14. Тонкопленочные резисторы. Основные характеристики. Коэффициент формы. Возможные формы резисторов.

Топологический расчет пленочного резистора заключается в определении его формы, геометрических размеров и площади, зани­маемой резистором на подложке.

Исходные данные для расчета:

номиналы резисторов Ri , Ом ;

мощности рассеяния Ррас i , Вт;

- технологические ограничения

- допустимые отклонения сопротивления резисторов от номи­нала Ri , %.

Конструкция резисторов определяется по коэффициенту формы Кфi = Ri / s (1)

При 1Кф10 рекомендуется конструировать резистор прямо­угольной формы, изображенной на рис. 4а; при Кф>10 резистор сложной формы типа меандр (см. рис. 4б); при 0,1< Кф < 1 резистор прямоугольной формы, у которого длина меньше ширины. Конструировать резистор Кф<0,1 нецелесообразно. В этом случае рекомендуется выбрать материал с меньшим значением s.

16.Тонкопленочные резисторы типа «полоска». Понятия: сопротивление квадрата пленки, коэффициент формы. Расчет ширины тонкопленочного резистора.

Конструкция резисторов определяется по коэффициенту формы Кфi = Ri / s

Расчетная длина l = bKф (4)

Полная длина резистора с учетом перекрытия контактных площадок lполн = l+2e (5)

Площадь, занимаемая резистором на подложке: S = lполнb (6)

Для резисторов, имеющих Kф<1, сначала определяют длину, а затем ширину.

Расчетную длину резистора находят из условия: l = max{ lтехн, lр } где lтехн - минимальная длина резистора, определяемая разреша­ющей способностью выбранного метода изготовления (масочный, фо­толитографический) (см. табл. 3);

lр - минимальная длина резистора, при которой рассеивается заданная мощность: lр=

Расчетная ширина резистора b = l / Kф

Полная длина резистора с учетом перекрытия контактных пло­щадок и площадь резистора определяют соответственно по формулам .

Для расчета сопротивления тонких пленок пользуются понятием удельного поверхностного сопротивления rs , под которым понимается сопротивление тонкой пленки, имеющей в плане форму квадрата. Величина rs связана с величиной r и легко может быть получена, если принять s = dw , где w - ширина резистивной пленки, d - толщина резистивной пленки. где - удельное поверхностное сопротивление(удельное сопротивление квадрата), зависящее от толщины пленки d и имеющее размерность Ом/ (Ом/квадрат). Если l = w, то R=rs, причем величина сопротивления не зависит от размеров сторон

17.Полная относительная погрешность изготовления тонкопленочного резистора.

Полная относительная погрешность резистора ℵR = ΔR/R определяется суммой всех погрешностей изготовления и погрешностей, возникающих при его эксплуатации

Еще \ зависит от материала пленок, эффективности их защиты, а также от условий хране-

ния и эксплуатации. Коэффициент старения пленочного резистора практически равен коэффициенту старения удельного поверхностного сопротивления, обусловленному изменением структуры пленки и ее окислением

Погрешность зависит от технологических условий напыления металлических пленок, удельного сопротивления резистивных пленок и геометрических размеров перекрытия контактных площадок. При правильном

материалов и геометрии контактных площадок величиной можно пренебречь.