- •3.1 Потенц барьер на пов-ти. Работа выхода.
- •3.2 Термоелектронна емісія та її закони.
- •3.3 Термоелектронна емісія при наявності електричного поля (ефект Шотткі). Електростатична (автоелектронна ) емісія.
- •3.4 Фотоелектронна емісія і її закони. Характеристика і параметри фотоелектронної емісії.
- •3.5 Вторичная электронная эмиссия.
- •3,8 Рух електрона в однорідному магнітному полі. Магнітні лінзи
- •3.9 Влияние объемного заряда на прохождение электрического тока в двухэлектродных системах
- •3.11 Термічне вакуумне напилення.
- •3,13 Іонне легування. Фізичні основи.
- •3.10. Іонізація атомів газу. Види ел. Розряду в газі
- •Электричество. При дальнейшей откачке светящийся шнур размывается и расширяется, и свечение заполняет почти всю трубку. Применяется в люминесцентных лампах.
- •3.12 Термічне окислення кремнію
- •3.14.Оптична та рентгенівська літографія.
- •3.15 Отримання кристалів із розплавів. Метод Чохральского
- •3.16 Кристаллизационные процессы
- •3.19 Технологія дифузійного легування.
- •3.20 Катодное распыление,
- •3.7 Движение электрона в неоднородном электрическом поле (фокусирование и рассеивание электронного потока). Электростатические линзы.
3.3 Термоелектронна емісія при наявності електричного поля (ефект Шотткі). Електростатична (автоелектронна ) емісія.
В электронных лампах кроме нагретого катода, между катодом и анодом есть ускоряющее поле, способствующее выходу электронов из катода, тем самым увеличивая термоэлектронную эмиссию – эффект Шоттки.
Электрон, выходя из пов-ти катода, испытывает силу изображения, которая его тормозит
-кривая 1 – распределение потенциала электрического поля изображения (потенциальный барьер в пространстве у поверхности катода в отсутствие внешнего электрического поля);
-кривая 2 – изменение силы электрического изображения, действующей на эл-н до расстояния (константа, толщина двойного заряженного слоя).
Если приложить внешнее электрическое поле, то распределение потенциала вблизи пов-ти катода изменится. Изменится форма и величина потенциального барьера вблизи катода. Пусть катод и анод 2 гладкие параллельные пластины, тогда распределение потенциала между ними – 3.
В результате действия внешнего электрического поля и силы электрического изображения, возникает результирующее поле – кривая 4. Сила, с которой действует результирующее поле – кривая 5.
Вблизи пов-ти анода на эл-н действует тормозящая сила, т. к. в этом месте сила электронного изображения уравновешивается силой внешнего поля. При на эл-н действует ускоряющая сила результирующего электрического поля, т. к. в этой области пространства сила внешнего электрического поля превышает силу поля электронного изображения. Такм образом в случае внешнего электрического поля электронам приходится совершать работу по преодолению тормозящей силы только на участке пути , т е значение работы выхода
Учёт влияния электрического поля на термоэлектронную эмиссию возможен в случае, если катод идеально гладкий. В тех случаях, когда катод имеет шероховатость, то возле неровностей катода величина напряжённости электрического поля будет больше, чем на гладких участках. Наличие таких неровностей приводит к значительному увеличению тока эмиссии. В силу этого, как правило, у всех катодов с активированной пов-ти эффект Шоттки проявляется сильнее, чем у однородного металлического катода. При введении в металлический катод примесей другого металла снижается . Если на поверхность катода осадить металл с меньшей , то это тоже снизит общую .
Электростатическая эмиссия.
При увеличении Е, ток эмиссии будет увеличиваться и когда за счёт внешнего поля будет полностью компенсирована работа выхода, ток эмиссии должен достигнуть наибольшего возможного значения при данном значении тем-ры.
. В этом случае наблюдается электростатическая эмиссия . Е меньше в случае активированного катода. При расчёте электрических полей по формуле напряжённость эл поля при электростатич эмиссии .
При введении внешнего поля потенциальный барьер становится ниже и уже. В то же время вершина барьера даже при очень сильных полях намного больше уровня Ферми. Даже при очень низкой тем-ре нет эл-нов, способных преодолеть барьер. На практике наблюдается эмиссия. Предполагают, что есть эл-ны. Которые преодолевают барьер, не затрачивая на это работу , а как бы проходят сквозь него. Такие переходы наз туннельными
Вероятность такого прохождения будет тем больше, чем уже барьер и чем быстрее спадает потенциал вне металла.
Плотность тока электростатич эмиссии
, , .
Несоответствие между теорией и практикой связано с тем, что электрическое поле, однородное в пространстве между катодом и анодом, вблизи катода становится неоднородным и в районе даже микроскопических выступов катода значительно больше,чем на гладкой пов-ти.
Преимущества и недостатки. 1)Такой катод позволяет получать эмиссионный ток большой плотности ~108 А/см2.2)автоэлектронный катод не требует расхода электронов на канал, практически безинерционен. 3)Сильная зависимость тока автоэлектронной эмиссии от Е позволяет получить ВАХ с большой крутизной. Недстатком является небольшой срок службы, т. к. в больших эл полях ионы остаточной среды бомбардируют катод и тем самым разрушают его. Для увеличения срока службы и улучшения стабильности работы необходм сверхвысокий вакуум 10-9-10-12 мм рт. ст. На стабльность эмиссии большое влияние оказывает адсорбция катодом остаточного газа