- •Содержание
- •Предисловие
- •Список обозначений
- •Соотношения между величинами
- •1 Низкотемпературная плазма
- •Лекция 1
- •1.1.Введение
- •1.1.1.Определение низкотемпературной плазмы
- •1.1.2.Некоторые определения и оценки
- •1.1.3.Классификация плазм по степени равновесности
- •1.2.3.Теория элементарных процессов
- •1.2.4.Метод переходного состояния
- •Лекция 2
- •1.2.5.Неравновесные эффекты в реакциях
- •1.2.6.Мономолекулярные реакции
- •1.2.7.Бимолекулярные реакции
- •1.2.8.Вращательная и колебательная релаксация
- •Лекция 3
- •1.3.Основные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.3.1.Упругие столкновения и перезарядка
- •1.3.2.Ионизация электронным ударом и ударная рекомбинация
- •1.3.3.Теория Томсона
- •1.3.4.Ионизация тяжелыми частицами и тройная рекомбинация
- •1.3.5.Пеннинговская ионизация
- •1.3.6.Отрицательные ионы
- •1.3.7.Принцип Франка-Кондона
- •1.3.10.Вычисление скорости диссоциативной рекомбинации
- •1.3.11.Состояние продуктов диссоциативной рекомбинации
- •1.3.12.Сравнение скоростей рекомбинации для гелиевой плазмы
- •Лекция 4
- •1.4.Излучательные процессы в низкотемпературной плазме
- •1.4.2.Тормозное излучение и поглощение
- •1.4.4.Доплеровское уширение. Фойгтовский профиль
- •1.4.5.Уширение давлением
- •1.4.6.Возбуждение и тушение электронных состояний
- •1.4.7.Диффузия связанного электрона в энергетичеcком пространстве; ударно-радиационная рекомбинация
- •1.4.8.Модифицированное диффузионное приближение
- •1.4.9.Ударно-диссоциативная рекомбинация и ударно-ассоциативная ионизация
- •Лекция 5
- •1.5.Радиационный перенос
- •1.5.2.Уравнение переноса возбуждения
- •1.5.3.Перенос излучения в плоско-параллельном слое
- •1.5.4.Перенос тормозного излучения
- •1.5.5.Перенос линейчатого излучения
- •1.6.1.Повверхность как источник примесей
- •1.6.2.Взаимодействие заряженных частиц с поверхностями
- •1.6.3.Фотоэлектронная эмиссия
- •1.6.4.Термо-автоэлектронная и взрывная эмиссия
- •Лекция 6
- •1.7.1.Кинетическое уравнение для плазмы
- •1.7.2.Столкновения электронов с газом в электрическом поле
- •1.7.3.Симметричная и асимметричная части ФР
- •1.7.4.Уравнение для энергетического спектра электронов
- •1.7.5.Уравнение для симметричной части функции распределения
- •1.7.6.Влияние неупругих столкновений
- •1.7.7.Стационарные ФРЭ в низкотемпературной плазме
- •Лекция 7
- •1.8.1.ФРЭ при наличии источника быстрых электронов
- •2 Электрический пробой газа
- •Лекция 8
- •2.1.1.Первый коэффициент Таунсенда
- •2.1.3.Токи носителей в плоском разрядном промежутке
- •2.1.4.Ток во внешней цепи
- •Лекция 9
- •2.1.5.Серии лавин
- •2.1.6.Статистика лавинного усиления
- •2.1.7.Статистика серии лавин
- •Лекция 10
- •2.3.1.Механизм пробоя
- •2.3.3.Переход пробоя от одного типа к другому
- •2.3.4.Искра
- •Лекция 11
- •2.4.Электрический пробой в неоднородных полях и длинных промежутках
- •2.4.1.Коронный разяд
- •Лекция 12
- •3.Установившийся ток в газе
- •3.1.Классификация разрядов
- •3.4.Тлеющий разряд
- •3.4.1.Феноменологическое описание тлеющего разряда
- •3.4.2.Формирование катодного слоя
- •Библиографический список
- •Предметный указатель
2.3.3.Переход пробоя от одного типа к другому
Рис. 72: Схема перехода лавины в стример.
Согласно Мику пробой реализуется в течение 30 с, если i0 10−13 А/см2 1 электрон/мкс·см2. Теории и экспериментальные данные свидетельствуют, что стример образуется, когда в лавине содержится
108 −109 электронов. Величину αd 20 принимают в качестве эмпирического критерия пробоя для не слишком длинных разрядных промежутков. Небольшое перенапряжение очень сильно облегчает пробой (переход в стример). При промежуточных значениях напряжения разряд может начаться по таунсендовскому механизму, но далее, по мере накопления пространственного заряда и роста коэффициента газового усиления, одна из лавин перерастает в стример, после чего происходит стримерный пробой промежутка (рис. 72).
Рис. 73: Зависимость потерь энергии электрона при столкновениях от энергии электрона.
142
При более высоких напряжениях может возникнуть ситуация, когда направленная кинетическая энергия электронов становится сравнимой с их полной кинетической энергией. Высокая проникающая способность электронов и жестких фотонов приводит к ионизации газа вдали от первичной лавины, и разряд приобретает
диффузный характер. |
|
|
|
|
|
Изменение энергии электронов в электрическом поле равно |
|
||||
|
dE |
= eE |
dE |
, |
(2.3.17) |
|
z |
− dz loss |
|||
|
|
|
|
где (dE/dz)loss – полные потери электронов в соударениях. При высоких энергиях это, в основном, неупругие потери. Типичная зависимость (dE/dz)loss от E показана на рис. 73. С увеличением напряженности поля средняя направленная энергия электронов увеличивается, а разность энергий (E2 − E1) между восходящей и нисходящей ветвями кривой и высота барьера уменьшаются. Часть элнктронов а процессе ускорения может преодолеть барьер и приобрести энергию выше E2. В этой области потери при столкновениях уменьшаются с ростом энергии, и электроны непрерывно ускоряются.
Если поле достигает значения Ecr, все электроны попадают в режим непрерывного ускорения (“просвистывающие электроны”). Оценки показывают (см. [6]), что для азота Ecr = 90 кВ/см, то есть в три раза выше пробивного.
2.3.4.Искра
Как следует из вышеизложенного, электрический пробой промежутка начинается всегда с формирования первичной лавины. Последующие события, происходящие между катодом и анодом, существенно зависят от многих обстоятельств, и приводят либо к затуханию последовательности лавин, либо к перерастанию одной из лавин в стример, создающий тонкий проводящий плазменный канал между электродами. Проводимость этого канала еще слишком мала, чтобы понизить напряжение на электродах, но после достижения головкой стримера анода, от анода начинает развиваться более мощный катодонаправленный стример, практически несущий потенциал анода. На его фронте развивается очень высокие напряженности поля, интенсивно ионизующие газ. Фронт волны распространяется с фазовой скоростью 109 см/с (хотя скорость самих электронов значительно ниже). Значительную роль при этом играет фотоионизация.
После достижения стримером катода образуется плазменный канал, в котором начинается интенсивное выделение джоулевого тепла. Быстрый нагрев канала генерирует цилиндрическую ударную волну, ионизирующую окружающий газ и вызывающую расширение канала. Плотность электронов в канале может достигать величины 1017 см−3, а температура – 2 эВ. При таких параметрах проводимость определяется кулоновскими столкновениями и не зависит от плотности электронов. Ток через промежуток возрастает за счет расширения канала до 1 см и достигает величины 104–105 А, “подсаживая” напряжение на электродах и снижая поле в канале до значения E 100 В/см.
В результате между электродами возникает ярко светящийся нитевидный канал, который называют искрой. Поскольку источником напряжения в экспериментах по пробою обычно являются конденсаторы, то
143