- •11.1 Методы выращивания кристаллов в электронной технике
- •11.1.1. Методы выращивания твердотельных диэлектрических монокристаллов.
- •11.1.1.1 Общие вопросы кристаллизации из расплава
- •11.1.1.2. Методы выращивания диэлектрических лазерных кристаллов из расплава
- •11.1.1.3. Метод Вернейля
- •11.1.1.4. Метод Чохральского
- •11.1.1.5. Метод горизонтально направленной кристаллизации (метод Багдасарова)
- •11.1.1.6. Meтод вертикально направленной кристаллизации
- •11.1.1.7 Применение индукционного нагрева для выращивания лазерных монокристаллов
- •11.1.1.8.Водоохлаждамые контейнеры в технологии выращивания кристаллов
- •11.1.7.2 Гарнисажный метод выращивания кристаллов
- •11.1.1.8. Новые экспрессные методы выращивания тугоплавких лазерных монокристаллов
- •11.1.2 Выращивание диэлектрических кристаллов из высокотемпературных растворов
- •11.1.2.1. Составы растворителей, используемые для выращивания лазерных кристаллов
- •11.1.2.2. Методы выращивания лазерных кристаллов из высокотемпературных растворов
- •2.10.3 Гидротермальный синтез диэлектрических сплавов
- •11.1.3.1. Общие проблемы гидротермального синтеза
- •11.1.3.2. Основы метода гидротермальной кристаллизации
- •11.1.3.3. Термодинамические и кинетические условия гидротермальной кристаллизации
- •11.1.3.4 Аппаратура и методика эксперимента
- •11.1.3.5. Гидротермальный синтез кристаллов методом температурного перепада
- •11.1.3.6. Гидротермальный синтез кристаллов методов "метастабильной фазы"
11.1.3.4 Аппаратура и методика эксперимента
Эксперименты по гидротермальному выращиванию монокристаллов проводят в автоклавах - гидротермальных реакторах, в которых давление создается за счет расширения жидкости при нагревании. Описаны различные конструкции автоклавов. Различия автоклавов сводятся в основном, к особенностям конструкций затворов. Общим для всех затворов является нажимная гайка, обтюратор, прокладка и стальное кольцо. Для получения кристаллов чаще всего используются автоклавы с цилиндрическим самоуправляющимся затвором (рис. 11.1.3.3), принцип работы которого разработан Бриджменом. Для цилиндрического затвора в верхней части автоклава высверливается "гнездо" в виде цилиндра, диаметром несколько большим, чем внутренняя полость автоклава.
Рис. 11.1.3.3. Конструкция автоклава: 1 - корпус автоклава, 2 - нажимная гайка, 3 - обтюратор, 4 - стальное кольцо, 5 - медное кольцо, 6 - футеровочный вкладыш, 7 - крышка автоклава
Внешний диаметр медного кольца (прокладки) и стального кольца должны соответствовать диаметру "гнезда". Первоначальное уплотнение в цилиндрическом затворе создается за счет раздавливания нажимной гайкой кольца. В дальнейшем, по мере роста внутреннего давления обтюратора, он движется вверх и сдавливает медное кольцо. Вытеканию меди препятствует стальное кольцо, которое удерживается нажимной гайкой. Эксперименты чаще проводятся в автоклавах объемом 50 и 161 см3. Если синтез соединений проводится в агрессивной среде, то внутренняя полость автоклавов требует специальных мер защиты от коррозии. Обычно применяются для этой цели различного рода футеровки (вкладыши) из инертных к данной среде материалов. При низких температурах (Т == 350°С) используются футеровочные вкладыши из фторопластов плавающего типа. Плавающие вкладыши представляют собой стакан цилиндрического типа с закручивающейся крышкой. Крышка вкладыша и стакан изготавливаются из одного материала. Вкладыш помещается во внутреннюю полость автоклава, и пространство между стенками автоклава и вкладышем заполняется, чтобы давление внутри и вне вкладыша было одинаковым.
Для создания необходимой температуры для выращивания кристаллов автоклавы помещаются в печь сопротивления индивидуального типа (рис. 11.1.3.4). Наличие в такой печи двух нагревателей позволяет изменять и регулировать температурный перепад в широком диапазоне температур. Нагреватель в такой печи наматывается на металлическую трубу, которая изготавливается из термостойкого материала, обладающего одновременно нужной теплопроводностью. Для получения ровного градиента температур в пределах зоны растворений и зоны кристаллизации пространство между нагревателем и внешней стенкой печи засыпается кварцевым песком, окисью алюминия и асбестовой крошкой. Температура измеряется хромель-алюмелевыми термопарами с точностью 2 С, помешенными в корпус автоклава в двух точках (первая точка на уровне зоны растворения, вторая - на уровне зоны роста) и стабилизируется опытными способами.
11.1.3.5. Гидротермальный синтез кристаллов методом температурного перепада
Из существующих разновидностей гидротермального синтеза для выращивания лазерных монокристаллов используются: метод температурного перепада и метод "метастабильной фазы". Выращивание монокристаллов по первому методу производится следующим образом (рис. 11.1.3.5): исходный материал (шихту) помещают в нижнюю часть автоклава, заполняемого на 50-70% водой вместе с минерализаторами типа Na2ОН, Na2CO3 , КОН и К2СО3. Давление в автоклаве создается за счет расширения водяного пара. В верхней части автоклава подвешиваются один или несколько затравочных кристаллов. Между нижней и верхней частью автоклава помещается перегородка с отверстиями, которая в конечном счете препятствует быстрому выравниванию температуры между верхней и нижней частью, т. е. сохраняет температурный градиент и создает определенным образом направленный конвективный поток.
Рис. 11.1.3.4. Индивидуальная печь сопротивления: 1 - корпус печи: 2 - местонахождение термопар, 3 - нагреватель, 4 - автоклав, 5 - термоизоляционная засыпка
Герметически закрытый автоклав помещается в двухзонную печь так, чтобы нижняя часть его была нагрета до температуры 360 -550°С, а температура верхней меньше на 20 - 50°. В этих условиях в нижней части образуется насыщенный раствор, находящийся в контакте с исходными материалами. Путем конвекции вещество переносится в верхнюю часть автоклава к затравке, где при более низкой температуре раствор становится перенасыщенным. Избыток растворенного вещества осаждается на затравочных кристаллах. Обедненный раствор возвращается к нерастворенному холодному материалу в нижнюю часть автоклава и цикл повторяется.
По существу речь идет о транспортных реакциях, при которых введенный в систему минерализатор является составной частью транспортирующего агента. Перенос вещества, как правило, происходит с участием химических реакций. Одним из основных условий переноса является градиент концентраций, создаваемый температурным градиентом по длине автоклава.
Рис. 11.1.3.5. Схема выращивания монокристаллов гидротермальным методом:1 - исходный материал, 2 - автоклав, 3 - перегородка с отверстиями, 4 - затравочные кристаллы
Рост кристаллов при методе температурного перепада определяется, с одной стороны, молекулярно-кинетическими и физико-химическими процессами на границе раздела растущий кристалл - раствор, а с другой - явлениями, протекающими в объеме внешней по отношению к этой границе среды. Объемные процессы включают растворение вещества и перенос его в растворенном состоянии к кристаллической поверхности. Поступление вещества к растущему кристаллу обеспечивается конвекционным движением раствора и последующей диффузией вещества непосредственно к кристаллическим граням. Диффузия часто играет важную роль при росте кристаллов из многокомпонентных систем. Диффундирующий к растущей кристаллической грани материал может быть усвоен ею или отторгнут. Растущая поверхность служит оттоком для компонента, образующего кристалл. Процессы на границе раздела фаз включают элементарные акты роста кристаллов, поверхностную диффузию и физико-химические явления, обусловленные наличием раствора и взаимодействием его с поверхностью. Таким образом, у поверхности раздела возникает такой градиент концентрации, что с удалением от границы раздела концентрация возрастает для вещества, усваивающегося растущим кристаллом и убывает для отталкиваемых компонентов, не участвующих в построении кристалла.
Варьируя геометрию системы, можно подобрать такие условия, при которых влияние растворения на скорость роста перестает быть существенным. В ряде случаев для этого достаточно сильно увеличить площадь поверхности растворяющейся твердой фазы. Выращивание кристаллов методом температурного перепада связано с перемещением твердого вещества из "горячей" части автоклава в более "холодную". Это перемещение материала в автоклаве можно наблюдать в процессе опыта как перемещение массы, центра тяжести системы или объема твердой фазы. Таким образом, в специально оборудованных установках появляется возможность следить за кинетикой процесса перекристаллизации вещества, а следовательно, и управлять ею в течение опыта, варьируя, например, разность температур между зонами роста и растворения кристаллов.