книги из ГПНТБ / Волосатов, В. А. Ультразвуковая обработка

с лучшими моделями универсальных станков. На нем можно успешно производить обработку полупроводнико­ вых, а также других твердых хрупких материалов. Полу­ автоматический цикл обеспечивает подвод стола с за­ готовкой к инструменту с небольшим усилием, предот­ вращающим появление сколов на детали, увеличение усилия подачи для получения оптимальной производи­ тельности и, наконец, снижение усилия на выходе инст­ румента.

Станок мод. МЭ-34 позволяет регулировать усилия подачи от 0,5 до б кГ с чувствительностью 0,2 кГ. Резо­ нансная частота преобразователей — 22 кгц; мощность каждой головки—1,5 кет. Станок оборудуется двумя генераторами типа УЗМ-1,5.

Станки такого типа могут успешно применяться в условиях массового производства полупроводниковых приборов и других изделий электронной и радиотехни­ ческой промышленности.

В кабельной, инструментальной и других отраслях промышленности применяются ультразвуковые специа­ лизированные станки для обработки рабочих отверстий в твердосплавных и алмазных волоках, фильерах и т. п. деталях, изготовляемых большими партиями. Одним из лучших станков такого назначения является станок-по­ луавтомат мод. МЭ-22 (рис. 65). На станке за одну установку производится обработка входной распушки волоки, смазочного и рабочего конусов, а также калиб­ рующей части отверстия. Инструмент — стальная вра­ щающаяся игла, колеблющаяся в осевом направлении с ультразвуковой частотой.

Игла с помощью накидной гайки закрепляется в концентраторе, который посредством резьбового хвосто­ вика с посадочной проточкой скреплен с фланцем двухстержневого преобразователя. Последний выполнен из набора никелевых пластин. Колебательная система кре­ пится в головке посредством резонансной мембраны и стакана, смонтированного на опорах качения. Для пе­ редачи напряжения от генератора на преобразователь имеется коллектор, закрепленный на стакане.

Охлаждение преобразователя — воздушное, путем от­ соса воздуха вентилятором, установленным в полости нижней части основания.

Обрабатываемая заготовка закрепляется в ванночке стола, куда заливается водная суспензия алмазной

16

пудры. Поддержание абразива во взвешенном состоянии осуществляется посредством диафрагменного пульсато­ ра, который изменяет объем воздуха в каналах ванноч­ ки. Рабочее давление заготовки на инструмент создается электромагнитной системой, обеспечивающей постоян­ ство усилия подачи на всей длине рабочего хода (4 мм).

Рабочий профиль инструмента затачивается непосред­ ственно на станке с помощью специального механизма заточки. Благодаря этому почти полностью исключается биение инструмента и повышается точность обработки. Контроль качества и геометрии заточки инструмента производится микроскопом, расположенным непосредст­ венно на станке.

Технические характеристики станка

Аналогичен по назначению станок УЗА-5, разрабо­ танный ЦПКБ кабельного оборудования и успешно вне­ дренный в кабельной промышленности. В этом станке отлична конструкция колебательной системы. Преоб­ разователь выполнен полым (кольцевой формы) с радиально расположенными окнами, через которые про­ ходит обмотка, а концентратор — конусным стаканом, заканчивающимся цанговым зажимом. В последнем за­ крепляется игла-инструмент, колеблющаяся в осевом на­ правлении с ультразвуковой частотой. В остальном кон­ струкция станка аналогична приведенному выше.

На более мощном ультразвуковом станке мод. МЭ-32 можно обрабатывать отверстия диаметром до 15 мм. Рабочая частота колебательной системы — 22 кгц, мощ­ ность ультразвукового генератора — 0,4 кет.

В СПКТБЭО на базе станка мод. ЛЭ-400 разработа­ на и изготовляется гамма настольных ультразвуковых унифицированных станков лабораторного типа. Станок

131