6.4.2. Аварийное отключение.
Данный режим используется для сброса режима «Рабочий цикл». Также он может запустится автоматически, если:
во время рабочего цикла после выхода высоковакуумного насоса на режим в камере будет давление выше 500 Па, при этом появится диагностика «Авария: высокое давление на входе ВВ насоса»;
во время рабочего цикла более чем на 5 секунд пропадет вода на работающей технологической позиции, при этом появится диагностика «Авария: нет охлаждения поз. нагрева» или «Авария: нет охлаждения поз. РИ»;
Для запуска данного режима оператором необходимо:
в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Аварийное отключение» и щелкнуть левой кнопкой мыши;
на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;
ввести «Да» для подтверждения запуска режима.
После запуска данного режима в начале второй строки на коричневом поле появится название режима «Сброс РЦ», при этом сбросится активизация режима «Рабочий цикл», выключится выходная мощность работающего технологического устройства (нагревателя или резистивного испарителя), отключится откачной пост, включится клапан напуска, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки. После напуска в камеру до атмосферы появится окно «Выгрузите пластину. Пластина выгружена? Да». Оператор должен выгрузить пластину и нажать клавишу «Да» в этом окне. Клапан напуска закроется, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Режим «Аварий-ное отключение» завершится.
После завершения режима его название в начале второй строки пропадет.
ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Аварийное отключение» необходимо нажать клавишу «Сброс» см. п. 6.4.3. данного руководства.
6.4.3. Сброс.
Данный режим используется для снятия активизации режимов «Аварийное отключение», «Выключение Откачного поста», «Выключение Нагрева», «Выключение Резистивного испарителя», а также для снятия всех диагностик, включая аварийные.
Для запуска данного режима необходимо:
в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Сброс» и щелкнуть левой кнопкой мыши;
на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;
ввести «Да» для подтверждения запуска режима.
После завершения режима в конце второй строки появится сообщение «Общий сброс завершен».
6.5. Наладочные режимы
Все наладочные режимы запускаются из меню «Мнемосхема» страницы «Наладка». Для вывода на экран данного меню необходимо:
с помощью мыши подвести курсор к клавише «Наладка» верхней строки и щелкнуть левой кнопкой мыши;
с помощью мыши подвести курсор к клавише «Мнемосхема» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;
н
а
экране появится меню «Мнемосхема»
страницы «Наладка» (см. рис. 22).
Рис. 22.
6.5.1. Управление элементами газо-вакуумной системы (по мнемосхеме).
Для управления элементами газо-вакуумной системы (в данной установке клапаном напуска) необходимо:
с помощью мыши подвести курсор к выбранному элементу и щелкнуть левой кнопкой мыши;
появится запрос «Вкл.» или «Выкл.» данный элемент (см. рис. 23);
с помощью мыши подвести курсор к нужной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши;
при открытии (включении) цвет элемента на мнемосхеме изменится на белый, при закрытии (выключении) - на зеленый.
Рис. 23.