- •Введение
- •1. Общие сведения о датчиках физических величин
- •1.1. Основные характеристики датчиков
- •1.2. Классификация датчиков
- •2. Датчики деформации
- •2.1. Принцип действия
- •2.2. Конструкции тензодатчиков и их параметры
- •2.2.1. Конструкции металлических датчиков
- •2.2.2. Конструкции полупроводниковых датчиков
- •2.2.3. Основные параметры тензорезисторов
- •2.2.4. Тензодиоды и тензотранзисторы
- •2.3. Области применения и типы датчиков
- •Контрольные вопросы
- •3. Датчики температуры
- •3.1. Принцип действия
- •3.1.1. Термопары
- •3.1.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.1.3. Термисторы
- •3.1.4. Позисторы
- •3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
- •3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
- •3.2.1. Термопары
- •3.2.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.2.3. Термисторы
- •3.2.4. Позисторы
- •3.3. Области применения и типы датчиков
- •3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
- •Контрольные вопросы
- •4. Твердотельные датчики газов
- •4.1. Принцип действия твердотельных датчиков газов
- •4.1.1. Термокондуктометрические датчики
- •4.1.2. Термохимические (каталитические) ячейки
- •4.1.3. Электрохимическая (топливная) ячейка
- •4.1.4. Полупроводниковые датчики газов
- •4.2. Конструкции и параметры датчиков
- •4.2.1. Термокондуктометрическая измерительная ячейка
- •4.2.2. Термохимическая (каталитическая) ячейка
- •4.2.3. Конструкция и параметры топливных элементов
- •4.2.4. Конструктивные и технологические особенности твердотельных датчиков газов
- •Контрольные вопросы
- •5. Датчики магнитного поля
- •5.1. Принцип действия
- •5.2. Преобразователи Холла
- •5.2.1. Технология изготовления и конструкции
- •5.2.2. Основные параметры и свойства
- •5.2.3. Применение преобразователей Холла
- •5.3. Полупроводниковые магниторезисторы
- •5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
- •5.5. Магнитодиоды
- •5.6. Биполярные магнитотранзисторы
- •Контрольные вопросы
- •6. Оптические датчики
- •6.1. Принцип действия полупроводниковых приемников излучения
- •6.2. Основные характеристики фотоприемников
- •6.3. Фоторезисторы
- •6.3.1. Технология изготовления и конструкция
- •6.3.2. Характеристики и параметры
- •6.4. Фотодиоды
- •6.5. Полупроводниковые фотоэлементы
- •6.6. Фототранзисторы
- •6.7. Датчики ик-излучения
- •Контрольные вопросы
- •7. Датчики влажности
- •7.1. Единицы измерения влажности
- •7.2. Методы измерения влажности
- •7.3. Конденсационные датчики
- •7.4. Психрометрические датчики
- •7.5. Сорбционные датчики влажности
- •7.5.1. Кулонометрические датчики
- •7.5.2. Пьезосорбционные датчики
- •7.5.3. Импедансные датчики
- •Контрольные вопросы
- •8. Датчики микроэлектромеханических систем
- •Контрольные вопросы
- •Заключение
- •Библиографический список
5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
Ферромагнитные материалы изменяют свое сопротивление в магнитном поле (в зависимости от величины магнитной индукции и угла между направлениями векторов магнитной индукции В и тока). Для изготовления датчика магнитного поля создаются два резистора по тонкопленочной технологии в форме меандров, при этом один располагается в направлении вектора В, а другой – перпендикулярно ему. В магнитном поле в резисторе, расположенном параллельно В, наблюдается упорядочивание магнитных моментов, его сопротивление уменьшается по сравнению с сопротивлением резистора, расположенного перпендикулярно В. Оба резистора включаются в мостовую схему в смежные плечи. Материал резисторов – пермаллой (80 % Ni + 20 % Fe). Сопротивление резисторов от 30 до 1000 Ом.
В настоящее время существуют материалы, обладающие гигантским магниторезистивным эффектом (ГМЭ), открытым Бэйбичем и др. в 1988 г.
Этот эффект основан на зависимости рассеяния электронов от направления спина в очень тонких слоистых структурах, изготовленных из периодических слоев Fe-Cr или Cu-Co толщиной около 10 атомов. В магнитных полях ±30 мТл сопротивление падает до 15 %, диапазон рабочих частот простирается от постоянного поля до 1 МГц. Датчики, основанные на ГМЭ, стали доступны с середины 1990-х гг. ГМЭ-материалы используют во многих устройствах хранения информации.
5.5. Магнитодиоды
Диоды с тонкой базой W < L, где L – диффузионная длина неосновных носителей, нецелесообразно использовать в качестве магниточувствительных приборов, так как изменение их сопротивления обусловлено только изменением подвижности неосновных носителей в базе диода, и оно значительно меньше, чем в магниторезисторе.
В диодах с толстой базой (W > L) прямое напряжение распределяется между p-n переходом и сопротивлением базы диода Rб:
Uпр = Up-n + Iпр∙Rб. (5.21)
Сопротивление базы в поперечном магнитном поле растет (вследствие уменьшения подвижности основных и неосновных носителей, уменьшении времени жизни неосновных носителей). Это приводит к перераспределению напряжения: уменьшается напряжение Up-n, что приводит к резкому уменьшению тока, так как он экспоненциально зависит от Up-n. Магниточувствительность диодов с толстой базой во много раз превышает чувствительность магниторезисторов. Обычно размер базы W составляет несколько диффузионных длин неосновных носителей. Материал должен обладать большой подвижностью носителей заряда.
Магниточувствительность диодов определяется как
Z = , (5.22)
где ∆U – изменение напряжения в магнитном поле.
Фирма «Сони» выпускает германиевые магнитодиоды с проводимостью, близкой к собственной, c толщиной базы W = 3 мм (Lp = 3 мм), магниточувствительность которых Z = 2∙104 .
У отечественных кремниевых магнитодиодов КД 301 величина Z = 104. ВАХ германиевого магнитодиода приведена на рис. 5.5.
Рис. 5.5. ВАХ германиевого магнитодиода
Существенным недостатком магнитодиодов является сильная зависимость электрических параметров от температуры. В табл. 5.3 приведены параметры выпускаемых промышленностью магнитодиодов типа КД 301 и КД 303.
Таблица 5.3
Параметры магнитодиодов
Тип |
Прямое напряжение, В при I = 3 мА |
Магнитная чувствительность, В/Тл при 25 ºС | |
I = 1 мА |
I = 3 мА | ||
КД 301 А |
6,0 – 7,5 |
5 |
15 |
КД 301 В |
9,2 – 10,5 |
10 |
30 |
КД 301 Д |
12,2 – 13,5 |
15 |
45 |
КД 301 Ж |
15,2 – 20,0 |
20 |
60 |
КД 303 А |
4,0 – 5,0 |
– |
10 |
КД 303 В |
6,1 – 7,0 |
– |
25 |
КД 303 Д |
9,1 – 11,0 |
– |
35 |
КД 303 Ж |
13,1 – 15,0 |
– |
45 |