Министерство образования и науки РФ

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования

«Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана» (МГТУ им. Н.Э. Баумана)

Кафедра «Оптико-электронные приборы

научных исследований»

Кирьянов а.П. Эллипсометрия

учебное пособие

Утверждено в качестве учебного пособия

Редакционно-издательским советом МГТУ имени Н.Э.Баумана

М.: МГТУ, 2010.

Содержание

стр.

Л.1. Введение 04

Л.2. Сложные системы и синергетика 12

Л.3. Поляризация света и однородная плоская ТЕ-волна 16

Л.4. Эллиптическая поляризация света 20

Л.5. Вектор Джонса и параметры Стокса для плоских ТЕ-волн 24

Л.6. Поляризаторы и анализаторы, компенсаторы и поляризационные

призмы. – часть 1. 29 Л.7. Поляризаторы и анализаторы, компенсаторы и поляризационные

призмы. – часть 2. 33 Л.8. Матрицы Джонса и их преобразования при повороте системы

координат. Круговая матрица Джонса 43

Л.9. Понятие о прямой и обратной задачах эллипсометрии 53

Л.10. Собственные поляризации оптических систем 61 Л.11. Нуль-эллипсометры и их автоматизация 66 Л.12. Ненулевые фотоэлектрические эллипсометры (рефракционные,

с дискретным изменением поляризации, интерференционные) 103 Л.13. Анализ погрешностей эллипсометрических измерений. . . Оценка чувствительности эллипсометров 111

Л.14.Методы спектроэллипсометрии и принципы построения спектро- . . эллипсометров. Спектральный фазомодуляционный эллипсометр 118

Л.15. Основы ИК фурье-спектрометрии; фазовая модуляция 124 Л.16. Интерферограммы; фурье-преобразование.Теорема Котельникова 132 Л.17. Основные уравнения ИК фурье-спектроэллипсометрии. . . Разрешение и чувствительность ИК фурье-спектроэллипсометра 137

Л.18. Трудности традиционной эллипсометрии при измерениях in situ. . . Понятие о холоэллипсометрии и холоэллипсометрах 144 Л.19. Холоэллипсометр-27 для измерений in situ. 151

Л.20. Уравнения холоэллипсометрии для одного и двух оптически . . .изотропных поглощающих слоёв на поглощающей подложке 156 Л.21. О симметризации аппаратной функции холоэллипсометра.

Гетеродинная холоэллипсометрия. Обнаружительная . . способность холоэллипсометра 169

Л.22. Интерференционная ИК фурье-спектрохолоэллипсометрия 175

Л.23. Применения эллипсометрии-1: литографический мониторинг 192 Л.24. Применения эллипсометрии-2: мониторингадсорбции и окисления на поверхности тел; электрохимия; иммунологические реакции; .

. экология окружающей среды 204 . Программа учебной дисциплины «Эллипсометрия» 201

Список вопросов к Контрольным рубежам 202