- •Введение
- •1. Общие сведения о датчиках физических величин
- •1.1. Основные характеристики датчиков
- •1.2. Классификация датчиков
- •2. Датчики деформации
- •2.1. Принцип действия
- •2.2. Конструкции тензодатчиков и их параметры
- •2.2.1. Конструкции металлических датчиков
- •2.2.2. Конструкции полупроводниковых датчиков
- •2.2.3. Основные параметры тензорезисторов
- •2.2.4. Тензодиоды и тензотранзисторы
- •2.3. Области применения и типы датчиков
- •Контрольные вопросы
- •3. Датчики температуры
- •3.1. Принцип действия
- •3.1.1. Термопары
- •3.1.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.1.3. Термисторы
- •3.1.4. Позисторы
- •3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
- •3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
- •3.2.1. Термопары
- •3.2.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.2.3. Термисторы
- •3.2.4. Позисторы
- •3.3. Области применения и типы датчиков
- •3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
- •Контрольные вопросы
- •4. Твердотельные датчики газов
- •4.1. Принцип действия твердотельных датчиков газов
- •4.1.1. Термокондуктометрические датчики
- •4.1.2. Термохимические (каталитические) ячейки
- •4.1.3. Электрохимическая (топливная) ячейка
- •4.1.4. Полупроводниковые датчики газов
- •4.2. Конструкции и параметры датчиков
- •4.2.1. Термокондуктометрическая измерительная ячейка
- •4.2.2. Термохимическая (каталитическая) ячейка
- •4.2.3. Конструкция и параметры топливных элементов
- •4.2.4. Конструктивные и технологические особенности твердотельных датчиков газов
- •Контрольные вопросы
- •5. Датчики магнитного поля
- •5.1. Принцип действия
- •5.2. Преобразователи Холла
- •5.2.1. Технология изготовления и конструкции
- •5.2.2. Основные параметры и свойства
- •5.2.3. Применение преобразователей Холла
- •5.3. Полупроводниковые магниторезисторы
- •5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
- •5.5. Магнитодиоды
- •5.6. Биполярные магнитотранзисторы
- •Контрольные вопросы
- •6. Оптические датчики
- •6.1. Принцип действия полупроводниковых приемников излучения
- •6.2. Основные характеристики фотоприемников
- •6.3. Фоторезисторы
- •6.3.1. Технология изготовления и конструкция
- •6.3.2. Характеристики и параметры
- •6.4. Фотодиоды
- •6.5. Полупроводниковые фотоэлементы
- •6.6. Фототранзисторы
- •6.7. Датчики ик-излучения
- •Контрольные вопросы
- •7. Датчики влажности
- •7.1. Единицы измерения влажности
- •7.2. Методы измерения влажности
- •7.3. Конденсационные датчики
- •7.4. Психрометрические датчики
- •7.5. Сорбционные датчики влажности
- •7.5.1. Кулонометрические датчики
- •7.5.2. Пьезосорбционные датчики
- •7.5.3. Импедансные датчики
- •Контрольные вопросы
- •8. Датчики микроэлектромеханических систем
- •Контрольные вопросы
- •Заключение
- •Библиографический список
3.2.4. Позисторы
Свойства позисторов оцениваются характеристиками и параметрами, аналогичным параметрам термисторов. Характеристики позисторов СТ-6, созданные на основе титаната бария BaTiO3, приведены в табл. 3.3.
Таблица 3.3
Параметры некоторых позисторов
Тип позистора |
Rном, кОм |
Интервал (+) ТКС, ºС |
Максимальная мощность, Вт |
ТКС, К-1 |
τ, с |
СТ5-2 |
20 – 150 |
120 – 190 |
0,8 |
0,2 |
10 |
СТ6-36 |
103 – 104 |
10 – 125 |
0,2 |
0,15 |
5 |
3.3. Области применения и типы датчиков
Помимо непосредственного измерения температуры и ее контроля терморезисторы (металлические и полупроводниковые) используются как чувствительные элементы датчиков различного назначения: теплового излучения (болометров); скоростей потока газов и жидкостей и направления потока (термоанемометров); уровня жидкостей; газоанализаторов и вакуумметров; датчиков расхода жидкостей и газов.
В работе четырех последних типов датчиков термисторы работают в режиме саморазогрева протекающим током. В основе их работы лежит термоанемометрический метод измерения, оисанный подразделе 3.4.
Позисторы помимо систем контроля и регулирования температуры используются в системах температурной сигнализации, защиты от перегрева, термокомпенсации, в нагревательных элементах, автостабилизирующихся по температуре.
3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
Терморезистор в режиме саморазогрева током I имеет температуру Т > ТС, где ТС – температура окружающей среды. В потоке газа или жидкости сопротивление терморезистора R(T) изменяется вследствие охлаждения потоком. Считая, что теплообмен осуществляется только конвекцией в газе (или жидкости), имеющем температуру ТС, можно записать уравнение теплового баланса терморезистора:
I2R(T) = hS(T –TC), (3.10)
где h – коэффициент теплообмена; S – площадь поверхности терморезистора.
Скорость потока w входит в выражение для h, помимо скорости h является функцией тепло- и температуропроводности среды, ее кинематической вязкости, а также зависит от формы и диаметра терморезистора, угла между осью терморезистора и вектором скорости потока. Чем больше скорость потока, тем сильнее охлаждается терморезистор и тем больше изменение его сопротивления R. Коэффициент теплообмена h выражается через скорость потока w эмпирической формулой Кинга
h = a +bw1/2, (3.11)
где a и b – постоянные для конкретного датчика и среды (учитывая и характер ее течения).
Тогда уравнение теплового баланса:
I2R(T) = (A + Bw1/2)(T – TC), (3.12)
где A = aS, B = bS.
Аналогичное уравнение можно записать и для скорости расхода Q:
I2R(T) = (α + βQ1/2)(T – TC), (3.13)
где α, β – можно считать аппаратурными параметрами.
В табл. 3.4 приведены характеристики термоанемометров датской фирмы ДИСА (DISA), в которых используются проволочные терморезисторы из Pt и W диаметром 5 – 20 мкм, фибропленочные терморезисторы из кварцевой нити, покрытой пленкой Ni, пленочные из Ni.
Таблица 3.4
Характеристики термоанемометров
Тип терморезистора |
Материал |
Диапазон скоростей, м/с |
Верхняя граничная частота, кГц |
Среда |
Проволочный |
Покрытый платиной вольфрам |
0,2 – 500 |
400 |
Воздух |
0,01 – 5 |
Вода | |||
Фибро -пленочный |
Никель |
0,2 – 350 |
175 |
Воздух |
0,01 – 10 |
30 |
Вода | ||
Пленочный |
Никель |
0,1 – 500 |
450 |
Воздух |
0,01 – 25 |
30 |
Вода |
Для измерения вектора скорости применяются двух- и трехкомпонентные датчики термоанемометров, чувствительные элементы которых размещены в двух и трех взаимно перпендикулярных направлениях.
Терморезисторы обычно включаются в мостовую измерительную цепь. При этом терморезистор может работать в режиме постоянного тока и в режиме постоянной температуры. Последний режим предпочтительнее, так как тепловая инерция оказывает меньшее влияние на реакцию системы при изменении высокочастотных составляющих скорости потока. Наиболее перспективными термоанемометрами для измерения скоростей малых или пульсирующих потоков являются датчики с чувствительными элементами из нитевидных кристаллов, имеющими малые геометрические размеры и высокую удельную долю поверхности. Постоянная времени терморезисторов из нитевидных кристаллов составляет десятки миллисекунд. Основные характеристики термоанемометров из нитевидных кристаллов кремния приведены в табл. 3.5, там же приведены параметры термоанемометра на основе тонкопленочного резистора титан-платина.
Таблица 3.5
Характеристики датчиков газового потока
Параметр |
Датчик из нитевидного кристалла кремния |
Датчик на основе тонкопленочного резистора |
Rном при 300 К, Ом |
102 – 103 |
50 – 100 |
Рабочий ток, мА |
1 – 10 |
100 – 200 |
ТКС, %∙К-1 |
0,2 – 0,5 |
0,15 – 0,3 |
τ, с |
0,02 – 0,06 |
10 |
Диапазон измеряемых скоростей, м/с |
0,01 – 0,4 |
0,1 – 10 |