Установка нанесения пленок

методом термического испарения

МВУ ТМ ТИС 100

НМСА. 443225. 019 РО

Руководство оператора

2011 г.

ОГЛАВЛЕНИЕ

стр.

1. ВВЕДЕНИЕ 3

2. НАЗНАЧЕНИЕ ПРОГРАММЫ 4

3. УСЛОВИЯ ПРИМЕНЕНИЯ И ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОГРАММЫ 5

4. ЗАПУСК ПРОГРАММЫ 6

5. ОБЩИЕ ПРАВИЛА ЭКРАННОГО ДИАЛОГА 7

6. КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ 11

6.1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ 11

6.2. НАСТРОЙКА ПАРАМЕТРОВ УСТАНОВКИ 11

6.2.1. Предельный уровень высоковакуумной откачки камеры. 12

6.2.2. Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки. 13

6.2.3. Включать нагрев? 13

6.2.4. Текущая скорость вращения. 14

6.2.5. Минимальная скорость вращения. 14

6.3. ВВОД ПАРАМЕТРОВ 16

6.3.1. Ввод параметров (вручную) 16

6.3.2. Чтение из библиотеки программ 19

6.3.3. Запись в библиотеку программ 20

6.4. АВТОМАТИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ 22

6.4.1. Рабочий цикл. 22

6.4.2. Аварийное отключение. 27

6.4.3. Сброс. 28

6.5. НАЛАДОЧНЫЕ РЕЖИМЫ 29

6.5.1. Управление элементами газо-вакуумной системы (по мнемосхеме). 29

Рис. 23. 30

6.5.2. Откачной пост. 30

6.5.3. Резистивный испаритель. 31

6.5.4. Заслонка. 31

6.5.5. Вращение пластины. 32

7. ФОРМАТ. 33

7.1. Дискретные входы 33

7.2. Дискретные выходы 34

7.3. Аналоговые входы 34

7.4. Аналоговые выходы 35

8. СТАТИСТИКА 37

9. АРХИВ СТАТИСТИКИ 38

1. Введение

1. Настоящее руководство оператора является руководством по запуску и работе с программным обеспечением установки нанесения пленок методом термического испарения МВУ ТМ ТИС 100 (в дальнейшем — установка).

2. Для изучения и эксплуатации установки необходимо дополнительно руководствоваться техническим описанием и руководством по эксплуатации на установку и документами, приведёнными в комплекте эксплуатационной документации.

2. Назначение программы

Программное обеспечение установки предназначено для:

2.1. Обеспечения включения в наладочном (ручном) режиме

• элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска);

• технологических блоков (нагревателя, блока питания резистивного

испарителя);

• механизма вращения заслонки;

• механизма вращения подложкодержателя;

• механизма вращения пластины.

2. Обеспечения передачи и приема заданных параметров технологических процессов;

3. Обеспечения автоматической работы установки в едином вакуумном цикле в соответствии с заданным алгоритмом работы и с заданными технологическими параметрами после запуска оператором режима «Рабочий цикл»;

4. Обеспечения сброса рабочего цикла по команде оператора (Режим «Аварийное отключение»);

5. Автоматического запуска режима «Аварийное отключение установки» при пропадании воды на работающей технологической позиции и при превышении давления (свыше 500 Па) на входе высоковакуумного насоса, если он разогнан.

6. Поддержания интерфейса пользователя, позволяющего:

• создавать и хранить в библиотеке параметров технологические параметры на каждый технологический процесс;

• оперативно изменять технологические параметры даже во время процесса;

• отображать на экране запрашиваемую оператором информацию о состоянии элементов вакуумной системы установки, заданные и текущие параметры технологических процессов с постоянным обновление информации не реже 1 сек;

• оперативно отображать на экране любую предупредительную и аварийную информацию;

• обеспечивать наличие подсказки оператору (окна).

3. Условия применения и выполнения программы

Программное обеспечение выполнено на языке «СИ» для IBM PC и работает под управлением операционной системы WINDOWS XP.

Для работы программного обеспечения необходим следующий минимальный объем технических средств: ЭВМ типа IBM PC, Pentium 4, 3000MHz с объемом ОЗУ 512 МБ.

4. Запуск программы

Для запуска программы необходимо выполнить следующие операции:

1. Подать питание на установку, на силовой панели шкафа должна загореться желтая индикационная лампа слева от автоматического выключателя «Сеть ~220В,50Гц»;

2. Включить автоматический выключатель «Сеть ~220В,50Гц»;

3. На индикационной панели шкафа нажать кнопку «ПУСК», на силовой панели шкафа должна загореться желтая индикационная лампа справа от автоматического выключателя «Сеть ~220В,50Гц»;

4. Включить источник бесперебойного питания «ИБП», на нем должен загореться зеленый светодиод;

5. С помощью ключа открыть стеклянную дверцу контроллера «ROBO-2000» и включить кнопку «POWER», должен загореться зеленый светодиод «POWER»;

6. На экране монитора появится мнемосхема установки (рис. 1).

Рис. 1

4.7. Для отключения питания установки необходимо:

• на экране монитора нажать клавишу «ВЫХОД» в первой строке; на экране появится панель предупреждения;

• перед надписью «Выключение компьютера» нажать клавишу «ДА»; дождаться, пока экран монитора погаснет;

• выключить источник бесперебойного питания «ИБП»;

• на индикационной панели нажать кнопку «СТОП»; желтая индикационная лампа справа от автомата должна погаснуть;

• выключить автомат«~220В,50Гц» шкафа управления;

• отключить силовое питание на установку, желтая индикационная лампа слева от автомата должна погаснуть.