6. Команды оператора при работе на установке

6.1. Общие положения

Управление процессом включает последовательный набор следующих основных операций:

1. настройка параметров работы установки;

2. ввод и передача технологических параметров;

3. запуск режима «Рабочий цикл».

А также вспомогательных:

1. запуск режима «Аварийное отключение»;

2. запуск режима «Сброс».

Существует также наладочный режим, предназначенный для проведения наладочных работ, к которым можно отнести:

1. проверку работоспособности элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска);

2. проверку работоспособности механизма вращения заслонки;

3. проверку работоспособности механизма вращения подложкодержателя;

4. проверку работоспособности механизма вращения пластины;

5. проверку работоспособности технологических блоков (нагрева и резистивного испарителя);

6. проверку работоспособности дискретных входов-выходов («Формат»);

7. проверку работоспособности аналоговых входов-выходов («Формат»).

6.2. Настройка параметров установки

После запуска программы в соответствии с п.4 настоящего Руководства на экране монитора появится мнемосхема установки.

В ойти в меню «Настройка» в соответствии с п.5.2 настоящего руководства. На экране появится страница рис. 5.

Рис. 5.

6.2.1. Предельный уровень высоковакуумной откачки камеры.

Во время режима «Рабочий цикл» производится откачка камеры до высокого вакуума. Программой предусмотрена возможность изменять этот уровень, для этого необходимо:

• в столбце «Задание» строки 1 «Предельный уровень высоковакуумной откачки камеры» нажать клавишу ▼;

• появится столбец со значениями давления (см. рис. 6);

• с помощью курсора мыши выбрать нужное давление;

• нажать клавишу «Передача параметров»;

• ввести «Да» для подтверждения передачи (см. рис. 7);

• в столбце «Текущее» высветится выбранный уровень откачки камеры.

Рис. 6.

Р ис. 7.

6.2.2. Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки.

После сборки установки у изготовителя подобран угол поворота подложкодержа-теля от точки выхода подложкодержателя из датчика исходного положения механизма до позиции переукладки (перед дверью камеры). Этот путь введен и сохранен в данной ячейке настройки. В автоматических режимах программа использует данные этой ячейки. Изменять эти данные можно только в том случае, если после наладочных работ изменилось исходное положение механизма.

Для ввода нового значения необходимо:

• в столбце «Задание» строки 2 «Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки» щелкнуть два раза левой кнопкой мыши;

• с помощью клавиатуры набрать необходимое значение параметра;

• нажать клавишу «Передача параметров»;

• ввести «Да» для подтверждения передачи;

• в столбце «Текущее» высветится введенный угол поворота.

Аналогично изменяется угол поворота заслонки от исходного датчика до позиции переукладки см. п. 3 таблицы «Настройка».

6.2.3. Включать нагрев?

С помощью таблицы «Настройка» можно запретить работу любого технологического устройства (нагревателя, блока питания резистивного испарителя), например, если это устройство неисправно, а технологический процесс можно вести без него. В случае запрета программа не обращается к этому устройству и блокирует ввод параметров этого устройства.

Для запрета работы нагревателя необходимо:

• в столбце «Задание» строки 4 «Включать нагрев?» нажать клавишу ▼;

• появится столбец со значениями «Да», «Нет»;

• с помощью мыши выбрать клавишу «Нет»;

• нажать клавишу «Передача параметров»;

• ввести «Да» для подтверждения передачи;

• в столбце «Текущее» высветится параметр «Нет».

Аналогично можно запретить работу блока питания резистивного испарителя см. п. 5 таблицы «Настройка».