Лекция 1. Введение
. Представляемая учебная дисциплина «Эллип-сометрия» отвечает нормативам государственных образовательных стандартов высшего профессионального образования (ГОС ВПО) для студентов Московского государственного техни-ческого университета (МГТУ) им. Н.Э. Баумана. Содержание её задано учебной программой объёмом в 51 учебный час для лекционных занятий и 34 часа для самостоятельной работы.
Термин «эллипсометрия» в титульном названии учебной дисциплины привязан к теоретическим и экспериментальным методам и научно-техническим средствам изучения поверхностей широкого класса планарных систем и текущего контроля (или мониторинга) физических и технологических процессов, протекающих во времени на поверхности тел или на границах их контакта. Применение методов и средств эллип-сометрии в науке, технике, наукоёмких технологиях и на производстве опирается на возможность ловить изменения в поляризации света при взаимодействии его с поверхностными и меж-слойными областями тел, с коими имеют дело в наукоёмких технологиях, в частносим, нано-технологии, биологии, медицине и экологии.
ЦЕЛИ учебной дисциплины «Эллипсометрия» представляются как:
–1) расширение профессионального кругозора и эрудиции будущих специалистов высшей квалификации в области фундаментальных и прикладных исследований и разработок в оптике и оптотехнике; –2) знакомство с современными научными достижениями и актуальными задачами оптики и оптотехники как основы оптического приборостроения;
– 3) освоение эллипсометрии как направления в области фундаментальных и прикладных исследований и научно-технических разработок;
–4) овладение основами методологии научно-исследовательских работ (НИР) и научно-исследо-вательских опытно-конструкторских работ (НИОКР); –5) подготовка к НИР.
ЗАДАЧИ нашей учебной дисциплины состоят в достижении поставленных перед ней целей. Для обеспечения этих целей и задач предусмотрены: (1) лекции в 51 учебный час за 17 учебных недель, (2) самостоятельная работа на 34 часа; (3) рубежные контроли её выполнения: рубежный контроль № 1 (1 час) – письменная работа на лекции 9 по темам первых шести учебных недель (от темы «Сложные системы и синергетика» до темы «Матрицы Джонса и их преоб-разования»); рубежный контроль № 2 (1 час) – письменная работа на лекции 18 по темам следующих 712 учебных недель (от темы «Прямая и обратная задача эллипсометрии» до темы «Интерференционная ИК фурье-спектро-эллипсометрия); (4) зачёт; (5) учебно-методические материалы в виде основной и дополнительной литературы.
УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Основная литература
1. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет.– М.,1981.
2. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. – М., 1970. .
3. Белл Р.Дж. Введение в фурье-спектроскопию. – М., 1966. .
4. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. – М.. 2003.
5. Кирьянов А.П. Научно-технические проблемы естествознания. – М., 2003.
6. Горшков М.М. Эллипсометрия. – М.: Советское радио, 1974. .
7. Урывский Ю.И. Эллипсометрия. – Воронеж, из-во Университета, 1971.
Дополнительная литература
1. Арнольд В.И. Теория катастроф. – М., 1983. . .
2. Некорректные задачи естествознания. – М., 1987. .
3. Основы эллипсометрии. Под ред. Ржанова А.В. – Новосибирск, 1983. .
4. Хакен Г. Синергетика. Иерархия неустойчивостей в самоорганизующихся системах и устройствах. – М., 1985. .
5. Физический энциклопедический словарь. Главный редактор А.М.Про-хоров. – М., 1984.