Gurtov_TE
.pdfjп/п (Me) – плотность тока термоэлектронной эмиссии с поверхности полупроводника (металла)
k – волновой вектор
LD – длина экранирования Дебая Lp – диффузионная длина
m0 – масса изолированного электрона
mn (p)* – эффективная масса электрона (дырки)
– эффективная плотность состояний в зоне проводимости (в валентной
– концентрация легирующей донорной (акцепторной) примеси NM – плотность зарядов на металлической плоскости единичной площади Nss – плотность моноэнергетических состояний
Nt – концентрация рекомбинационных центров; плотность поверхностных состояний
nn – неравновесная концентрация электронов как основных носителей в полупроводнике n-типа
nn0 – равновесная концентрация электронов как основных носителей в полупроводнике n-типа
np – неравновесная концентрация электронов как неосновных носителей в полупроводнике p-типа
np0 – равновесная концентрация электронов как неосновных носителей в полупроводнике p-типа
∆n – избыточная концентрация электронов
ni – собственная концентрация носителей заряда ns – поверхностная концентрация электронов pn – неравновесная концентрация дырок
pn0 – равновесная концентрация дырок ps – поверхностная концентрация дырок
Q – электрический заряд на единицу площади
QB – заряд ионизованных доноров и акцепторов в ОПЗ на единицу площади QM – заряд на металлическом электроде
Qn – заряд свободных электронов
Qsс – заряд в области пространственного заряда Qss – заряд поверхностных состояний
R – темп рекомбинации
Rн – сопротивление нагрузки
RD – дифференциальное сопротивление диода по постоянному току rD – дифференциальное характеристическое сопротивление диода S – площадь
Т – абсолютная температура Te – электронная температура t – время
U – потенциальная энергия электронов; разность потенциалов
481
Uк – контактная разность потенциалов V – объем кристалла
VG – напряжение, приложенное к затвору полевого транзистора
VFB – напряжение на затворе МДП-структуры, соответствующее нулевому значению поверхностного потенциала в полупроводнике
Vox – напряжение, приложенное к оксиду VT – пороговое напряжение на затворе
W – толщина квазинейтрального объема базы диода или транзистора υ – скорость
x, y, z – пространственные координаты
Γn (p) – избыток электронов (дырок) γ – коэффициент рекомбинации
ε – относительная диэлектрическая проницаемость ε0 – электрическая постоянная
εs – относительная диэлектрическая проницаемость полупроводника κ– коэффициент переноса λ – длина свободного пробега; длина волны света
µn (p) – подвижность электронов (дырок) ν – частота света ρ – удельное сопротивление
σ – удельная электрическая проводимость
σn(p) – электронная (дырочная) компонента проводимости τ – время жизни неравновесных носителей τм – время релаксации Максвелла
τn – время жизни неосновных носителей в области пространственного заряда υ – скорость Ф – термодинамическая работа выхода
ФМе – термодинамическая работа выхода из металла
Фn(p) – термодинамическая работа выхода в полупроводниках n(p)-типа φ – электрический потенциал
φ0 – расстояние от уровня Ферми до середины запрещенной зоны в квазинейтральном объеме полупроводника
∆ϕms – контактная разность потенциалов φn(p) – объемное положение уровня Ферми
χ– электронное сродство полупроводника
ψ– волновая функция
ψs – поверхностный потенциал
ω – частота измерительного сигнала
482
Обозначения приборных параметров
Ниже приводятся обозначения основных параметров полупроводниковых приборов в соответствии с действующими стандартами, а также наиболее часто используемые в международной документации и других изданиях.
Для обозначения амплитудных значений добавляют индекс m. Например: Iem – амплитудный ток эмиттера.
Для обозначения максимально (минимально) допустимых значений добавляют индексы max, min.
Диод выпрямительный
C – емкость диода
CБ – барьерная емкость CD – диффузионная емкость
Cп Cd – емкость перехода диода Cд Ctot – общая емкость диода
Iэкр Iут ID – ток утечки
Iпр IF – постоянный прямой ток
Iобр IR – постоянный обратный ток If – прямой ток
Ifsm – прямой ток перегрузки Ir - постоянный обратный ток К – коэффициент выпрямления
Pмакс Pmax – максимально допустимая мощность rдиф Rd r – дифференциальное сопротивление
rD – дифференциальное характеристическое сопротивление диода RD – дифференциальное сопротивление диода по постоянному току Uпр UF – постоянное прямое напряжение
Uобр UR – постоянное обратное напряжение Ur – обратное напряжение
Uf – постоянное прямое напряжение Uоткр Uост UT – остаточное напряжение
Диод импульсный
If – прямой ток
Ifm – импульсный прямой ток
Pи.макс Pимп.макс PM макс – максимально допустимая импульсная мощность Trr – время обратного восстановления
Ur – обратное напряжение
483
Uf – прямое напряжение
Варикап
Ctot – общая емкость
Кс – коэффициент перекрытия по емкости Q – добротность варикапа
Ur – обратное напряжение
Тиристор
Uвкл – напряжение включения Uперекл – напряжение переключения
α – суммарный коэффициент передачи тока первого и второго транзисторов
Тринистор
Iупр – управляющий ток базы
Стабилитрон
Iст IZ – ток стабилизации Р – рассеиваемая мощность
Rдиф – дифференциальное сопротивление
rст rZ – дифференциальное сопротивление стабилитрона Uстаб Uст Uz UZ – напряжение стабилизации
Туннельный диод
Eпр – напряженность электрического поля пробоя
Диод Ганна
Eпор – пороговая напряженность электрического поля
P – генерируемая мощность
W – длина образца
Транзистор
P – мощность, рассеиваемая в приборе
Pвых Pout – выходная мощность
Uвх Uin, UBE – входное напряжение
484
Биполярный транзистор
Eк EC – напряжение источника питания коллекторной цепи
h11 – входное сопротивление при коротком замыкании на выходе h22 – выходная проводимость при холостом ходе во входной цепи
h12 – коэффициент обратной связи при холостом ходе во входной цепи h21 – коэффициент передачи тока при коротком замыкании на выходе IК Iк IC – ток коллектора
IБ Iб IB – ток базы
IЭ Iэ IE – ток эмиттера
IКБ0 Iк0 ICB0 – обратный ток коллектора
IЭБ0 Iэ0 IEB0 – обратный ток эмиттера
p−n – ширина обедненной области биполярного транзистора
Rб RB – сопротивление в цепи базы rб – объемное сопротивление базы rб rbb – сопротивление базы
rэ – сопротивление эмиттерного перехода rк – сопротивление коллекторного перехода
Uкб UCB – напряжение между коллектором и базой Uкэ UCE – напряжение между коллектором и эмиттером Uэб UEB – напряжение между эмиттером и базой
W – ширина базы биполярного транзистора y11, y22– входная и выходная проводимости
y12, y21 – проводимости обратной и прямой передач z11, z22 – входное и выходное сопротивления
z12, z21 – сопротивления обратной и прямой передач α – коэффициент передачи тока эмиттера β – коэффициент усиления
µэк – коэффициент обратной связи эмиттер-коллектор
γ– коэффициент инжекции, или эффективность эмиттера
χ- коэффициент переноса
η– коэффициент неоднородности базы
Полевой транзистор
Сox – удельная емкость подзатворного диэлектрика Iс ID – ток стока
Iз IG – ток затвора
IDS – ток канала исток-сток
R0 – омическое сопротивление Ri – внутреннее сопротивление S – крутизна характеристики
Uзи UGS – напряжение затвор-исток
485
Uси UDS – напряжение исток – сток Uзс UDG – напряжение сток – затвор
UЗИ пор Uпор UGS (th) VT – пороговое напряжение UЗИ отс Uотс UGS (off) – напряжение отсечки Vox – падение напряжения на окисном слое
VТ - пороговое напряжение
VSS – напряжение, приложенное к подложке– коэффициент усиления
486
Приложение
1. Физические параметры важнейших полупроводников
|
|
|
Параметр |
|
|
|
Обозна- |
Si |
Ge |
GaAs |
InSb |
|
|
|
|
|
|
|
чение |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ширина запре- |
|
300 К |
|
|
1,12 |
0,66 |
1,43 |
0,18 |
||||
щенной зоны, эВ |
|
|
|
|
Eg |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
0 К |
|
1,21 |
0,80 |
1,56 |
0,23 |
||
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Подвижность при |
|
элек |
T = 300 |
|
1500 |
3900 |
8500 |
78000 |
||||
300 К, см2·В-1·с-1 |
|
тро |
К |
µn |
||||||||
|
|
|
|
|
нов |
T = 77 |
|
|
|
105 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ды- |
T = 300 |
|
600 |
1900 |
400 |
1700 |
|
|
|
|
|
|
рок |
К |
µp |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
T = 77 |
|
|
|
5000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Эффективная мас- |
|
электронов |
mdn* |
1,08 |
0,56 |
0,068 |
0,013 |
|||||
|
m |
* |
|
|
дырок |
mdp* |
|
|
|
|
||
са, |
|
|
|
|
|
|
0,56 |
0,35 |
0,45 |
0,6 |
||
m0 |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Эффективная плот- |
|
|
T = 300 К |
|
2,8·1019 |
1,04·1019 |
4,7·1017 |
3,7·1016 |
||||
ность состояний в |
|
NC |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||
зоне проводимости, |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
T = 77 К |
3,6·1018 |
1,4·1019 |
5,8·1016 |
5,1·1015 |
|||||||
|
|
|||||||||||
см-3 |
|
|
|
|
|
|||||||
Эффективная плот- |
|
T = 300 К |
NV |
1,02·1019 |
6,11·1018 |
7,0·1018 |
1,16·1019 |
|||||
ность состояний в |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
T = 77 К |
1,4·1018 |
6,9·1018 |
9,8·1017 |
1,5·1018 |
|||||||
валентной зоне, см-3 |
|
|
||||||||||
Диэлектрическая постоянная |
εs |
11,8 |
16,0 |
13,2 |
17,7 |
|||||||
Электронное сродство |
|
χ |
4,05 |
4,00 |
4,07 |
4,60 |
||||||
Собственная концен- |
|
T = 300 К |
ni |
1,6·1010 |
2,5·1013 |
1,1·107 |
2,0·1016 |
|||||
трация носителей, см-3 |
T = 77 К |
3·10-20 |
1,4·10-7 |
2,8·10-33 |
1,2·1010 |
|||||||
Время жизни носителей |
, с |
|
τ |
2,5·10-3 |
1,0·10-3 |
1·10-8 |
1·10-8 |
|||||
Дебаевская длина, мкм |
|
Ld |
24 |
0,68 |
2250 |
|
||||||
Показатель преломления |
|
n |
3,44 |
4,0 |
3,4 |
3,75 |
||||||
Температурный коэффициент |
α |
2,4·10-6 |
5,8·10-6 |
5,8·10-6 |
5,1·10-6 |
|||||||
Постоянная решетки, нм |
|
a, b, c |
5,43 |
5,65 |
5,65 |
6,48 |
||||||
Температура плавления, °С |
|
Т |
1415 |
936 |
1238 |
525 |
Продолжение таблицы 1
Параметр |
|
|
|
Обозна- |
4H-SiC |
GaN |
|
|
|
|
чение |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Ширина запре- |
|
300 К |
|
|
|
3,0 |
3,44 |
щенной зоны, эВ |
|
|
|
|
Eg |
||
|
|
|
|
|
|
||
|
|
0 К |
|
|
|
3,50 |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Подвижность при |
|
элек |
T = 300 |
|
µn |
650 |
8500 |
300 К, см2·В-1·с-1 |
|
тро |
К |
|
487
|
|
|
|
|
нов |
T = 77 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
|
|
ды- |
T = 300 |
|
|
|
|
|
|
|
рок |
К |
µp |
|
|
|
|
|
|
|
|
T = 77 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
|
Эффективная мас- |
|
электронов |
mdn* |
|||||
|
m |
* |
|
|
дырок |
mdp* |
||
са, |
|
|
|
|
|
|
||
m0 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|||
Эффективная плот- |
|
|
T = 300 К |
|
||||
ность состояний в |
|
NC |
||||||
|
|
|
||||||
зоне проводимости, |
|
|
|
|||||
|
T = 77 К |
|||||||
|
|
|||||||
см-3 |
|
|
|
|
|
|||
Эффективная плот- |
|
T = 300 К |
|
|||||
ность состояний в |
|
|
|
NV |
||||
|
T = 77 К |
|||||||
валентной зоне, см-3 |
|
|
||||||
Диэлектрическая постоянная |
εs |
|||||||
Электронное сродство |
|
χ |
||||||
Собственная концен- |
|
T = 300 К |
ni |
|||||
трация носителей, см-3 |
T = 77 К |
|||||||
Время жизни носителей |
, с |
|
τ |
|||||
Дебаевская длина, мкм |
|
Ld |
||||||
Показатель преломления |
|
n |
||||||
Температурный коэффициент |
α |
|||||||
Постоянная решетки, нм |
|
a, b, c |
||||||
|
|
|
||||||
Температура плавления, °С |
|
Т |
0,60 0,19
1,0 0,60
10,2 |
12,2 |
1,1·10-4 |
|
9,2·10-10 |
|
2,6 |
|
|
|
|
|
2,4 |
|
4,0·10-6 |
5,59·10-6 |
0,308(а) |
0,318 (а) |
1,511(с) |
0,5166(с) |
2830 |
2530 |
2. |
Работа выхода из металлов (эВ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Mg |
|
Al |
|
Ni |
|
Cu |
|
Ag |
|
Au |
Pt |
||
|
3,4 |
4,1 |
|
4,5 |
|
4,4 |
|
4,7 |
|
5,0 |
|
5,3 |
||
3. |
Свойства диэлектриков |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
Eg, эВ |
εст |
|
ε∞ |
|
ρ, г·см-3 |
|
Eпр, В/см |
||||
|
SiO2 |
|
9,0 |
|
3,82 |
|
2,13 |
|
2,33 |
|
1,2·107 |
|||
|
Si3N4 |
|
5,1 |
|
6,5 |
|
|
4,2 |
|
3,11 |
|
6,0·106 |
||
|
Ta2O5 |
|
4,5 |
|
27 |
|
|
5,0 |
|
8,53 |
|
6,0·106 |
488
Универсальные физические постоянные
Заряд электрона q = 1,6·10-19 Кл
Масса покоя электрона m0 = 9,1·10-31 кг = 9,1·10-28 г Постоянная Больцмана k = 1,38·10-23 Дж/К
Постоянная Планка h = 6,63·10-34 Дж·с; ћ = 1,05·10-34 Дж·с Диэлектрическая постоянная ε0 = 8,85·10-12 Ф/м = 8,85·10-14 Ф/см
Полезные соотношения
kT (при T = 300 К) = 0,0259 эВ. kT (при T = 77 К) = 0,0066 эВ.
Потенциал в вольтах (В) численно равен энергии в электронвольтах (эВ). 1 эВ = 1,6·10-19 Дж.
|
≈ 100,43x ≈ 10 |
x |
|
||
ex |
2,3 |
. |
|
||
e1 = 2,7; |
e2 = 7,4; e3 = 20; e4 = 55; |
e5 = 148; e6 = 403; |
|||
e7 |
= 1100; |
e8 = 3000; e9 = 8100; e10 |
= 22000; |
ln x = 2,3 lg x.
489
Список рекомендованной литературы
Монографии и научные издания
1. [1] Андо Т. Электронные свойства двумерных систем /Т. Андо, А. Фаулер, Ф. Штерн, М.: Мир, 1985, 415 с.
2.[2] Арсенид галлия. Получение, свойства и применение /Под ред. Ф.П. Кесаманлы и Д.Н. Наследова, М.: Наука, 1973
3.[3] Асеев А. Л. (отв. ред.), Нанотехнологии в полупроводниковой электронике /А.Л. Асеев. СО РАН, 2004, 368 с.
4. [4] Берман Г. П. Введение в квантовые компьютеры /Г.П. Берман, Г.Д. Дулен, Р. Майньери, В.И. Цифринович, РХД, 2004, 188 с.
5.[5] Валиев К. А. Квантовые компьютеры: надежды и реальность (издание второе, исправленное) /К.А. Валиев, А.А. Кокин, РХД, 2004, 320 с.
6.Гаряинов С.А., Абезгауз И.Д. Полупроводниковые приборы с отрицательным сопротивлением, М.: Энергия, 1970. – 320 с.
7.[6] Гирвин С. Квантовый эффект Холла: необычные возбуждения и нарушенные симметрии /С. ГИРВИН, РХД, 2003, 156 с.
8.Ермаков О.Н. Прикладная оптоэлектроника, М.: Техносфера, 2004. – 416 с.
9.Бахтизин Р.З. Голубые диоды /Соросовский образовательный журнал, 2001, том 7, №3, с. 75 – 83.
10.[7] Зи С. Физика полупроводниковых приборов /С. Зи. М.: Мир, 1984.
Т.1, 456 с; Т.2, 456 с.
11.[8] Кобболд Р. Теория и применение полевых транзисторов (пер. с англ. В.В. Макарова.) /Р. Кобболд, Энергия, Л, 1975, 304 с.
12.Лукьянчикова Н.Б. Флуктуационные явления в полупроводниках и полупроводниковых приборах, М.: Радио и связь. 1990. – 296 с.
13.[9] Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований, под ред. Роко М. К. и др. Мир, 2002, 292 с.
14.Негатроника / А.Н. Серьезнов, Л.Н. Степанова, С.А. Гариянов и др. – Новосибирск: Наука. Сибирская издательская фирма РАН, 1995. – 315 с.
15.[10] Носов Ю. Р. Математические модели элементов интегральной электроники /Ю.Р. Носов, К.О. Петросянц, В.А. Шилин, М.: Советское радио, 1976, 304 с.
16.[11] Першенков В. С. Поверхностные радиационные эффекты в элементах интегральных микросхем /В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов, М.: Энергоатомиздат, 1988, 255 с.
17.Полупроводниковые приборы в схемах СВЧ / Под. ред. М. Хауэса, Д. Моргана. Перевод с английского под редакцией д-ра физ.-мат. наук В.С. Эткина, М: Изд-во Мир, 1979, 448 с.
490