- •Введение
- •1. Общие сведения о датчиках физических величин
- •1.1. Основные характеристики датчиков
- •1.2. Классификация датчиков
- •2. Датчики деформации
- •2.1. Принцип действия
- •2.2. Конструкции тензодатчиков и их параметры
- •2.2.1. Конструкции металлических датчиков
- •2.2.2. Конструкции полупроводниковых датчиков
- •2.2.3. Основные параметры тензорезисторов
- •2.2.4. Тензодиоды и тензотранзисторы
- •2.3. Области применения и типы датчиков
- •Контрольные вопросы
- •3. Датчики температуры
- •3.1. Принцип действия
- •3.1.1. Термопары
- •3.1.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.1.3. Термисторы
- •3.1.4. Позисторы
- •3.1.5. Измерение температуры с помощью диодов и транзисторов
- •3.2. Конструкции и параметры датчиков температуры
- •3.2.1. Термопары
- •3.2.2. Металлические термометры сопротивления
- •3.2.3. Термисторы
- •3.2.4. Позисторы
- •3.3. Области применения и типы датчиков
- •3.4. Термоанемометрический метод измерения скоростей потока газов и жидкостей
- •Контрольные вопросы
- •4. Твердотельные датчики газов
- •4.1. Принцип действия твердотельных датчиков газов
- •4.1.1. Термокондуктометрические датчики
- •4.1.2. Термохимические (каталитические) ячейки
- •4.1.3. Электрохимическая (топливная) ячейка
- •4.1.4. Полупроводниковые датчики газов
- •4.2. Конструкции и параметры датчиков
- •4.2.1. Термокондуктометрическая измерительная ячейка
- •4.2.2. Термохимическая (каталитическая) ячейка
- •4.2.3. Конструкция и параметры топливных элементов
- •4.2.4. Конструктивные и технологические особенности твердотельных датчиков газов
- •Контрольные вопросы
- •5. Датчики магнитного поля
- •5.1. Принцип действия
- •5.2. Преобразователи Холла
- •5.2.1. Технология изготовления и конструкции
- •5.2.2. Основные параметры и свойства
- •5.2.3. Применение преобразователей Холла
- •5.3. Полупроводниковые магниторезисторы
- •5.4. Магниторезисторы из ферромагнетиков
- •5.5. Магнитодиоды
- •5.6. Биполярные магнитотранзисторы
- •Контрольные вопросы
- •6. Оптические датчики
- •6.1. Принцип действия полупроводниковых приемников излучения
- •6.2. Основные характеристики фотоприемников
- •6.3. Фоторезисторы
- •6.3.1. Технология изготовления и конструкция
- •6.3.2. Характеристики и параметры
- •6.4. Фотодиоды
- •6.5. Полупроводниковые фотоэлементы
- •6.6. Фототранзисторы
- •6.7. Датчики ик-излучения
- •Контрольные вопросы
- •7. Датчики влажности
- •7.1. Единицы измерения влажности
- •7.2. Методы измерения влажности
- •7.3. Конденсационные датчики
- •7.4. Психрометрические датчики
- •7.5. Сорбционные датчики влажности
- •7.5.1. Кулонометрические датчики
- •7.5.2. Пьезосорбционные датчики
- •7.5.3. Импедансные датчики
- •Контрольные вопросы
- •8. Датчики микроэлектромеханических систем
- •Контрольные вопросы
- •Заключение
- •Библиографический список
6.2. Основные характеристики фотоприемников
Темновое сопротивление Rт – сопротивление фотоприемника при отсутствии засветки.
Относительная спектральная чувствительность Sλ – зависимость фоточувствительности от λ. Обычно приводится в виде графика, либо указываются длинноволновая и коротковолновая границы фоточувствительности.
Токовая фоточувствительность SI определяет величину фототока, создаваемого единичным потоком излучения, измеряется в А/Вт или в А/лк.
Вольтовая фоточувствительность SU характеризует величину сигнала в вольтах, отнесенную к единице падающего потока излучения.
Токовая и вольтовая фоточувствительность называется интегральной, если характеризует чувствительность к интегральному потоку источника света, и монохроматической, если источник монохроматический. Обычно фотоприемники характеризуют либо интегральной чувствительностью, либо фоточувствительностью в максимуме излучения (SI λ max и SU λ max) с указанием длин волн, при которых чувствительность уменьшается вдвое.
Постоянная времени – это время, в течение которого фототок изменяется после освещения или затемнения на 63 % (в е раз) по отношению к установившемуся значению. Различают постоянные времени нарастания τн и спада τсп. Обычно τн < τсп.
6.3. Фоторезисторы
6.3.1. Технология изготовления и конструкция
Основная часть конструкции фоторезистора – фоточувствительный слой полупроводника, выполненный в виде моно- или поликристаллической пластинки или пленки на диэлектрической подложке с металлическими электродами.
В качестве полупроводникового материала используются собственные полупроводники: CdS (максимальная чувствительность в зеленой области спектра, пригоден для измерителей освещенности), CdSe (максимальная чувствительность в красной области спектра), ZnS (работает в ИК-диапазоне 1,5 – 2,5 мкм), PbSe, InSb (для ИК-диапазона 3 – 3,5 мкм), твердые растворы CdTe – HgTe (работают в ИК-диапазоне 7 – 14 мкм), а также используются примесные полупроводники, например, Ge и Si, для ИК-диапазона 5 – 30 мкм.
В табл. 6.2 приведены длины волн, соответствующие максимумам спектральной чувствительности λmax, ширина запрещенной зоны Еg полупроводников, применяемых для изготовления фоторезисторов. Поверхность фоточувствительного слоя между электродами называют рабочей площадкой, она может иметь прямоугольную форму, может быть в виде меандра или кольца. Площадь рабочей площадки от 0,1 до 10 мм2. Вся конструкция помещается в пластмассовый или металлический корпус.
Таблица 6.2
Параметры полупроводников, используемых
в фоторезисторах
Материал |
Еg, эВ |
λmax, мкм |
Марка фоторезистора |
PbS |
0,4 |
2,5 |
ФСА |
Bi2S3 |
1,3 |
0,95 |
ФСБ |
CdS |
2,4 |
0,5 |
ФСК |
CdSe |
1,7 |
0,7 |
ФСД |
6.3.2. Характеристики и параметры
ВАХ – зависимость темнового тока Iт и светового тока Iсв при неизменной величине светового потока от приложенного напряжения, В рабочем диапазоне ВАХ линейна.
Световая или люкс-амперная характеристика – зависимость фототока IФ = Iсв – Iт от освещенности Е (или от светового потока). Обычно сублинейна (рис. 6.4).
Спектральная характеристика – зависимость IФ от λ. На рис. 6.5 приведены усредненные спектральные зависимости различных фоторезисторов.
Рис. 6.5. Усредненные спектральные характеристики
различных фоторезисторов: 1 – ФСК; 2 – ФСД;
3 – ФСА; 4 – СФ-4
Постоянную времени τ измеряют при освещенности 200 лк и температуре 20 °С при сопротивлении нагрузки Rнагр < 1 кОм; τ различных фоторезисторов лежит в пределах от 10 мкс до 10 мс.
Темновое сопротивление определяют через 30 с после затемнения фоторезистора, находившегося при освещенности 200 лк.
Удельная интегральная чувствительность – отношение фототока к световому потоку и приложенному напряжению:
К0 = . (6.5)
Для различных фоторезисторов К0 = 1 – 600 .