- •Введение
- •1. Общие сведения о датчиках физических величин
- •1.1. Основные характеристики датчиков
- •1.2. Классификация датчиков
- •2. Датчики деформации
- •2.1. Принцип действия
- •2.2. Конструкции тензодатчиков и их параметры
- •2.2.1. Конструкции металлических датчиков
- •2.2.2. Конструкции полупроводниковых датчиков
- •2.2.3. Основные параметры тензорезисторов
- •2.2.4. Тензодиоды и тензотранзисторы
- •2.3. Области применения и типы датчиков
- •Контрольные вопросы
- •3. Датчики температуры
- •3.1. Принцип действия
- •3.1.1. Термопары
- •3.1.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.1.3. Термисторы
- •3.1.4. Позисторы
- •3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
- •3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
- •3.2.1. Термопары
- •3.2.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.2.3. Термисторы
- •3.2.4. Позисторы
- •3.3. Области применения и типы датчиков
- •3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
- •Контрольные вопросы
- •4. Твердотельные датчики газов
- •4.1. Принцип действия твердотельных датчиков газов
- •4.1.1. Термокондуктометрические датчики
- •4.1.2. Термохимические (каталитические) ячейки
- •4.1.3. Электрохимическая (топливная) ячейка
- •4.1.4. Полупроводниковые датчики газов
- •4.2. Конструкции и параметры датчиков
- •4.2.1. Термокондуктометрическая измерительная ячейка
- •4.2.2. Термохимическая (каталитическая) ячейка
- •4.2.3. Конструкция и параметры топливных элементов
- •4.2.4. Конструктивные и технологические особенности твердотельных датчиков газов
- •Контрольные вопросы
- •5. Датчики магнитного поля
- •5.1. Принцип действия
- •5.2. Преобразователи Холла
- •5.2.1. Технология изготовления и конструкции
- •5.2.2. Основные параметры и свойства
- •5.2.3. Применение преобразователей Холла
- •5.3. Полупроводниковые магниторезисторы
- •5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
- •5.5. Магнитодиоды
- •5.6. Биполярные магнитотранзисторы
- •Контрольные вопросы
- •6. Оптические датчики
- •6.1. Принцип действия полупроводниковых приемников излучения
- •6.2. Основные характеристики фотоприемников
- •6.3. Фоторезисторы
- •6.3.1. Технология изготовления и конструкция
- •6.3.2. Характеристики и параметры
- •6.4. Фотодиоды
- •6.5. Полупроводниковые фотоэлементы
- •6.6. Фототранзисторы
- •6.7. Датчики ик-излучения
- •Контрольные вопросы
- •7. Датчики влажности
- •7.1. Единицы измерения влажности
- •7.2. Методы измерения влажности
- •7.3. Конденсационные датчики
- •7.4. Психрометрические датчики
- •7.5. Сорбционные датчики влажности
- •7.5.1. Кулонометрические датчики
- •7.5.2. Пьезосорбционные датчики
- •7.5.3. Импедансные датчики
- •Контрольные вопросы
- •8. Датчики микроэлектромеханических систем
- •Контрольные вопросы
- •Заключение
- •Библиографический список
3.1.4. Позисторы
Позисторы – это полупроводниковые терморезисторы с положительным ТКС. В массовом производстве позисторы делают из титанато-бариевой керамики, сопротивление которой снижено добавлением примесей. BaTiO3 – диэлектрик с ρ = 1010 – 1012 Ом·см при комнатной температуре. Примеси от 0,1 до 0,3 ат.% редкоземельных элементов (лантана, церия и др.) уменьшают удельное сопротивление до 10 – 100 Ом·см.
При температуре точки Кюри титанат бария переходит из сегнетоэлектрического в параэлектрическое состояние. Такой материал обладает аномальной температурной зависимостью сопротивления: в узком диапазоне температур с ростом температуры сопротивление увеличивается на несколько порядков.
Для смещения точки Кюри в сторону низких температур используются твердые растворы BaTiO 3 – SrTiO3 и BaTiO3 – BaSnO3 (увеличивают относительное содержание Sr и Sn в керамике). Диапазон рабочих температур позисторов на основе BaTiO3 65 – 150 ºС, ТКС достигает (0,1 – 0,5) К-1.
Для создания позисторов используются и монокристаллические Si, Ge и другие полупроводники. Принцип действия этих позисторов основан на уменьшении подвижности носителей заряда с увеличением температуры вследствие усиления их рассеивания на фононах. При этом концентрация носителей заряда остается постоянной, так как используется участок истощения примесной проводимости. Кремниевые термометры сопротивления с малой концентрацией примеси (1015 – 1017 см-3) имеют ТКС (0,7 – 1)·10-2 К-1, диапазон рабочих температур от –50 до 120 ºС. ТКС таких позисторов тем выше, чем меньше концентрация примеси.
3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
Термодиоды и термотранзисторы находят применение в датчиках температуры, работающих в диапазоне от –80 до +150 ºС. Верхняя граница температурного диапазона ограничивается тепловым пробоем p-n перехода и для некоторых кремниевых датчиков достигает 500 ºС. Нижняя граница температурного диапазона определяется уменьшением концентрации основных носителей и может достигать для датчиков из Ge – (240 – 260) ºС , из Si – (–200 ºС).
Связь между током I через p-n переход и падением напряжения U на нем определяется уравнением
I = I0e-B/T(eqU/(kT) – 1), (3.7)
где I0e-B/T = Iнас – ток насыщения, зависящий от температуры Т; I0 – ток насыщения при Т → ∞; q – заряд электрона; k – постоянная Больцмана.
Это уравнение определяет ток через p-n переход как при прямом, так и при обратном смещении. Учитывая, что при Т = 300 К kT/q = 26 мВ, при напряжениях на переходе > 26 мВ можно пользоваться приближенными формулами для прямого и обратного токов
Iпр = I0 e-B/T eqU/(kT) , Iобр = I0e-B/T. (3.8)
Прямой и обратный токи являются функциями температуры, однако для измерения температуры чаще используются открытые p-n переходы. Падение напряжения на открытом переходе при токе I через переход определяется формулой
U = [kT ln(I/I0) + kB]/q, (3.9)
из которой видно, что U линейно зависит от Т и уменьшается с увеличением температуры (I0 >> I). Температурная чувствительность p-n перехода по напряжению составляет 1,5 – 2,5 мВ/К. Сравнивая эту величину с чувствительностью термопар, видно, что p-n переходы в 100 раз чувствительнее термопар. Используемые для измерения температуры элементы – диоды и транзисторы, включенные по схеме диода (коллектор замкнут на базу), питаются постоянным током I в прямом направлении, напряжение U на выводах, зависящее от температуры, является выходной электрической величиной датчиков, изображенных на рис. 3.1.
Микроэлектронная технология дает возможность изготовить оба транзистора датчика, изображенного на рис. 3.1,в , в виде интегральной схемы на одном кристалле.