- •Вакуумная и плазменная электроника
- •1 Электровакуумные приборы
- •Электроны в твердом теле
- •1.2. Термоэлектронная эмиссия
- •Термоэлектронные катоды
- •1.3.1. Параметры катодов
- •1.3.2. Типы катодов
- •1.3.3. Катоды из чистых металлов
- •1.3.4. Пленочные катоды
- •1.3.5. Полупроводниковые катоды
- •1.3.6. Конструкции катодов и особенности их эксплуатации
- •1.4. Прохождение тока в вакууме
- •1.4.1. Пространственный заряд в диоде
- •1.6. Трехэлектродные электронные лампы (триоды)
- •1.7. Тетрод
- •1.8. Классификация и система обозначения электронных ламп
- •1.9. Электровакуумные приборы сверхвысоких частот
- •1.10. Электронно-лучевые трубки
- •2 Ионные приборы
- •2.1. Основы физики процессов в ионных приборах
- •2.2. Несамостоятельный разряд в газе
- •2.3. Самостоятельный разряд в газе
- •2.4. Виды ионных приборов
- •2.5. Трубчатые люминесцентные лампы
- •2.6. Газоразрядные лампы высокого давления
- •2.7. Индикаторные газоразрядные приборы
- •3 Электронно-ионная технология
- •3.1. Взаимодействие ускоренных электронов с веществом
- •3.2. Тепловые эффекты при электронно-лучевом нагреве
- •3.3. Технологические процессы с электронным нагревом
- •3.4. Установки для термических процессов электронной технологии
- •3.5. Технология и оборудование нетермической электронно-лучевой обработки
- •3.6. Электронно-зондовые методы анализа веществ
- •3.7. Ионная обработка материалов
3.2. Тепловые эффекты при электронно-лучевом нагреве
На первой стадии передачи энергии веществу происходит ионизация или возбуждение атомов вещества, появляются высокоэнергетичные неравновесные электроны в зоне проводимости. В результате электрон-электронных столкновений энергии свободных электронов выравниваются, и электронный газ нагревается за время порядка 10-13 с. Затем в ходе ряда неупругих столкновений электронов с ионами за время порядка 10-11 с электроны передают избыточную энергию кристаллической решетке, в результате температуры решетки и электронного газа выровняются, при этом вещество нагреется, так как температура электронного газа выше температуры решетки.
На следующей стадии произойдет развозбуждение атомов вещества, при котором избыточная энергия частично перейдет в тепловую, другая ее часть будет израсходована на генерацию электромагнитного излучения. Так как время жизни атомов в возбужденном состоянии порядка 10-9 с, то по истечении этого времени после попадания электронов в вещество можно говорить о единой физической температуре системы «электроны – решетка».
Распределение температуры в толще материала при облучении зависит от его теплопроводности. Так, для материалов с высокой теплопроводностью, например, для меди, температура поверхности слабо зависит от энергии электронов; у материалов с примерно такой же плотностью, но с меньшей теплопроводностью (нержавеющая сталь) температура поверхности существенно ниже максимальной температуры на глубине , где температура может превышать температуру кипения. Вольфрам имеет более высокую плотность, поэтому тепловой источник локализуется ближе к поверхности, а сравнительно высокая теплопроводность позволяет выравнять температуру по глубине.
При достаточно большой плотности мощности луча происходит испарение вещества без его расплавления (сублимация). Если пренебречь потерями на теплопроводность и излучение, то подводимая энергия
= ,
где P - мощность луча, - плотность материала, Lисп - теплота испарения,
S - площадь сечения луча, - глубина испаряемого материала за время .
Глубина образовавшейся за время t лунки
h(t) = qt/ Lисп ,
где q = P/S – плотность мощности. Выражение получено в предположении, что температура поверхности всегда равна температуре испарения и нет других потерь энергии, что далеко от реальных условий. Более детальное исследование зависимости глубины проплавления от времени показывает, что при малых временах нагрева реальная скорость испарения велика и приближается к таковой без теплообмена со средой; по мере роста времени нагрева она уменьшается, стремясь к некоторой постоянной для данного материала. Глубина проплавления при малых временах воздействия луча зависит от времени линейно; при больших временах скорость снижается и, начиная с некоторого значения времени, глубина проплавления перестает расти. Особый случай – так называемое «кинжальное» проплавление имеет место при скорости выделения тепловой энергии, превышающей ее отвод за счет за счет теплопроводности, излучения и испарения. При кинжальном проплавлении глубина проплавления значительно превышает глубину проникновения электронов в твердую фазу, ее значение зависит от множества факторов, а отношение глубины проплавления к диаметру электронного луча достигает 40 … 50.
На поверхности расплавленного металла действуют силы, стремящиеся прогнуть поверхность расплава и вытеснить расплавленный металл из зоны действия луча, образуя кратер. Эти силы обусловлены давлением электронного луча и реактивным давлением испаряющихся частиц, они уравновешиваются гидростатическим давлением столба жидкости и силами поверхностного натяжения жидкого металла. При глубоком проплавлении в месте воздействия луча образуется пароплазменный канал, длина пробега электронов возрастает, и дно канала дополнительно разогревается от электронной бомбардировки, из-за вскипания жидкой фазы происходит ее выброс из канала наружу. Процесс образования канала неустойчив и носит пульсирующий характер.