями - заданными и текущими, интервалами их изменения и их размерностью.
В четвертой информационной зоне экрана присутствуют клавиши запуска режимов (автоматических или ручных), которые оператор может запустить при работе с данной страницей.
В пятой информационной зоне экрана - зоне отказов - на красном фоне отображается текстовая информация по отказам и диагностическим сообщениям, например, «Нет давления в гидросети». Если в зоне отказов справа появляется клавиша с восклицательным знаком (см. рис. 3) - это означает, что не вся информация об отказах поместилась на экране в зоне отказов.
Рис. 3.
Для просмотра всей информации необходимо с помощью мыши подвести курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой. На экране появится окно с полной д иагностикой отказов (см. рис. 4). Для выхода нажать клавишу «Закрыть» в этом окне.
Рис. 4.
5.7. На мнемосхеме состояние исполнительных элементов вакуумной системы в текущий момент времени отображается цветом:
белый - открыт (включен),
зеленый - закрыт (выключен),
красный - отказ,
серый - неопределенное состояние.
Если на мнемосхеме нижний квадрат откачного поста отображается белым
цветом — значит, включен форвакуумный насос откачного поста, верхний квадрат белый — высоковакуумный насос откачного поста (ТМН). Во время разгона высоковакуумного насоса прямоугольный контур откачного поста мигает белым, после разгона — отображается белым.
На мнемосхеме в прямоугольнике Д1 отображаются числовые значения низкого и высокого вакуума в Па.
Если на клавише запуска режима название режима отображается белым цветом, то данный режим включен (активизирован), зеленым цветом - выключен.
В таблице, расположенной в правом верхнем углу мнемосхемы, отображается давление воды на входе установки и температура воды на сливе водоохлаждаемых устройств. Если температура водоохлаждаемого устройства отображается на голубом фоне, то необходимый уровень расхода достигнут.
5.8. В выводимых на экран страницах экранного меню приняты следующие обозначения и сокращения:
1.21е-04 - пример обозначения степени вакуума, соответствующей
общепринятому 1.21 • 10-4 Па;
РЦ - рабочий цикл;
Кл - клапан;
Д - вакуумный датчик (вакуумметр);
БПН - блок питания нагревателя;
БПРИ - блок питания резистивного испарителя;
РИ - резистивный испаритель.
ТМН - турбомолекулярный насос.